[發明專利]基于CUDA的直寫式光刻機數據拓展方法

在審

• 申請號: 201910534139.7
• 申請日: 2019-06-20
• 公開（公告）號: CN110335190A
• 公開（公告）日: 2019-10-15
• 發明（設計）人: 趙美云
• 申請（專利權）人: 合肥芯碁微電子裝備有限公司
• 主分類號: G06T1/20
• 分類號: G06T1/20;G06T1/60;G06F9/50;G03F7/20
• 代理公司: 合肥天明專利事務所(普通合伙) 34115
• 代理人: 苗娟;奚華保

1.一種基于CUDA的直寫式光刻機數據拓展方法，其特征在于：包括以下步驟：

S100、根據要渲染的圖形對象，設定紋理參數并設定紋理渲染的模式；在Device端申請圖像渲染緩存和矢量數據緩存；

具體為設置顯卡GPU上CUDA紋理大小寬度為W，高度為H；設置GPU上渲染灰階為M階；則在GPU上申請渲染緩存空間，大小為W*H*Mbit；

S200、利用CUDA接口，將矢量數據從Host端拷貝到Device端；

S300、啟動CUDA進行紋理渲染，渲染的數據來自于光刻機矢量數據；

S400、將渲染好的直寫式光刻機的柵格化圖像數據進行提取，保存在Device端的Global Memory里；

S500、根據步驟S400中的直寫式光刻機的柵格化圖像數據，將任務分配給Grid，確定Block的數量和Thread的數量；其中，所述Grid由執行相同程序的Block組成，所述Block由Thread組成；

S600、利用CUDA接口函數，在Device端的顯卡GPU上申請最終圖像數據緩存空間，大小為(N*W)*(N*H)*(M/2)Bit；

S700、啟動CUDA進行直寫式光刻機的柵格化圖像數據進行拓展，將原有的一個像素數據，拆分為N*N個像素，N為大于1的自然數，根據所設定的像素參數賦值到這N*N個像素中，從而實現更高DPI的分辨率；

S800、利用CUDA提供的接口函數，拷貝Device填充好的數據至Host端已經分配好的內存區。

2.根據權利要求1所述的基于CUDA的直寫式光刻機數據拓展方法，其特征在于：所述S700具體啟動X個Grid進行處理，處理結果存儲在各自緩存區，然后再在Device端合并，X為大于1的自然數。

3.根據權利要求1所述的基于CUDA的直寫式光刻機數據拓展方法，其特征在于：所述步驟S700中根據所設定的像素參數賦值到這N*N個像素中，具體為根據像素的M階灰度值、平均、等值賦值到這N*N個像素中。

4.根據權利要求1所述的基于CUDA的直寫式光刻機數據拓展方法，其特征在于：所述步驟S500根據步驟S400中的直寫式光刻機的柵格化圖像數據，將任務分配給Grid，確定Block的數量和Thread的數量；具體為依據圖像數據的寬和高，確定Block的數量和Thread的數量。