[發明專利]自旋效應微電子集成測試臺

有效

• 申請號: 201910540658.4
• 申請日: 2019-06-21
• 公開（公告）號: CN110220930B
• 公開（公告）日: 2021-09-28
• 發明（設計）人: 欒仲智;繆冰鋒;趙輝;周禮繁;吳鏑
• 申請（專利權）人: 南京大學
• 主分類號: G01N24/00
• 分類號: G01N24/00
• 代理公司: 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204
• 代理人: 柏尚春

1.一種自旋效應微電子集成測試臺，其特征在于：該測試臺包括系統電源和處于穩恒磁場中并繞水平軸旋轉的樣品臺(17)，所述樣品臺(17)包括用于測量樣品中電信號的測量單元、用于在樣品處形成微波場的微波單元以及用于在垂直于樣品平面的方向上建立溫度梯度的加熱單元；所述微波單元包括微波信號發生器、平面波導、微波接頭(8)以及用于傳輸微波信號的同軸電纜(6)；所述平面波導設于樣品(11)下方的鋁基PCB板(13)中，其通過微波接頭(8)與同軸電纜(6)相連，同軸電纜(6)連接微波信號發生器；所述鋁基PCB板(13)包含有從下至上依次設置的鋁制基層(21)、介電層(22)、電路層(23)和阻焊劑層(24)，所述平面波導位于電路層(23)；所述同軸電纜(6)上還設有微波旋轉關節(7)，所述同軸電纜(6)通過微波旋轉關節(7)和微波信號發生器的接出線相連。

2.根據權利要求1所述的自旋效應微電子集成測試臺，其特征在于：所述平面波導包括3條相互平行的金屬導帶。

3.根據權利要求1所述的自旋效應微電子集成測試臺，其特征在于：所述測量單元包括用于測試樣品(11)中電信號的測量儀表、樣品電源以及用于電連接樣品(11)和所述測量儀表的電極電路，所述電極電路埋設在位于樣品下方的鋁基PCB板(13)中。

4.根據權利要求1所述的自旋效應微電子集成測試臺，其特征在于：所述加熱單元包括內含有發熱絲和溫度傳感器的加熱器，以及與加熱器相連的溫度控制器。

5.根據權利要求4所述的自旋效應微電子集成測試臺，其特征在于：所述加熱器包括位于樣品(11)上方的第一加熱器(10)和位于樣品(11)下方的第二加熱器(14)。

6.根據權利要求1所述的自旋效應微電子集成測試臺，其特征在于：實現所述的繞水平軸旋轉的機械結構包括外框(15)、與外框(15)轉動連接的齒輪(3)以及用于驅動齒輪(3)轉動的電機(18)；所述樣品臺(17)與齒輪(3)相連。

7.根據權利要求6所述的自旋效應微電子集成測試臺，其特征在于：所述樣品臺(17)還包括基座(1)以及與基座(1)相連的外罩(2)，所述外罩(2)用于將樣品臺與外部環境隔離。

8.根據權利要求1所述的自旋效應微電子集成測試臺，其特征在于：所述穩恒磁場由設置于樣品臺(17)外部的磁體(16)產生。