[發明專利]制造相對濕度傳感器的方法和相對濕度傳感器

在審

• 申請號: 201910535279.6
• 申請日: 2019-06-20
• 公開（公告）號: CN110618171A
• 公開（公告）日: 2019-12-27
• 發明（設計）人: E.杜魯普特
• 申請（專利權）人: 梅斯法國公司
• 主分類號: G01N27/22
• 分類號: G01N27/22
• 代理公司: 11105 北京市柳沈律師事務所
• 代理人: 賀紫秋

1.一種制造相對濕度傳感器的方法，包括以下步驟：

a)在基底(1)上或上方提供第一電極(3)，

b)在第一電極(3)上方提供非多孔無機介電層(5)，

c)在無機介電層(5)上方提供第二電極(7)，且然后

d)穿過第二電極(7)在第二電極(7)和無機介電層(5)中形成孔洞(9)的圖案。

2.根據權利要求1所述的制造相對濕度傳感器的方法，其中，步驟d)包括通過光刻和/或干法刻蝕或濕法刻蝕形成孔洞的圖案。

3.根據前述權利要求中的任一項所述的制造相對濕度傳感器的方法，其中，非多孔無機介電層(5)采用氮化硅或碳化硅形成。

4.根據前述權利要求中的任一項所述的制造相對濕度傳感器的方法，其中，孔洞具有圓柱形形狀，特別是以蜂窩圖案布置，或具有溝槽形狀。

5.根據前述權利要求中的任一項所述的制造相對濕度傳感器的方法，還包括利用孔洞來對第一電極(11)進行圖案化的步驟。

6.根據權利要求5所述的制造相對濕度傳感器的方法，其中，第一電極(11)中的孔洞的圖案(13)和第二電極(7)和介電層(5)中的孔洞的圖案(15)相對彼此交錯。

7.根據權利要求5或6所述的方法，其中，第一電極和第二電極中的孔洞的圖案相同，但相對于彼此偏移。

8.根據權利要求6或7所述的方法，其中，第一電極和第二電極中的孔洞布置為，當在垂直于層的方向上觀察時，第一電極和第二電極中的孔洞不重疊。

9.根據前述權利要求中的任一項所述的制造相對濕度傳感器的方法，還包括在形成第一電極(3，11)和/或第二電極(7)之前提供粘合層的步驟，粘合層特別是至少一個鉻粘合層。

10.根據前述權利要求中的任一項所述的制造相對濕度傳感器的方法，還包括在第一和/或第二電極的上方提供覆蓋層(21)的步驟。

11.一種相對濕度傳感器，特別是根據權利要求1至10中的一項制造的，包括：

基底(1)；

在基底(1)上或上方的第一電極(3)；

在第一電極(3)上方的無機非多孔介電層(5)；以及

在介電層(5)上方的第二電極(7)；

其中，無機介電層(7)和第二電極(7)二者設置有具有相同的圖案(9，15)的孔洞。

12.根據權利要求11所述的相對濕度傳感器，其中，無機介電層(5)采用氮化硅或碳化硅形成。

13.根據權利要求11到12中任一項所述的相對濕度傳感器，其中，第一電極(11)被圖案化。

14.根據權利要求13所述的相對濕度傳感器，其中，第一電極(11)具有與第二電極(15)相同的圖案(13)。

15.根據權利要求14所述的相對濕度傳感器，其中，第一電極(11)與第二電極(15)的圖案(13)交錯，特別地，第一電極的圖案與第二電極的圖案在垂直于層的方向(17)上不重疊。