[發明專利]一種用于光刻設備的氣液分離裝置

在審

• 申請號: 201910515607.6
• 申請日: 2019-06-14
• 公開（公告）號: CN110354685A
• 公開（公告）日: 2019-10-22
• 發明（設計）人: 付新;譚張賢;李元;徐寧;陳文昱
• 申請（專利權）人: 浙江啟爾機電技術有限公司
• 主分類號: B01D61/18
• 分類號: B01D61/18;B01D61/14;G03F7/20
• 代理公司: 杭州君度專利代理事務所(特殊普通合伙) 33240
• 代理人: 朱亞冠

1.一種用于光刻設備的氣液分離裝置，包括上端蓋、上端蓋蓋板、微孔膜組件、下端蓋、下端蓋蓋板、外殼；其特征在于：

所述的上端蓋與下端蓋分別設置在外殼的兩側，與外殼構成氣體緩沖腔；一個或多個微孔膜組件設置在氣體緩沖腔內，微孔膜組件的兩端分別與上端蓋和下端蓋同軸過盈配合安裝；上端蓋蓋板設置在上端蓋外側，與上端蓋形成液體緩沖腔；下端蓋蓋板設置在下端蓋外側，與下端蓋形成氣液緩沖腔；

所述的下端蓋蓋板上設置流體入口，作為氣液緩沖腔入液口；在上端蓋蓋板上設置流體出口，作為液體緩沖腔排液口；來自浸沒控制單元的氣液兩相流經所述流體入口流入氣液分離裝置，經所述流體出口流出氣液分離裝置；下端蓋上開有一個或多個入液通孔，一個入液通孔連通一個微孔膜組件入液口與氣液緩沖腔；上端蓋上開有一個或多個出液通孔，一個出液通孔連通一個微孔膜組件出液口與液體緩沖腔；入液通孔個數、出液通孔個數、微孔膜組件個數相同；

所述的外殼或上端蓋或下端蓋上設置有抽氣口，抽氣口與真空泵相連接，使氣體緩沖腔的壓強小于大氣壓；

所述微孔膜組件包括支撐結構和微孔膜，支撐結構為軸向貫通結構，支撐結構壁面上具有連通結構內外部空間的開口，兩端分別作為微孔膜組件入液口與微孔膜組件出液口；在支撐結構壁面內側或外側覆蓋微孔膜，微孔膜遮蔽支撐結構壁面上的所有開口，微孔膜開口的線度小于10微米。

2.根據權利要求1所述的一種用于光刻設備的氣液分離裝置，其特征在于：所述微孔膜開口的線度小于1微米。

3.根據權利要求1或2所述的一種用于光刻設備的氣液分離裝置，其特征在于：所述的微孔膜的表面與液體的接觸角大于90°。

4.根據權利要求3所述的一種用于光刻設備的氣液分離裝置，其特征在于：所述微孔膜的材料為聚四氟乙烯。

5.根據權利要求1所述的一種用于光刻設備的氣液分離裝置，其特征在于：所述的微孔膜以多層重疊的方式覆蓋支撐結構。

6.根據權利要求1所述的一種用于光刻設備的氣液分離裝置，其特征在于：對所述的微孔膜加熱使其粘附在支撐結構上。

7.根據權利要求1所述的一種用于光刻設備的氣液分離裝置，其特征在于：所述的微孔膜組件至少具備兩個，并列配置。

8.根據權利要求1所述的一種用于光刻設備的氣液分離裝置，其特征在于：所述支撐結構為側壁有通孔的管道。

9.根據權利要求1或7所述的一種用于光刻設備的氣液分離裝置，其特征在于：所述支撐結構是軸向貫通的網狀結構。

10.根據權利要求1所述的一種用于光刻設備的氣液分離裝置，其特征在于：所述上端蓋上設置有壓力傳感器，用于測量氣體緩沖腔內氣體壓強。