[發明專利]微流體器件及其制造方法

有效

• 申請號: 201910521085.0
• 申請日: 2019-06-17
• 公開（公告）號: CN112090603B
• 公開（公告）日: 2022-11-08
• 發明（設計）人: 顧瑜
• 申請（專利權）人: 蘇州天健云康信息科技有限公司
• 主分類號: B05B1/14
• 分類號: B05B1/14;A61M11/00
• 代理公司: 北京市君合律師事務所 11517
• 代理人: 毛健;顧云峰

本申請公開了一種微流體器件，包括：第一基板，所述第一基板具有第一安裝側；第二基板，所述第二基板具有第二安裝側，所述第二安裝側能夠與所述第一安裝側相互連接以將所述第一基板與所述第二基板安裝在一起；其中，所述第一安裝側和所述第二安裝側中的至少一個具有流體腔室槽，在所述第一基板與所述第二基板安裝在一起后，所述流體腔室槽形成具有流體入口和流體出口的流體腔室；以及其中，具有所述流體腔室槽的所述第一安裝側和/或所述第二安裝側具有與所述流體出口相鄰的出口擴展槽，所述出口擴展槽從所述流體出口向下游延伸，并且其中在所述流體出口處，所述出口擴展槽的外周輪廓位于所述流體出口的外周輪廓之外。

技術領域

本申請涉及微流體技術領域，更具體地，涉及一種微流體器件及其制造方法。

背景技術

微流控技術是一種用于精確控制和操控微小體積流體的技術。在實際應用中，實現微流控的微流體器件中流體通道的尺度非常小，約為100納米至500微米，甚至更小。

隨著相關研究的持續發展，微流控技術在諸多領域開始得到應用。噴墨打印頭就是微流控技術最成功的商業應用之一。此外，一些液體霧化器，特別是體積控制要求較高的醫用霧化器，也逐漸開始使用微流體器件作為其霧化噴嘴。霧化噴嘴受到高壓作用，將液體霧化成非常微小的液滴，以提高肺部對液滴的吸收率。

然而，現有的微流體器件對流體體積或流量的控制精度有限，因此需要一種改進的微流體器件。

發明內容

本申請的一個目的在于提供一種微流體器件，以提高流體體積和流量的控制精度。

在本申請的一個方面，提供了一種微流體器件，包括：第一基板，所述第一基板具有第一安裝側；第二基板，所述第二基板具有第二安裝側，所述第二安裝側能夠與所述第一安裝側相互連接以將所述第一基板與所述第二基板安裝在一起；其中，所述第一安裝側和所述第二安裝側中的至少一個具有流體腔室槽，在所述第一基板與所述第二基板安裝在一起后，所述流體腔室槽形成具有流體入口和流體出口的流體腔室；以及其中，具有所述流體腔室槽的所述第一安裝側和/或所述第二安裝側具有與所述流體出口相鄰的出口擴展槽，所述出口擴展槽從所述流體出口向下游延伸，并且其中在所述流體出口處，所述出口擴展槽的外周輪廓位于所述流體出口的外周輪廓之外。

在本申請的另一個方面，提供了一種微流體器件的制造方法，包括：提供第一基板，所述第一基板具有第一安裝側；提供第二基板，所述第二基板具有第二安裝側；在所述第一安裝側上形成多個流體腔室槽，每個所述流體腔室槽具有流體入口與流體出口；在所述第一安裝側上形成與每個所述流體出口相鄰的出口擴展槽，所述出口擴展槽從所述流體出口向下游延伸，并且其中在所述流體出口處，所述出口擴展槽的外周輪廓位于所述流體出口的外周輪廓之外；將所述第一基板的第一安裝側與所述第二基板的第二安裝側相互連接以將所述第一基板與所述第二基板安裝在一起，從而所述流體腔室槽形成流體腔室；以及在每個所述出口擴展槽處切割所述第一基板和所述第二基板，以分離所述多個流體腔室。

以上為本申請的概述，可能有簡化、概括和省略細節的情況，因此本領域的技術人員應該認識到，該部分僅是示例說明性的，而不旨在以任何方式限定本申請范圍。本概述部分既非旨在確定所要求保護主題的關鍵特征或必要特征，也非旨在用作為確定所要求保護主題的范圍的輔助手段。

附圖說明

通過下面說明書和所附的權利要求書并與附圖結合，將會更加充分地清楚理解本申請內容的上述和其他特征。可以理解，這些附圖僅描繪了本申請內容的若干實施方式，因此不應認為是對本申請內容范圍的限定。通過采用附圖，本申請內容將會得到更加明確和詳細地說明。

圖1示出了一種用作為霧化噴嘴的微流體器件在其液體出口處的局部示意圖；

圖2a示出了金剛石刀切割后的劃片槽附近的晶圓表面；

圖2b示出了激光切割后的劃片槽附近的晶圓表面；