[發(fā)明專利]觸覺傳感結(jié)構(gòu)、制備方法及應(yīng)用

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910503400.7
• 申請(qǐng)日: 2019-06-11
• 公開（公告）號(hào): CN110186595B
• 公開（公告）日: 2021-07-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張春;胡傳波;姜漢鈞
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳清華大學(xué)研究院
• 主分類號(hào): G01L1/00
• 分類號(hào): G01L1/00;G01L1/24;G01N21/84;G06T7/00;G06T7/40
• 代理公司: 深圳市鼎言知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44311
• 代理人: 曾昭毅;鄭海威

1.一種觸覺傳感結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

提供一模具及可固化材料與固化劑形成的膠體，將所述膠體注入所述模具內(nèi)固化，得到基底層；

覆蓋掩膜版于所述基底層上，濺射包含第一金屬的材質(zhì)于所述基底層上，撕除所述掩膜版，在所述基底層上形成標(biāo)記點(diǎn)，所述標(biāo)記點(diǎn)的橫截面至少有兩種大小；

將所述膠體注入所述模具內(nèi)固化，在所述標(biāo)記點(diǎn)上形成介質(zhì)層；所述橫截面指的是平行于所述介質(zhì)層的面；

濺射第二金屬于所述介質(zhì)層上，在所述介質(zhì)層上形成紋理層；

將所述膠體注入所述模具內(nèi)固化，在所述介質(zhì)層上形成保護(hù)層，得到所述觸覺傳感結(jié)構(gòu)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的觸覺傳感結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于，所述可固化材料為聚二甲基硅氧烷，所述可固化材料與所述固化劑的質(zhì)量比為27:1-33:1；所述第一金屬的顏色淺于所述第二金屬的顏色。

3.一種由權(quán)利要求1或2所述的制備方法制備的觸覺傳感結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述觸覺傳感結(jié)構(gòu)包括基底層及依次設(shè)置于所述基底層上的標(biāo)記點(diǎn)、介質(zhì)層、紋理層及保護(hù)層，所述基底層、所述介質(zhì)層及所述保護(hù)層的材質(zhì)均為彈性材料，所述彈性材料是透明的，所述標(biāo)記點(diǎn)的材質(zhì)包含第一金屬，所述紋理層的材質(zhì)為第二金屬，所述第一金屬與所述第二金屬的顏色不同；所述標(biāo)記點(diǎn)的橫截面至少有兩種大小，所述橫截面指的是平行于所述介質(zhì)層的面。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的觸覺傳感結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一金屬為鋁，所述第二金屬為銅或銀中的至少一種；所述標(biāo)記點(diǎn)的厚度為100nm-300nm，所述紋理層的厚度為50nm-200nm。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的觸覺傳感結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述標(biāo)記點(diǎn)的厚度為150nm-250nm，所述紋理層的厚度為80nm-120nm。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的觸覺傳感結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述介質(zhì)層的厚度為0.3mm-0.5mm，所述保護(hù)層的厚度為0.1mm-0.2mm。

7.一種光學(xué)觸覺傳感器，其特征在于，所述光學(xué)觸覺傳感器包括由權(quán)利要求1或2所述的制備方法制備的觸覺傳感結(jié)構(gòu)及攝像頭，所述攝像頭位于所述基底層且遠(yuǎn)離所述標(biāo)記點(diǎn)的一側(cè)。

8.一種機(jī)器，其特征在于，所述機(jī)器包含機(jī)器手及權(quán)利要求7所述的光學(xué)觸覺傳感器，所述光學(xué)觸覺傳感器設(shè)置于所述機(jī)器手上。