[發(fā)明專利]用于對(duì)相位掩膜進(jìn)行校準(zhǔn)的方法和顯微鏡

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910542603.7
• 申請日: 2019-06-21
• 公開（公告）號(hào): CN110632726B
• 公開（公告）日: 2023-05-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 托尼·艾歇爾克勞特;約爾格·西本莫根
• 申請（專利權(quán)）人: 卡爾蔡司顯微鏡有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): G02B7/00
• 分類號(hào): G02B7/00;G02B21/00;G01N21/64
• 代理公司: 中原信達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11219
• 代理人: 楊靖;韓毅

1.用于對(duì)檢查樣本的顯微鏡的光路內(nèi)的相位掩膜進(jìn)行校準(zhǔn)的方法，其中，所述顯微鏡具有至少一個(gè)用于發(fā)出照明光的光源、至少一個(gè)用于將所述照明光引導(dǎo)到所述樣本上的顯微物鏡和用于將探測光從所述樣本引導(dǎo)到相機(jī)上的光學(xué)器件，其中，要被校準(zhǔn)的相位掩膜布置在所述顯微鏡的光路內(nèi)，在所述方法中執(zhí)行以下方法步驟：

相繼地以灰度值的不同模式來驅(qū)控所述相位掩膜，

其中，分段的第一子集的第一灰度值保持恒定，并且其中，使分段的第二子集的第二灰度值以從一個(gè)模式變到下一模式的方式變化，

針對(duì)不同的模式在所述相位掩膜射束下游測量所述光路內(nèi)的光的總強(qiáng)度的至少一部分，并且獲得測得的強(qiáng)度依賴于所述第二灰度值的特征變化曲線，

從所述特征變化曲線獲得所述第二灰度值和通過所述相位掩膜賦予的相移之間的關(guān)系，并且

基于所獲得的灰度值與相移之間的關(guān)系來校準(zhǔn)對(duì)所述相位掩膜的驅(qū)控，

其中，針對(duì)校準(zhǔn)測量，所述相位掩模經(jīng)受來自所述光源的光，并且

其中，針對(duì)用于校準(zhǔn)的測量使用專門的發(fā)熒光的樣本，并且/或者針對(duì)用于校準(zhǔn)的測量使用在用于保持所述樣本的載玻片上或蓋玻片上反射的光。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，

其中，

所述相位掩膜是具有像素列和像素行的2D相位掩膜。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，

其特征在于，

所述相位掩膜是空間光調(diào)制器。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，

其中，

所述相位掩膜是向列型空間光調(diào)制器。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，

其中，

所述模式至少沿一個(gè)空間方向是呈周期性的。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，

其中，

所述模式是用于產(chǎn)生達(dá)曼光柵的模式。

7.根據(jù)權(quán)利要求1項(xiàng)所述的方法，

其中，

所述第二灰度值在所述相位掩膜的整個(gè)動(dòng)態(tài)范圍上變化。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，

其中，

經(jīng)由單獨(dú)的射束偏轉(zhuǎn)器件將針對(duì)用于校準(zhǔn)的測量所使用的照明光引導(dǎo)到相機(jī)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，

其中，

針對(duì)用于校準(zhǔn)的測量將用于阻擋所述光路內(nèi)的激勵(lì)光的濾光器移除。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，

其中，

在所述相位掩膜射束下游利用空間濾光器阻擋第零衍射級(jí)的光，

其中，在所述空間濾光器射束下游測量所述光路的積分強(qiáng)度，并且

其中，所述第二灰度值與所述相移之間的關(guān)系通過比對(duì)I＝來獲得。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，

其中，

針對(duì)校準(zhǔn)僅測量第零衍射級(jí)的光，并且

其中，所述第二灰度值與所述相移之間的關(guān)系通過比對(duì)I＝來獲得。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，

其中，

存在單獨(dú)的僅針對(duì)用于對(duì)所述相位掩膜進(jìn)行校準(zhǔn)的測量所使用的相機(jī)。

13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，

其中，

為了測量強(qiáng)度，使用也用于原本的顯微鏡測量的那個(gè)相機(jī)。

14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，

其中，

所述顯微鏡是激光掃描顯微鏡、寬場顯微鏡或光片層照顯微鏡。