[發(fā)明專利]用于提供預(yù)對準(zhǔn)器的裝置、系統(tǒng)和方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910548335.X
• 申請日: 2019-06-24
• 公開（公告）號: CN110634787A
• 公開（公告）日: 2019-12-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: J·鮑斯布姆;B·納德力;G·科瓦契夫;P·拉希米;K·K·于
• 申請（專利權(quán)）人: 捷普有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L21/68;H01L21/687
• 代理公司: 11283 北京潤平知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 李健;蔣愛花

1.一種能夠容納不同尺寸的半導(dǎo)體晶片的預(yù)對準(zhǔn)器，預(yù)對準(zhǔn)器包括：

晶片支撐件；

支承臂，所述支承臂能夠與至少一個(gè)機(jī)器人元件連接，并且在支承臂一端至少部分地支承所述晶片支撐件；和

所述晶片支撐件上的多個(gè)伯努利墊，用于在所述晶片支撐件和一個(gè)半導(dǎo)體晶片之間提供連接，其中所述連接之間包括間隙。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的預(yù)對準(zhǔn)器，其中所述晶片支撐件包括叉子。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的預(yù)對準(zhǔn)器，其中所述不同尺寸包括高達(dá)150mm的直徑變化，例如150mm至300mm，200mm和300mm，或300mm和450mm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的預(yù)對準(zhǔn)器，其中所述間隙的高度在約40微米的范圍內(nèi)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的預(yù)對準(zhǔn)器，其中所述多個(gè)伯努利墊包括至少四個(gè)墊。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的預(yù)對準(zhǔn)器，其中支撐墊中的至少兩個(gè)墊靠近所述支承臂，并且其中所述支撐墊中的至少另外兩個(gè)墊遠(yuǎn)離所述支承臂。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的預(yù)對準(zhǔn)器，預(yù)對準(zhǔn)器還包括工作臺安裝基座，所述工作臺安裝基座至少支撐所述支承臂。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的預(yù)對準(zhǔn)器，其中所述支承臂包括旋轉(zhuǎn)腕部模塊。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的預(yù)對準(zhǔn)器，其中所述旋轉(zhuǎn)腕部模塊能夠?qū)⑦B接的一個(gè)所述半導(dǎo)體晶片中旋轉(zhuǎn)360度。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的預(yù)對準(zhǔn)器，其中所述旋轉(zhuǎn)腕部模塊還包括至少一個(gè)適于執(zhí)行所述旋轉(zhuǎn)的伺服馬達(dá)。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的預(yù)對準(zhǔn)器，預(yù)對準(zhǔn)器還包括用于索引連接的半導(dǎo)體晶片的晶片索引器。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的預(yù)對準(zhǔn)器，其中所述晶片索引器包括至少一個(gè)索引驅(qū)動(dòng)器，以及與所述索引驅(qū)動(dòng)器相關(guān)聯(lián)的至少一個(gè)索引滑塊，所述索引滑塊能夠改變連接的半導(dǎo)體晶片相對于所述晶片索引器的位置。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的預(yù)對準(zhǔn)器，其中所述至少一個(gè)索引滑塊能夠進(jìn)行多軸線滑動(dòng)。

14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的預(yù)對準(zhǔn)器，其中所述晶片索引器還包括能夠感測連接的半導(dǎo)體晶片的索引位置的索引傳感器。

15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的預(yù)對準(zhǔn)器，其中所述晶片支撐件還包括至少一個(gè)遠(yuǎn)端晶片保持元件。

16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的預(yù)對準(zhǔn)器，其中所述至少一個(gè)遠(yuǎn)端晶片保持元件包括末端輥。

17.根據(jù)權(quán)利要求1所述的預(yù)對準(zhǔn)器，預(yù)對準(zhǔn)器還包括在所述晶片支撐件的下側(cè)上的模塊化特征，所述模塊化特征適于向遠(yuǎn)側(cè)擴(kuò)展和收縮所述晶片支撐件。

18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的預(yù)對準(zhǔn)器，其中所述模塊化特征包括同步伸縮特征。

19.根據(jù)權(quán)利要求1所述的預(yù)對準(zhǔn)器，其中所述支承臂包括無線通信接口。

20.根據(jù)權(quán)利要求1所述的預(yù)對準(zhǔn)器，其中所述晶片支撐件還包括晶片存在傳感器。