[發(fā)明專利]一種用于調(diào)節(jié)環(huán)形拋光機(jī)瀝青盤表面面形的裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910496610.8
• 申請(qǐng)日: 2019-06-03
• 公開（公告）號(hào): CN110181359B
• 公開（公告）日: 2020-10-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃金勇;謝磊;高胥華;胡慶;王剛;趙恒;蔡超;何祥;馬平;鄢定堯;張?jiān)品?/a>
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 成都精密光學(xué)工程研究中心
• 主分類號(hào): B24B13/00
• 分類號(hào): B24B13/00;B24B13/01;B24B53/02
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 李宏志

本發(fā)明公開了一種用于調(diào)節(jié)環(huán)形拋光機(jī)瀝青盤表面面形的裝置，包括鑄鐵盤，其固定設(shè)置于環(huán)形拋光機(jī)的大理石盤上方，所述鑄鐵盤的頂部澆注有瀝青拋光膜層，待加工光學(xué)元件和校正盤均設(shè)置于所述瀝青拋光膜層上；熱電阻溫度傳感器，其設(shè)置于所述瀝青拋光膜層外側(cè)；環(huán)形水管，其置于所述鑄鐵盤內(nèi)，且其進(jìn)水端和出水端分別位于所述鑄鐵盤的上下方；恒溫供水系統(tǒng)，其包括相連的水箱及恒定水溫控制系統(tǒng)，所述水箱外還設(shè)置有循環(huán)水泵，所述恒定水溫控制系統(tǒng)與所述熱電阻溫度傳感器相連；所述環(huán)形水管的所述進(jìn)水端與所述循環(huán)水泵相連，所述出水端與所述水箱相連。上述裝置可實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)瀝青拋光盤盤面面形，從而實(shí)現(xiàn)光學(xué)元件全口徑面形的高精度加工。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及光學(xué)加工技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種用于調(diào)節(jié)環(huán)形拋光機(jī)瀝青盤表面面形的裝置。

背景技術(shù)

隨著高功率激光裝置建設(shè)水平的提高，對(duì)平面光學(xué)元件提出了全空間頻段指標(biāo)同步控制的加工要求，同時(shí)對(duì)元件加工效率提出了高要求。環(huán)形拋光通常采用瀝青作為拋光材料，通過動(dòng)態(tài)調(diào)整拋光盤表面形貌并基于面形“復(fù)制效應(yīng)”，實(shí)現(xiàn)元件面形的高精度加工。作為一種全口徑拋光技術(shù)，由于其具有良好的中高頻面形誤差修正能力，成為了大口徑平面光學(xué)元件全頻段指標(biāo)高精度加工的主流技術(shù)。

環(huán)形拋光加工精度與環(huán)境溫度以及瀝青的拋光特性息息相關(guān)。環(huán)境溫度過高，會(huì)導(dǎo)致瀝青流動(dòng)性過大(瀝青軟化)，瀝青拋光盤無法實(shí)現(xiàn)拋光作用；環(huán)境溫度過低，會(huì)導(dǎo)致瀝青流動(dòng)性過小(瀝青硬化)從而無法實(shí)時(shí)調(diào)整瀝青拋光盤表面面形，拋光效率低下。

目前，環(huán)形拋光過程屬于離線半閉環(huán)控制系統(tǒng)，由于缺乏溫度定量實(shí)時(shí)反饋及控制手段，對(duì)瀝青拋光盤表面面形的判斷及調(diào)整，在很大程度上主要依賴于操作工人的加工經(jīng)驗(yàn)，加工確定性及加工穩(wěn)定性較差，加工效率低下。

發(fā)明內(nèi)容

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種用于調(diào)節(jié)環(huán)形拋光機(jī)瀝青盤表面面形的裝置，包括：

鑄鐵盤，其固定設(shè)置于環(huán)形拋光機(jī)的大理石盤上方，所述鑄鐵盤的頂部澆注有瀝青拋光膜層，待加工光學(xué)元件和校正盤均設(shè)置于所述瀝青拋光膜層上；

熱電阻溫度傳感器，其設(shè)置于所述瀝青拋光膜層外側(cè)；

環(huán)形水管，其置于所述鑄鐵盤內(nèi)，且其進(jìn)水端和出水端分別位于所述鑄鐵盤的上下方；

恒溫供水系統(tǒng)，其包括相連的水箱及恒定水溫控制系統(tǒng)，所述水箱外還設(shè)置有循環(huán)水泵，所述恒定水溫控制系統(tǒng)與所述熱電阻溫度傳感器相連；所述環(huán)形水管的所述進(jìn)水端與所述循環(huán)水泵相連，所述出水端與所述水箱相連；所述鑄鐵盤為上下組合結(jié)構(gòu)，其包括固定相接的頂蓋和底座，所述頂蓋與所述底座的中心位置均開設(shè)有通孔，所述底座的底面上開設(shè)有螺旋形凹槽，所述環(huán)形水管通過所述通孔安裝入所述螺旋形凹槽內(nèi)。

優(yōu)選地，所述頂蓋與所述底座通過沉頭螺釘相連接，所述底座與所述大理石盤也通過沉頭螺釘相連接。

優(yōu)選地，所述鑄鐵盤中心的所述通孔直徑為25mm，所述鑄鐵盤外徑與所述大理石盤的直徑相同，所述底座高度為30mm，所述頂蓋厚度為20mm，所述螺旋形凹槽寬度為25mm。

優(yōu)選地，所述環(huán)形水管內(nèi)徑為19.05mm，壁厚為1mm，材料為銅。

優(yōu)選地，所述循環(huán)水泵額定流量為0.1L/min～1L/min。

優(yōu)選地，所述恒定水溫控制系統(tǒng)溫度調(diào)節(jié)范圍為16℃～24℃，溫度控制精度為0.1℃。

優(yōu)選地，所述水箱容積為100L～200L。

優(yōu)選地，包括三個(gè)所述熱電阻溫度傳感器，其均勻分布于距離瀝青拋光膜層上表面6mm～10mm的外側(cè)。

上述用于調(diào)節(jié)環(huán)形拋光機(jī)瀝青盤表面面形的裝置的工作原理如下：