[發明專利]供給裝置、涂覆裝置以及供給方法

有效

• 申請號: 201910525682.0
• 申請日: 2019-06-18
• 公開（公告）號: CN110899051B
• 公開（公告）日: 2022-02-11
• 發明（設計）人: 芳川典生;水野博喜;瀬川邦彥;伊藤隆介;后藤順一
• 申請（專利權）人: 株式會社斯庫林集團
• 主分類號: B05C5/02
• 分類號: B05C5/02;B05C11/10;C03C17/00;B01D19/00
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 羅英;臧建明

1.一種供給裝置，其用于將粘度為千cP以上的處理液供給至供給目標，所述供給裝置的特征在于，包括：

槽，貯存所述處理液；

供給口，將所述處理液供給至所述供給目標；

送液配管，對所述槽與所述供給口進行流路連接；

主泵，介插在所述送液配管中，從所述槽朝向所述供給口輸送所述處理液；

脫氣單元，在所述主泵的上游側介插在所述送液配管中；

輔助泵，在所述脫氣單元的上游側介插在所述送液配管中，朝向所述脫氣單元對所述處理液進行加壓；以及

過濾器，在所述脫氣單元與所述輔助泵的上游側介插在所述送液配管中，

所述脫氣單元包括：

筒狀的殼體；

多個中空纖維膜，收容在所述殼體的內部；以及

減壓機構，對所述殼體的內部且所述中空纖維膜外側的空間進行減壓。

2.根據權利要求1所述的供給裝置，其特征在于，

所述輔助泵包括：

流體貯存室，能增減內部的體積；以及

能收縮的管，構成流路，且配置在所述流體貯存室的內側，

當所述流體貯存室的體積變小時，施加至所述管的外周面的壓力變大，所述管內的體積變小，由此來從所述管排出所述處理液。

3.根據權利要求2所述的供給裝置，其特征在于，

所述輔助泵為同軸管道泵。

4.根據權利要求1至3中任一項所述的供給裝置，其特征在于，

所述處理液為包含聚酰亞胺前驅物的清漆，

所述供給目標為噴出所述清漆的噴嘴。

5.一種涂覆裝置，其對成為處理對象的面涂覆液體，所述涂覆裝置的特征在于，包括：

權利要求1至4中任一項所述的供給裝置；以及

噴嘴，為所述供給裝置的所述供給目標，且具有噴出所述處理液的噴出口。

6.根據權利要求5所述的涂覆裝置，其特征在于，還包括：

框體，在上表面具有載臺，所述載臺載置成為處理對象的基板，

所述噴嘴能移動地配置于所述載臺的上部，

在所述框體的內部，收容所述主泵及所述脫氣單元。

7.一種供給方法，用于將粘度為千cP以上的處理液供給至供給目標，所述供給方法的特征在于，包括下述工序：

a)在從貯存所述處理液的槽中供給的所述處理液經過濾器過濾后，通過輔助泵朝向脫氣單元加壓并供給所述處理液；

b)在所述脫氣單元中，所述處理液通過外側空間經減壓的多個中空纖維膜內，由此去除所述處理液中的溶解氣體；以及

c)通過主泵來輸送通過了所述脫氣單元的所述處理液。