[發明專利]一種光學位移檢測傳感器組件

有效

• 申請號: 201910490502.X
• 申請日: 2019-06-06
• 公開（公告）號: CN110132140B
• 公開（公告）日: 2020-09-01
• 發明（設計）人: 周吳;于慧君;詹海翔;曹凱聰;趙虎
• 申請（專利權）人: 電子科技大學
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02
• 代理公司: 成都正華專利代理事務所(普通合伙) 51229
• 代理人: 何凡

1.一種光學位移檢測傳感器組件，其特征在于，包括光學檢測傳感器和反光鏡，所述光學檢測傳感器包括激光發生器(5)，所述激光發生器(5)外依次分布有內圓周和外圓周；所述內圓周和外圓周上分別設置有若干內圈光敏二極管(7)和外圈光敏二極管(6)；所述反光鏡包括直反光面(4)，所述直反光面(4)的四周均設置有傾斜的斜反光面(2)，所述斜反光面(2)與直反光面(4)形成下凹結構；直反光面(4)的中央設置有遮光區。

2.根據權利要求1所述的光學位移檢測傳感器組件，其特征在于，所述斜反光面(2)的傾斜角：

其中，l₀為外圓周的半徑，d為起始檢測距離，θ為激光發生器(5)的發散角。

3.根據權利要求1所述的光學位移檢測傳感器組件，其特征在于，所述內圓周和外圓周上分別設置有四個成十字分布的內圈光敏二極管(7)和外圈光敏二極管(6)。

4.根據權利要求1所述的光學位移檢測傳感器組件，其特征在于，所述內圓周的半徑為350um，所述外圓周的半徑為700um。

5.根據權利要求1所述的光學位移檢測傳感器組件，其特征在于，所述直反光面(4)的半徑：

其中，l_i為內圓周的半徑，r為內圈光敏二極管(7)的感光半徑。