[發(fā)明專利]晶棒翻轉(zhuǎn)小車

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910488829.3
• 申請(qǐng)日: 2019-06-06
• 公開（公告）號(hào): CN110154253A
• 公開（公告）日: 2019-08-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周智元;聞瀾霖;王道平;楊勝友
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海新昇半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號(hào): B28D5/00
• 分類號(hào): B28D5/00
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 劉翔

本發(fā)明提供一種晶棒翻轉(zhuǎn)小車，包括：車身、晶棒固定機(jī)構(gòu)、換向翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)及轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述晶棒固定機(jī)構(gòu)固定在所述車身的頂部，所述晶棒固定機(jī)構(gòu)與所述換向翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)固定連接，所述轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述換向翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)傳動(dòng)連接，通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)所述轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)所述換向翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)翻轉(zhuǎn)固定在所述晶棒固定機(jī)構(gòu)上的晶棒。本發(fā)明提供的晶棒翻轉(zhuǎn)小車，操作過(guò)程安全簡(jiǎn)單，翻轉(zhuǎn)過(guò)程中晶棒不會(huì)直接與地面或其他硬物接觸，避免了晶棒因受力不均勻而導(dǎo)致隱裂異常，保證了晶棒的品質(zhì)，節(jié)省了人力，提高了效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體芯片行業(yè)和光伏太陽(yáng)能行業(yè)領(lǐng)域，尤其涉及一種晶棒翻轉(zhuǎn)小車。

背景技術(shù)

硅晶棒是半導(dǎo)體生產(chǎn)的基礎(chǔ)材料，單晶硅是制造硅晶因片的基礎(chǔ)材料，多晶硅粗砂是制造單晶硅的基礎(chǔ)材料。市場(chǎng)上賣的IC產(chǎn)品，高級(jí)的像CPU，低級(jí)的像各種小塑封小集成塊，都是最終的產(chǎn)品。在半導(dǎo)體制造中，晶圓是通過(guò)晶棒切割出來(lái)的，晶棒切割前需要將約100KG重的晶棒粘連在工件板上，粘好的晶棒，晶棒在上，工件板在下，而安裝到切片機(jī)上時(shí)，工件板在上，晶棒在下，即需要將粘有工件板上的晶棒進(jìn)行翻轉(zhuǎn)180度。靠工人手抬翻轉(zhuǎn)，十分費(fèi)力，而且很不安全。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，本發(fā)明的目的在于提供一種晶棒翻轉(zhuǎn)小車，通過(guò)機(jī)械設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)晶棒的安全翻轉(zhuǎn)，節(jié)省人力，提高效率。

本發(fā)明提供一種晶棒翻轉(zhuǎn)小車，包括：車身、晶棒固定機(jī)構(gòu)、換向翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)及轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述換向翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)固定在所述車身的頂部，所述換向翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)與所述晶棒固定機(jī)構(gòu)固定連接，所述轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述換向翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)傳動(dòng)連接，轉(zhuǎn)動(dòng)所述轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)所述換向翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)翻轉(zhuǎn)固定在所述晶棒固定機(jī)構(gòu)上的晶棒。

可選的，所述換向翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括：螺桿軸、盤形旋轉(zhuǎn)齒輪和翻轉(zhuǎn)支撐桿，所述螺桿軸一端與所述轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接，另一端與所述盤形旋轉(zhuǎn)齒輪連接；所述翻轉(zhuǎn)支撐桿一端與所述盤形旋轉(zhuǎn)齒輪連接，另一端與所述晶棒固定機(jī)構(gòu)連接。

可選的，所述轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)和所述換向翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)分別設(shè)置在所述車身的頂部相的對(duì)的兩端。

可選的，所述轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述車身的頂部的一端之間的距離30～40mm，所述盤形旋轉(zhuǎn)齒輪位于所述車身的頂部的一端的邊緣位置。

可選的，所述晶棒固定機(jī)構(gòu)包括：承載板及固定在所述承載板上的夾緊卡爪，所述承載板與所述翻轉(zhuǎn)支撐桿固定連接，所述夾緊卡爪用于將晶棒固定在所述承載板上。

可選的，所述承載板上設(shè)置有傳動(dòng)滾輪。

可選的，所述晶棒翻轉(zhuǎn)小車還包括：限位板，所述限位板固定在所述車身的頂部的上表面，并設(shè)置在所述翻轉(zhuǎn)支撐桿的下方、所述盤形旋轉(zhuǎn)齒輪的兩側(cè)。

可選的，所述晶棒翻轉(zhuǎn)小車還包括：翻轉(zhuǎn)自鎖機(jī)構(gòu)。

可選的，所述翻轉(zhuǎn)自鎖機(jī)構(gòu)包括：設(shè)置在所述盤形旋轉(zhuǎn)齒輪內(nèi)的插銷。

可選的，所述盤形旋轉(zhuǎn)齒輪通過(guò)螺栓、螺母固定在所述車身的頂部，所述螺桿軸通過(guò)定位孔的軸承連接固定在所述車身的頂部。

可選的，所述轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述與換向翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)通過(guò)螺旋齒輪或螺桿齒輪傳動(dòng)連接。

可選的，所述轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)為一手柄。

綜上，本發(fā)明提供的一種晶棒翻轉(zhuǎn)小車，通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)所述轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)所述換向翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)翻轉(zhuǎn)固定在所述晶棒固定機(jī)構(gòu)上的晶棒，操作過(guò)程安全簡(jiǎn)單，翻轉(zhuǎn)過(guò)程中晶棒不會(huì)直接與地面或其他硬物接觸，避免了晶棒因受力不均勻而導(dǎo)致隱裂異常，，保證了晶棒的品質(zhì)，節(jié)省了人力，提高了效率。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明實(shí)施例中晶棒翻轉(zhuǎn)小車的結(jié)構(gòu)框架圖

圖2A和圖2B為本發(fā)明實(shí)施例中晶棒翻轉(zhuǎn)小車的結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖標(biāo)記說(shuō)明：