[發(fā)明專利]一種柔性聲表面波器件及制備方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201910504148.1 | 申請日： | 2019-06-12 |
| 公開（公告）號： | CN110277976A | 公開（公告）日： | 2019-09-24 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 吳化平;諸駿;劉振東;陳宇丹 | 申請（專利權(quán)）人： | 寧海縣浙工大科學(xué)技術(shù)研究院 |
| 主分類號： | H03H9/02 | 分類號： | H03H9/02;H03H9/145 |
| 代理公司： | 杭州斯可睿專利事務(wù)所有限公司 33241 | 代理人： | 王利強(qiáng) |
| 地址： | 315600 浙江省寧*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 制備 襯底 聲表面波器件 叉指換能器 反射柵 壓電層 薄膜 使用環(huán)境 疏水處理 壓電薄膜 金薄膜 沉積 貼附 配置 應(yīng)用 | ||
1.一種柔性聲表面波器件，其特征在于，所述器件包括叉指換能器、反射柵、壓電層薄膜和柔性襯底，所述壓電層薄膜位于柔性襯底上，所述叉指換能器、反射柵位于所述壓電層薄膜上。
2.如權(quán)利要求1所述的一種柔性聲表面波器件，其特征在于，所述壓電層薄膜為PVDF高分子材料制成。
3.如權(quán)利要求1或2所述的一種柔性聲表面波器件，其特征在于，所述柔性襯底為PDMS高分子材料制成。
4.如權(quán)利要求1或2所述的一種柔性聲表面波器件，其特征在于，所述叉指換能器為金薄膜制成。
5.如權(quán)利要求1或2所述的一種柔性聲表面波器件，其特征在于，所述反射柵為金薄膜制成。
6.一種如權(quán)利要求1所述的柔性聲表面波器件的制備方法，其特征在于，所述方法包括以下步驟：
(1)先配置疏水處理溶液，將正庚烷，乙酸乙酯，十八烷基三甲氧基硅氧烷按照1000:50:20的比例配置成溶液，將該溶液倒進(jìn)容器中浸泡；
(2)將PDMS與交聯(lián)劑按10:1比例混合均勻后，反復(fù)真空除氣泡。將進(jìn)行疏水處理的容器表面旋涂與交聯(lián)劑混合均勻并且無明顯氣泡的PDMS；將涂有PDMS的硅模板放在鼓風(fēng)干燥機(jī)中，60℃加熱2小時。固化后，將容器與上的PDMS在水中剝離；
(3)用電子天平稱取P(VDF-TRFE)粉末0.5克將P(VDF-TRFE)和20毫升DMF放入錐形瓶中，進(jìn)行磁力攪拌2小時待攪拌完成后，將溶液倒入至平底培養(yǎng)皿、將培養(yǎng)皿放入烘箱，60度鼓風(fēng)干燥成膜后進(jìn)行140度退火處理2小時；
(4)將步驟(3)所制備的PVDF薄膜貼附在步驟(2)所制備的柔性襯底上；
(5)在步驟(3)所制備的壓電薄膜上沉積金薄膜制備叉指換能器和反射柵。
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