[發明專利]一種DZ40M鈷基高溫合金零件表面及裂紋內部氧化膜綠色去除方法

在審

• 申請號: 201910502458.X
• 申請日: 2019-06-11
• 公開（公告）號: CN110230069A
• 公開（公告）日: 2019-09-13
• 發明（設計）人: 張鈾;吳業瓊;郭連平;侯廷紅;何勇;陳海生;胡兵;楊秀恩;余曉東;閆波
• 申請（專利權）人: 中國人民解放軍第五七一九工廠
• 主分類號: C23G5/00
• 分類號: C23G5/00
• 代理公司: 成都金英專利代理事務所(普通合伙) 51218
• 代理人: 袁英

1.一種DZ40M鈷基高溫合金零件表面及裂紋內部氧化膜綠色去除方法，包括以下步驟：

S1、預處理：將待去除氧化膜的零件放置在反應室中，反應室抽真空，并逐步升溫；升溫過程中，反應室內先通入Ar，當升溫至760 ℃時，通入H₂，升溫至1040 ℃左右后進行保溫，反應室中Ar和H₂的壓力均控制在2.0 bar ~2.4 bar；

S2、清洗：控制反應室壓力在負壓、常壓和正壓狀態循環變化，反應室處于負壓、常壓和正壓不同狀態時，其內均持續通入HF和H₂進行清洗；

S3、后處理：完成步驟S2后，按設定的時間持續通入H₂，且反應室內保持常壓；隨后將反應室壓力降到133 mbar以下，在30 min±10 min內，將反應室溫度升到1125 ℃±15 ℃，在該溫度和壓力下保溫60 min±10 min，最終實現DZ40M鈷基高溫合金零件表面及裂紋內部氧化膜的去除。

2.根據權利要求1所述的一種DZ40M鈷基高溫合金零件表面及裂紋內部氧化膜綠色去除方法，其特征在于，包括冷卻步驟：步驟S3后，反應室在常壓進行冷卻，首先，持續通入H₂和Ar冷卻到760 ℃，然后，持續通入Ar冷卻到500 ℃以下，最后進行負載偶冷卻，至反應室溫度在120 ℃左右，零件可出反應室。

3.根據權利要求1所述的一種DZ40M鈷基高溫合金零件表面及裂紋內部氧化膜綠色去除方法，其特征在于，步驟S1中通入Ar和H₂的流量均為40 LPM±5 LPM。

4.根據權利要求1所述的一種DZ40M鈷基高溫合金零件表面及裂紋內部氧化膜綠色去除方法，其特征在于，步驟S1中，保溫時間為4.5 h±30 min。

5.根據權利要求1所述的一種DZ40M鈷基高溫合金零件表面及裂紋內部氧化膜綠色去除方法，其特征在于，步驟S2的清洗循環進行多次。

6.根據權利要求1所述的一種DZ40M鈷基高溫合金零件表面及裂紋內部氧化膜綠色去除方法，其特征在于，步驟S2中，反應室處于負壓狀態的時間為150 min±10 min，處于常壓狀態的時間為60 min±10 min，處于正壓的時間為60 min±10 min。

7.根據權利要求1所述的一種DZ40M鈷基高溫合金零件表面及裂紋內部氧化膜綠色去除方法，其特征在于，步驟S2中，通入HF和H₂的流量分別為12 LPM±3 LPM和40 LPM±5LPM。

8.根據權利要求1所述的一種DZ40M鈷基高溫合金零件表面及裂紋內部氧化膜綠色去除方法，其特征在于，步驟S2中，反應室處于負壓狀態時，壓力在200mbar以下。

9.根據權利要求1所述的一種DZ40M鈷基高溫合金零件表面及裂紋內部氧化膜綠色去除方法，其特征在于，反應室處于正壓狀態時，壓力為1100 mbar±20 mbar。

10.根據權利要求1所述的一種DZ40M鈷基高溫合金零件表面及裂紋內部氧化膜綠色去除方法，其特征在于，步驟S3中，持續通入H₂的時間為20 min±5 min。