[發明專利]一種超導磁體和磁控直拉單晶設備在審
| 申請號: | 201910498579.1 | 申請日: | 2019-06-10 |
| 公開(公告)號: | CN110136915A | 公開(公告)日: | 2019-08-16 |
| 發明(設計)人: | 湯洪明;傅林堅;劉黎明;門玉娟 | 申請(專利權)人: | 杭州慧翔電液技術開發有限公司 |
| 主分類號: | H01F6/06 | 分類號: | H01F6/06;H01F6/04;C30B15/00;C30B33/04;C30B29/06 |
| 代理公司: | 北京品源專利代理有限公司 11332 | 代理人: | 孟金喆 |
| 地址: | 311100 浙江省*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 超導線圈 超導磁體 超導開關 線圈骨架 低溫恒溫器 直拉單晶 磁控 單晶硅 操作安全性 閉合 閉合導通 勵磁電源 消耗電力 制冷機 并聯 斷開 串聯 生產 | ||
1.一種超導磁體,用于磁控直拉單晶制備過程,其特征在于,所述超導磁體包括:超導開關、超導線圈、線圈骨架和低溫恒溫器;其中:
所述超導線圈的數量為一組或多組,固定于所述線圈骨架上,多個所述超導線圈相互串聯;
所述超導開關的數量為至少一個,與所述超導線圈并聯,用于在所述超導線圈經過勵磁電源勵磁到設定磁場時閉合,以連通各所述超導線圈形成閉合回路;
所述超導開關固定于所述線圈骨架的設定低磁場區域;
所述線圈骨架放置于所述低溫恒溫器中,所述低溫恒溫器帶有制冷機,用于制造滿足設定低溫條件的環境,以令所述超導線圈和所述超導開關處于超導狀態。
2.根據權利要求1所述的超導磁體,其特征在于:還包括抱箍,所述抱箍用于固定所述超導線圈與所述線圈骨架。
3.根據權利要求1所述的超導磁體,其特征在于:所述低溫恒溫器的結構為液氦浸泡結構,所述超導開關為加熱式超導開關。
4.根據權利要求3所述的超導磁體,其特征在于:所述超導開關包括:無感線圈、加熱器、開關骨架和接線柱;
所述無感線圈采用無感繞制方式繞制在所述開關骨架上;
所述無感線圈的進線和出線與所述接線柱相連接;
所述超導線圈連接于所述接線柱;
所述加熱器與所述無感線圈緊貼設置,并用玻璃絲布纏繞固定;
所述加熱器的進線和出線從所述超導磁體中引出來,并連接于外接加熱電源模塊,用于控制所述超導開關的斷開和閉合。
5.根據權利要求4所述的超導磁體,其特征在于:使用環氧樹脂填充所述超導開關在繞制時產生的縫隙。
6.根據權利要求4所述的超導磁體,其特征在于:所述開關骨架采用金屬材料,其內表面貼敷一層絕緣材料。
7.根據權利要求1所述的超導磁體,其特征在于:所述低溫恒溫器的結構可為無液氦直接冷卻結構;所述超導開關為加熱式超導開關或機械式超導開關。
8.根據權利要求1-7任一所述的超導磁體,其特征在于:還包括:失超保護模塊,與所述超導開關并聯,用于在所述超導線圈失超或所述超導開關失超時,限制所述超導開關兩端的電壓,并作為磁場能量釋放通路。
9.根據權利要求8所述的超導磁體,其特征在于:所述失超保護模塊包括反向并聯的一組二極管。
10.一種磁控直拉單晶設備,包括單晶爐和超導磁體,其特征在于:所述超導磁體為權利要求1-9任一所述的超導磁體,所述超導磁體設置在所述單晶爐的外側,用于經過勵磁電源勵磁到設定磁場時,閉合所述超導開關,使所述超導線圈形成磁控直拉單晶所需的磁場。
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