[發(fā)明專利]基于質(zhì)譜測量激光燒蝕等離子體物種時間演化測量方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201910504578.3 | 申請日： | 2019-06-12 |
| 公開（公告）號： | CN110186995A | 公開（公告）日： | 2019-08-30 |
| 發(fā)明（設計）人： | 丁洪斌;郝媛杰;吳鼎;馮春雷;李聰;海然 | 申請（專利權(quán)）人： | 大連理工大學 |
| 主分類號： | G01N27/62 | 分類號： | G01N27/62 |
| 代理公司： | 大連星海專利事務所有限公司 21208 | 代理人： | 裴毓英 |
| 地址： | 116024 遼*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 等離子體 激光燒蝕 質(zhì)譜測量 質(zhì)譜數(shù)據(jù) 靶材 控制程序 測量 飛行時間質(zhì)譜儀 漂移 物種 高壓脈沖電場 虛擬實驗平臺 質(zhì)譜分析技術(shù) 電荷態(tài)離子 離子探測器 脈沖發(fā)生器 時序 測量要求 范圍選擇 激光光路 離子物種 數(shù)字延時 激光器 脈沖 場腔 擋片 門寬 腔室 無場 離子 采集 開門 室內(nèi) 傳輸 計算機 檢測 | ||
1.一種基于質(zhì)譜測量激光燒蝕等離子體物種時間演化測量方法，其特征在于，包括以下步驟：
步驟1，采用包含脈沖激光器、飛行時間質(zhì)譜儀、高壓脈沖電源、時序脈沖數(shù)字延時發(fā)生器、離子探測器、空間范圍選擇擋片、示波器的等離子體檢測裝置；將靶材放置于飛行時間質(zhì)譜儀的真空引出場腔室內(nèi)，調(diào)整激光光路，選取符合測量要求的空間范圍選擇擋片；
步驟2，根據(jù)測量目的，通過數(shù)字延時脈沖發(fā)生器和LabVIEW虛擬實驗平臺控制程序設置激光器、高壓脈沖電場，離子探測器之間開門時序和門寬，并設置示波器對波形數(shù)據(jù)的實時顯示及存儲；
步驟3，開始測量，在每一個脈沖的激光燒蝕靶材產(chǎn)生等離子體后，使?jié)M足特定條件的離子進入到真空無場漂移腔室后，根據(jù)離子之間不同荷質(zhì)比到達離子探測器的時間不同，得到質(zhì)譜數(shù)據(jù)；
步驟4，質(zhì)譜探測器接收質(zhì)譜數(shù)據(jù)，并由示波器同步采集后，將采集得到的質(zhì)譜數(shù)據(jù)傳輸?shù)接嬎銠C，由LabVIEW虛擬實驗平臺進行處理和顯示，得到相對應的離子物種信息。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于質(zhì)譜測量激光燒蝕等離子體物種時間演化測量方法，其特征在于，所述時序脈沖數(shù)字延時發(fā)生器的型號為DG645。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于質(zhì)譜測量激光燒蝕等離子體物種時間演化測量方法，其特征在于，通過LabVIEW虛擬實驗平臺遠程控制時序脈沖數(shù)字延時發(fā)生器各通道的延遲時間和TTL觸發(fā)電平。
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