[發明專利]一種加工石英爐管的排風過濾系統及方法

在審

• 申請號: 201910531309.6
• 申請日: 2019-06-19
• 公開（公告）號: CN110160200A
• 公開（公告）日: 2019-08-23
• 發明（設計）人: 周文華;藍呈
• 申請（專利權）人: 上海強華實業股份有限公司
• 主分類號: F24F7/08
• 分類號: F24F7/08;F24F13/28;B08B15/04;B01D46/10
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明涉及一種加工石英爐管的排風過濾系統及方法，包括錐狀抽風口、錐狀送風口、抽風管道、送風管道、抽風機、送風機以及球形風口，抽風管道的一端連接抽風機，另一端連接錐狀抽風口，送風管道的一端連接送風機，另一端連接錐狀送風口，錐狀送風口的直徑大于錐狀抽風口的直徑，送風管道的直徑大于抽風管道的直徑，錐狀抽風口和錐狀送風口之間設有多個用于調節風向的球形風口。本發明一方面可及時將熱量從抽風管道排出，保證工作區域的熱量及時排出，另一方面利用輸送的冷氣流降低燒制產生的熱能，從而達到降低局部工作區域溫度的目的，可有效降溫20℃以上，保持工作環境的潔凈度并延長了設備的維修周期。

技術領域

本發明涉及排風設備技術領域，具體為一種加工石英爐管的排風過濾系統。

背景技術

目前，在集成電路制程中所用的石英零部件在加工時，工作環境需要一定的潔凈度并需要用氫氧氣火焰燒制而成。特別是在加工石英爐管時，需要在旋盤設備上用兩把以上的37燈芯氫氧氣火焰槍加工。此時會產生大量的熱能(周邊溫度可達50℃以上)和氧化物(石英sio2的揮發物)，造成加工人員勞動強度的增加和加工環境的污染，并且在使用過程中，高效過濾網需要頻繁的更換。

現有的排風系統與送風系統是分別單獨設置的，排風罩單獨安裝在旋盤設備上側，送風系統安裝在加工車間的周邊。加工產品時產生的大量熱量靠排風機的吸力排出，如果熱能排除不及時，會大大的提升工作環境溫度，同時也加劇了排風系統的老化，此時需要增加送風強度才能維持工作環境保持再一定的溫度內，此時需要加大消耗大量的能量。如果排風不足的情況下，石英氧化物則無法排除干凈而影響產品質量，工作環境的溫度也無法明顯的下降；針對上述缺陷，本領域技術人員亟需提供一種加工石英爐管的排風過濾系統及方法，能夠及時的將熱能排出，防止因排風不足導致石英氧化物無法排除干凈，改善工作環境。

發明內容

本發明的目的是提供一種加工石英爐管的排風過濾系統及方法，能夠及時的將熱能排出，能夠及時的將熱能排出，防止因排風不足導致石英氧化物無法排除干凈，改善工作環境。

為實現上述目的，提供如下技術方案：一種加工石英爐管的排風過濾系統，包括錐狀抽風口、錐狀送風口、抽風管道、送風管道、抽風機、送風機以及球形風口，所述抽風管道的一端連接抽風機，另一端連接錐狀抽風口，所述送風管道的一端連接送風機，另一端連接錐狀送風口，所述錐狀送風口的直徑大于所述錐狀抽風口的直徑，所述送風管道的直徑大于所述抽風管道的直徑，所述錐狀抽風口套設在所述錐狀送風口內，所述抽風管道的一端與錐狀抽風口連接，另一端從所述送風管道伸出并與所述抽風機連接，所述錐狀抽風口和所述錐狀送風口之間設有多個用于調節風向的球形風口。

優選的，所述錐狀抽風口的正下方設有加熱旋盤，所述抽風機通過所述抽風管道將熱氣流抽離，所述送風機通過所述送風管道將冷氣流輸送至所述加熱旋盤的四周。

優選的，所述球形風口為多個，均勻分布在所述錐狀抽風口和所述錐狀送風口之間。

優選的，所述球形風口包括球托和球形噴嘴，所述球托固定在所述錐狀抽風口和所述錐狀送風口之間，所述球形噴嘴嵌設在所述球托的內徑內，以調節送風方向。

優選的，所述球形噴嘴的送風方向對準所述加熱旋盤。

優選的，所述錐狀抽風口的內壁設有復合過濾網，所述復合過濾網包括活性炭濾網、抗菌纖維濾網和HEPA濾網。

本發明還提供一種加工石英爐管的排風過濾方法，包括以下步驟：

S1、開啟送風機，通過錐狀送風口將冷氣流輸送至加熱旋盤的四周，維持30min；

S2、開啟抽風機，使抽風管道保持抽風狀態；

S3、將石英爐管裝夾在加熱旋盤上，打開氫氧氣火焰槍；

S4、經氫氧氣火焰燒制后的熱能和石英氧化物通過錐狀抽風口抽離室外；