[發明專利]一種玻璃基板檢測方法、裝置及系統

有效

• 申請號: 201910553428.1
• 申請日: 2019-06-25
• 公開（公告）號: CN112212782B
• 公開（公告）日: 2023-01-17
• 發明（設計）人: 黃振東;李然;呂海波
• 申請（專利權）人: 合肥欣奕華智能機器股份有限公司
• 主分類號: G01B7/34
• 分類號: G01B7/34;G01B7/02;G01R31/52;G01M11/02;G02F1/13
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 黃志華

1.一種玻璃基板檢測方法，其特征在于，包括：

對樣本玻璃基板進行非接觸式檢測，并在非接觸式檢測過程中，確定檢測路徑上的至少一個采樣點位置上的第一距離，并根據第二距離與所述第一距離之間的差值確定相應采樣點對應的接觸式檢測設備下壓量補償值，其中，所述第一距離是非接觸式檢測過程中采樣點位置處位移傳感器測量到的與非接觸式檢測設備之間的距離，所述第二距離是非接觸式檢測初始狀態時所述位移傳感器測量到的與非接觸式檢測設備之間的距離；

獲取玻璃基板檢測信息，所述玻璃基板檢測信息包括玻璃基板檢測路徑上的至少一個采樣點對應的接觸式檢測設備下壓量補償值；

沿所述玻璃基板檢測路徑對待檢測玻璃基板進行接觸式檢測，其中，在所述玻璃基板檢測路徑上的至少一個采樣點位置，根據所述至少一個接觸式檢測設備下壓量補償值中所述位置對應的接觸式檢測設備下壓量補償值，對所述位置上的接觸式檢測設備下壓量進行補償，所述待檢測玻璃基板與所述樣本玻璃基板為同一類型的玻璃基板；

其中，所述至少一個采樣點包括相鄰的第一采樣點和第二采樣點，所述方法還包括：若所述第一采樣點對應的接觸式檢測設備下壓量補償值與所述第二采樣點對應的接觸式檢測設備下壓量補償值之間的差值大于設定閾值，則將所述第二采樣點對應的接觸式檢測設備下壓量補償值設置為與所述第一采樣點對應的接觸式檢測設備下壓量補償值相等。

2.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述玻璃基板檢測信息還包括：玻璃基板類型，所述玻璃基板檢測信息至少包括：

第一玻璃基板類型對應的檢測信息，用于對第一類型的玻璃基板進行接觸式檢測，所述第一玻璃基板類型對應的檢測信息中的接觸式檢測設備下壓量補償值是對第一類型的玻璃基板進行非接觸式檢測得到的；

第二玻璃基板類型對應的檢測信息，用于對第二類型的玻璃基板進行接觸式檢測，所述第二玻璃基板類型對應的檢測信息中的接觸式檢測設備下壓量補償值是對第二類型的玻璃基板進行非接觸式檢測得到的；

所述獲取玻璃基板檢測信息，包括：

對第一類型的待檢測玻璃基板進行接觸式檢測時，獲取所述第一玻璃基板類型對應的檢測信息；

對第二類型的待檢測玻璃基板進行接觸式檢測時，獲取所述第二玻璃基板類型對應的檢測信息。

3.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述玻璃基板檢測信息還包括：玻璃基板檢測指標，所述玻璃基板檢測信息至少包括：

第一玻璃基板檢測指標對應的檢測信息，用于對玻璃基板的第一檢測指標進行接觸式檢測；

第二玻璃基板檢測指標對應的檢測信息，用于對玻璃基板的第二檢測指標進行接觸式檢測；

所述獲取玻璃基板檢測信息，包括：

對待檢測玻璃基板的第一檢測指標進行接觸式檢測時，獲取所述第一玻璃基板檢測指標對應的檢測信息；

對待檢測玻璃基板的第二檢測指標進行接觸式檢測時，獲取所述第二玻璃基板檢測指標對應的檢測信息。

4.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述玻璃基板檢測信息為預先存儲的。

5.如權利要求1-4中任一項所述的方法，其特征在于，所述在所述玻璃基板檢測路徑上的至少一個采樣點位置，根據所述至少一個接觸式檢測設備下壓量補償值中所述位置對應的接觸式檢測設備下壓量補償值，對所述位置上的接觸式檢測設備下壓量進行補償，包括：

在所述玻璃基板檢測路徑上的至少一個采樣點位置，根據相應采樣點對應的接觸式檢測設備下壓量補償值對所述玻璃基板檢測路徑的起始位置處第一移動軸的初始下壓量進行補償，得到所述相應采樣點位置上的所述接觸式檢測設備的下壓量。