[發明專利]放射線檢測器

在審

• 申請號: 201910525165.3
• 申請日: 2019-06-18
• 公開（公告）號: CN110618441A
• 公開（公告）日: 2019-12-27
• 發明（設計）人: 鹽田昌弘;田口滋也;進藤剛宏;飯塚邦彥;蘆田伸之
• 申請（專利權）人: 夏普株式會社
• 主分類號: G01T1/24
• 分類號: G01T1/24;G01T1/20
• 代理公司: 44334 深圳市賽恩倍吉知識產權代理有限公司
• 代理人: 汪飛亞;習冬梅

實現一種高靈敏度的放射線檢測器。放大器晶體管(3)被構成為光電二極管(1)在放大器晶體管(3)被預先導通的狀態下接收光。

技術領域

本發明涉及一種放射線檢測器。

背景技術

近年來，作為檢測X射線等的放射線的放射線檢測器，正進行使用了攝像元件等的固體設備的開發，來代替使用傳統的增感紙-X射線膜。尤其是，使用了TFT(Thin FilmTransistor：薄膜晶體管)面板的放射線檢測器(放射線攝像器)與使用了CCD(ChargeCoupled Device：電荷耦合元件)或CMOS(Complementary Metal-Oxide SemiconductorDevice：互補型金屬氧化物半導體)等的攝像元件的放射線檢測器相比較，具有不需要透鏡以及適合于大畫面的攝像的優點，因此正積極地開發。

專利文獻1公開了一種放射線檢測器，其使用APS(有源·像素·傳感器)方式的放射線檢測器提高了信噪比。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2017-010202號公報(2017年1月19日公開)

發明內容

本發明所要解決的技術問題

在APS方法中，所產生的電荷被TFT放大以進行放射線量的檢測，因此與PPS(無源·像素·傳感器)方式的放射線檢測器相比，可以檢測到更少量的電荷。

專利文獻1中公開了如何讀出由TFT放大的檢測電流，但還沒有充分研究TFT的應該使用電流特性的哪一部分來進行TFT的放大。因此，在專利文獻1中公開的技術中，產生難以以足夠高的靈敏度構成放射線檢測器的問題。

本發明的一個方式的目的在于實現高靈敏度的放射線檢測器。

解決問題的方案

(1)本發明的一個實施方式的放射線檢測器，包括：受光元件，其接收從放射線獲得的光，并將所述光轉換為電信號；以及放大器晶體管，其對所述電信號進行放大，所述放大器晶體管被構成為所述受光元件在所述放大器晶體管被預先導通的狀態下接收所述光。

(2)另外，本發明的某個實施方式的放射線檢測器，在上述(1)的構成的基礎上，所述受光元件是光電二極管。

(3)另外，本發明的某個實施方式的放射線檢測器，在上述(1)或(2)的構成的基礎上，所述放大器晶體管具有溝道層，所述溝道層包含具有不是非晶態的晶體結構的氧化物半導體。

(4)另外，本發明的某個實施方式的放射線檢測器，在上述(1)至(3)中任一個構成的基礎上，所述放大器晶體管具有溝道層，所述溝道層的構成元素至少包含銦及鋅。

(5)另外，本發明的某個實施方式的放射線檢測器，在上述(1)至(4)中任一個構成的基礎上，所述受光元件配置在所述放大器晶體管之上。

發明效果

根據本發明的一個方式，能夠實現高靈敏度的放射線檢測器。

附圖說明

圖1是表示本發明的實施方式一涉及的放射線檢測器的構成的電路圖，并且示出操作機制中的第一工序。

圖2是表示本發明的實施方式一涉及的放射線檢測器的構成的電路圖，并且示出操作機制中的第二工序。

圖3是表示本發明的實施方式一涉及的放射線檢測器的構成的電路圖，并且示出操作機制中的第三工序。

圖4是表示本發明的實施方式一涉及的放射線檢測器的構成的電路圖，并且示出操作機制中的第四工序。