[發(fā)明專利]一種防止SE電池生產(chǎn)過程印刷混片的檢測方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201910537266.2 | 申請日: | 2019-06-20 |
| 公開(公告)號(hào): | CN110211890B | 公開(公告)日: | 2020-11-24 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 楊蕾;余波;王濤;丁士引 | 申請(專利權(quán))人: | 通威太陽能(安徽)有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/66 | 分類號(hào): | H01L21/66 |
| 代理公司: | 昆明合眾智信知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所 53113 | 代理人: | 鄧?yán)?/td> |
| 地址: | 230088 安徽省合*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 防止 se 電池 生產(chǎn)過程 印刷 檢測 方法 | ||
本發(fā)明公開了一種防止SE電池生產(chǎn)過程印刷混片的檢測方法,在SE激光摻雜和背面激光開槽之間加入拍照檢測步驟,所述拍照檢測步驟用來檢測SE激光摻雜后的電池片是否與背面激光開槽提前設(shè)定適用的電池片型號(hào)一致。本發(fā)明通過在SE激光摻雜和背面激光開槽之間加入拍照臺(tái),并且通過提前建立好的坐標(biāo)系來應(yīng)對不同型號(hào)電池片的放置和檢測,當(dāng)相比較肉眼觀測通過相機(jī)拍照和坐標(biāo)系的對比更加便于識(shí)別,從而確定剛剛經(jīng)過SE激光摻雜的電池片的型號(hào),是否與背面激光開槽提前設(shè)定適用的電池片型號(hào)一致,從而避免后續(xù)生產(chǎn)中造成大量混片的情況,從而避免造成損失。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及SE電池印刷開槽技術(shù)領(lǐng)域,具體為一種防止SE電池生產(chǎn)過程印刷混片的檢測方法。
背景技術(shù)
隨著晶體硅技術(shù)的不斷發(fā)展,太陽能電池生產(chǎn)規(guī)模的擴(kuò)大以及電池價(jià)格的不斷降低,降低生產(chǎn)成本、提高效率是電池技術(shù)發(fā)展的重點(diǎn)。對于現(xiàn)有的常規(guī)PERC電池,其正面具有較高的結(jié)深和磷濃度,而反射極的高復(fù)合會(huì)導(dǎo)致較低的開壓和短路電流,而選擇性發(fā)射電極(SE)是因?yàn)槠湓诮邮芄庹盏膮^(qū)域低濃度摻雜,在金屬柵線下高摻雜,形成橫向高低結(jié)結(jié)構(gòu)增加P-N結(jié)間電勢差,減少擴(kuò)散層復(fù)合并降低金屬接觸區(qū)電阻,從而使電池性能整體得到提高。
目前激光摻雜技術(shù)已被廣泛運(yùn)用到PERC以及PERC+產(chǎn)品的產(chǎn)線生產(chǎn)中,而選擇發(fā)射電極技術(shù)提效,其中關(guān)鍵的一個(gè)步驟就是能夠精準(zhǔn)的將金屬柵線印刷到激光摻雜區(qū)域,從而實(shí)現(xiàn)選擇性發(fā)射電極的提效優(yōu)勢。目前在產(chǎn)線常規(guī)生產(chǎn)中,由于會(huì)出現(xiàn)不止一種進(jìn)行批量生產(chǎn)的產(chǎn)品,從4BB、5BB以及目前的疊瓦產(chǎn)品,這些產(chǎn)品的正面激光摻雜圖形會(huì)隨著產(chǎn)品的變更而有所變化。且因?yàn)榧す鈸诫s步驟在擴(kuò)散后,在生產(chǎn)流程中較為靠前,在鍍膜后的清晰度不易觀察到,因此對于不同圖形的激光摻雜區(qū)域,員工對產(chǎn)品不仔細(xì)觀察,容易造成產(chǎn)線大批量混片,從而導(dǎo)致大量損失。
現(xiàn)有的SE+PERC產(chǎn)品,在生產(chǎn)過程中出現(xiàn)不止一種型號(hào)的電池片產(chǎn)品時(shí),因?yàn)椴煌吞?hào)的電池片產(chǎn)品會(huì)有不同的激光圖形,導(dǎo)致激光摻雜區(qū)域不同,而激光摻雜區(qū)域本身可識(shí)別度較差,不易通過肉眼進(jìn)行觀察,導(dǎo)致在后續(xù)背面激光開槽之前,無法識(shí)別出SE激光摻雜后的電池片型號(hào)是否與背面激光開槽所適用的電池片型號(hào)相同,例如:SE激光摻雜后的電池片為4BB電池片,電池片上摻雜有三根防斷柵線,而此時(shí)后續(xù)的背面激光開槽機(jī)在激光開槽時(shí)必須對應(yīng)開設(shè)有四根激光開槽線,這樣才會(huì)對應(yīng)的進(jìn)行良好的激光開槽工序;而如果電池片上摻雜有三根防斷柵線,且后續(xù)的背面激光開槽機(jī)在激光開槽時(shí)對應(yīng)開設(shè)有五根或者多根激光開槽線,這樣防斷柵線與激光開槽線就無法進(jìn)行對應(yīng)開槽工序,使得后續(xù)生產(chǎn)中會(huì)造成大量的混片,造成損失,所以需要對SE激光摻雜后的電池片進(jìn)行型號(hào)識(shí)別,與背面激光開槽進(jìn)行匹配對應(yīng),而且在實(shí)際生產(chǎn)中,若在防斷柵線的位置不進(jìn)行激光摻雜,則會(huì)造成產(chǎn)品的EL不良。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種防止SE電池生產(chǎn)過程印刷混片的檢測方法,以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。
為實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明提供如下技術(shù)方案:
一種防止SE電池生產(chǎn)過程印刷混片的檢測方法,在SE激光摻雜和背面激光開槽之間加入拍照檢測步驟,所述拍照檢測步驟用來檢測SE激光摻雜后的電池片是否與背面激光開槽提前設(shè)定適用的電池片型號(hào)一致。
優(yōu)選的,所述拍照檢測步驟具體包括:
S1、在背面激光開槽上料區(qū)前增加拍照臺(tái),在拍照臺(tái)表面建立一次性坐標(biāo)系;
S2、使用不同型號(hào)的電池片依次放置在拍照臺(tái)上,在一次性坐標(biāo)系上依次標(biāo)記出電池片型號(hào)指代數(shù);
S3、將SE激光摻雜后的電池片放置于拍照臺(tái)上,使用相機(jī)對電池片型號(hào)指代數(shù)區(qū)域進(jìn)行局部拍照,從而根據(jù)局部拍照區(qū)域內(nèi)防斷柵線與電池片型號(hào)指代數(shù)的對齊情況檢測識(shí)別出電池片型號(hào),將該電池片型號(hào)與激光開槽提前設(shè)定適用電池片型號(hào)進(jìn)行對比;
S4、對比后若型號(hào)相同,則繼續(xù)進(jìn)行背面激光開槽,若型號(hào)不同,則停止背面激光開槽。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
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H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造
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