[發明專利]一種基于SEMI標準的SECS通信方法

在審

• 申請號: 201910536469.X
• 申請日: 2019-06-20
• 公開（公告）號: CN110290194A
• 公開（公告）日: 2019-09-27
• 發明（設計）人: 崔巍
• 申請（專利權）人: 蘇州工業園區恒越自動化科技有限公司
• 主分類號: H04L29/08
• 分類號: H04L29/08;G05B19/418
• 代理公司: 南京常青藤知識產權代理有限公司 32286
• 代理人: 仲暉

本發明提供一種基于SEMI標準的SECS通信方法，具體涉及網絡通信技術領域，包括HSMS通信模塊實現設備到主機的連接，并通過網絡進行數據傳輸步驟；及通過SECS協議模塊進行SECS II編解碼，進行數據收集、設備控制和異常處理。本發明可以方便的管理和監控生產設備使之可以高效工作，同時可以實現設備間的相互配合提高產量、降低成本，為構建自動化的半導體工廠提供了有效途徑。

技術領域

本發明屬于網絡通信技術領域，具體涉及一種基于SEMI標準的SECS通信方法。

背景技術

數據收集、設備控制和異常處理功能的封裝，從而避免了人工直接參與，使整個生產處于高管控的過程中，滿足了半導體生產過程中對產品高品質的需要；

在國內的半導體工藝流程中，能用到此項目的設備基本上都是前道工藝的，在表面處理的設備上使用還是初次嘗試，因此可以滿足客戶對這方面所提出的相關的要求。

根據上述，現需要一種基于SEMI標準的SECS通信方法，通過本方法可以方便的管理和監控生產設備使之可以高效工作，同時可以實現設備間的相互配合提高產量、降低成本，為構建自動化的半導體工廠提供了有效途徑。

發明內容

本發明的目的是提供一種基于SEMI標準的SECS通信方法，通過本方法可以方便的管理和監控生產設備使之可以高效工作，同時可以實現設備間的相互配合提高產量、降低成本，為構建自動化的半導體工廠提供了有效途徑。

本發明提供了如下的技術方案：

一種基于SEMI標準的SECS通信方法，包括HSMS通信模塊實現設備到主機的連接，并通過網絡進行數據傳輸步驟；及通過SECS協議模塊進行SECS II編解碼，進行數據收集、設備控制和異常處理。

優選的，SECS模塊設備端連接主機端的步驟為：如果己經建立連接則退出該步驟，沒有建立連接則判斷連接間隔計時器(T5)是否超時，如果沒有超時則退出該步驟，如連接間隔計時器(T5)己超時則進行網絡層套接字連接，啟動接收數據線程，啟動連接間隔計時器(T5)，設置連接狀態，啟動選擇計時器(T7)，向主機發送選擇請求數據包，如果在選擇計時器(T7)超時前未接收到主機發來的應答數據包則斷開與主機的連接。

優選的，設備控制的具體步驟如下：主機向設備發送控制請求，設備收到該請求后進行指令執行并向主機返回確認信息。

優選的，異常處理具體步驟如下：當設備產生報警或異常時，首先檢查報警屏蔽隊列是否含有該報警標識，如果該報警標識包含在報警屏蔽隊列中則退出該步驟，如果該報警標識包未含在報警屏蔽隊列中，在當設備報警未被清除、設置標志位為1時設備向主機發送報警請求數據包，主機收到該報警數據包后向設備返回確認數據包；當設備報警被清除時改變標志位為0、設備向主機發送報警請求數據包，主機收到該報警數據包后向設備返回確認數據包。

本發明的有益效果：

本方法可以方便的管理和監控生產設備使之可以高效工作，同時可以實現設備間的相互配合提高產量、降低成本，為構建自動化的半導體工廠提供了有效途徑。

附圖說明

附圖用來提供對本發明的進一步理解，并且構成說明書的一部分，與本發明的實施例一起用于解釋本發明，并不構成對本發明的限制。在附圖中：

圖1為本發明系統結構圖。

具體實施方式

如圖1所示，一種基于SEMI標準的SECS通信方法，通過SECS通訊的信息的種類在電鍍設備上分為5種，1：Event列表，2：Alarm列表，3：參數列表，4：配方(程序)參數，5：機臺當前狀態(idel，running，stop，alarm)