[發明專利]納米機器人以及納米機器人的制作方法

在審

• 申請號: 201910532252.1
• 申請日: 2019-06-19
• 公開（公告）號: CN112117082A
• 公開（公告）日: 2020-12-22
• 發明（設計）人: 溫景成;胡利平
• 申請（專利權）人: 湖南早晨納米機器人有限公司
• 主分類號: H01F10/14
• 分類號: H01F10/14;H01F1/055;H01F41/30;B25J11/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 張靜

1.一種納米機器人，其特征在于，所述納米機器人的制作材料為永磁性納米材料或半永磁性納米材料。

2.如權利要求1所述的納米機器人，其特征在于，所述永磁性納米材料包括永磁合金、永磁鐵氧體或永磁金屬間化合物。

3.如權利要求1或2所述的納米機器人，其特征在于，所述納米機器人是通過磁控濺射工藝形成的薄膜結構。

4.如權利要求3所述的納米機器人，其特征在于，所述納米機器人的厚度的取值范圍為10nm～20nm，包括端點值。

5.如權利要求4所述的納米機器人，其特征在于，所述納米機器人的形狀為正六邊形，所述正六邊形的對角線的長度的取值范圍為30nm～100nm，包括端點值。

6.一種納米機器人的制作方法，其特征在于，包括：

在基板的第一表面形成隔離膜；

在所述隔離膜背離所述基板一側表面形成具有預設圖形的動力元件，所述動力元件的制作材料為永磁性納米材料或半永磁性納米材料；

溶解所述隔離膜，分離所述基板和所述動力元件，制得納米機器人。

7.如權利要求6所述的制作方法，其特征在于，所述在所述隔離膜背離所述基板一側表面形成具有預設圖形的動力元件包括：

在所述隔離膜背離所述基板一側表面形成納米材料薄膜，所述納米材料薄膜為永磁性納米材料薄膜或半永磁性納米材料薄膜；

在所述納米材料薄膜背離所述隔離膜一側形成感光膠層；

對所述感光膠層進行曝光、顯影，形成具有多個預設圖形的感光單元；

以所述感光單元為掩膜，對所述納米材料薄膜進行刻蝕，形成多個具有所述預設圖形的動力元件，并去除所述感光單元。

8.如權利要求7所述的制作方法，其特征在于，在所述隔離膜背離所述基板一側表面形成納米材料薄膜包括：

采用磁控濺射工藝，在所述隔離膜背離所述基板一側表面形成納米材料薄膜，其中，所述納米材料薄膜形成過程中的工藝參數包括：溫度取值范圍為20℃～150℃，包括端點值，氬氣流量的取值范圍為200Sccm～220Sccm，包括端點值，工作氣壓的取值范圍為0.30Pa～0.5Pa，包括端點值。

9.如權利要求8所述的制作方法，其特征在于，所述溶解所述隔離膜，分離所述基板和所述動力元件，制得納米機器人，包括：

將所述基板放入溫度取值范圍為80℃～90℃的水中，浸泡5min～7min，溶解所述隔離膜，使所述基板和所述動力元件分離；

通過磁場裝置，將有磁性的所述動力元件提取出來，制得納米機器人。

10.如權利要求9所述的制作方法，其特征在于，所述納米機器人的厚度的取值范圍為10nm～20nm，包括端點值；所述納米機器人的形狀為正六邊形，所述正六邊形的對角線的長度的取值范圍為30nm～100nm，包括端點值。