[發(fā)明專利]晶圓測(cè)試方法及晶圓測(cè)試裝置

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910486619.0
• 申請(qǐng)日: 2019-06-05
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN110164789A
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-08-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉昌江;周杰;田茂;謝家紅
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 德淮半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/66
• 分類號(hào): H01L21/66
• 代理公司: 上海盈盛知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31294
• 代理人: 孫佳胤;陳麗麗

1.一種晶圓測(cè)試方法，其特征在于，包括如下步驟：

提供一晶圓，所述晶圓中具有多個(gè)管芯；

于所述晶圓的邊緣選擇至少一個(gè)管芯作為目標(biāo)管芯，并獲取所述目標(biāo)管芯的目標(biāo)坐標(biāo)以及所述目標(biāo)管芯周圍的多個(gè)相鄰管芯的基本信息；

移動(dòng)探針至所述目標(biāo)坐標(biāo)處，并以當(dāng)前探針?biāo)鶎?duì)應(yīng)位置處的管芯作為測(cè)試管芯；

采用探針對(duì)所述測(cè)試管芯周圍的多個(gè)相鄰管芯進(jìn)行測(cè)試，獲取多個(gè)測(cè)試信息；

判斷多個(gè)所述基本信息與多個(gè)所述測(cè)試信息是否一一匹配，若否，則確認(rèn)測(cè)試機(jī)臺(tái)發(fā)生對(duì)焦偏移。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓測(cè)試方法，其特征在于，所述基本信息包括每一相鄰管芯相對(duì)于所述目標(biāo)管芯的位置信息及其所對(duì)應(yīng)的管芯類型。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓測(cè)試方法，其特征在于，獲取所述目標(biāo)管芯的目標(biāo)坐標(biāo)以及所述目標(biāo)管芯周圍的多個(gè)相鄰管芯的基本信息的具體步驟包括：

獲取分別位于所述目標(biāo)管芯上側(cè)、下側(cè)、左側(cè)和右側(cè)的相鄰管芯的基本信息。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶圓測(cè)試方法，其特征在于，于所述晶圓的邊緣選擇至少一個(gè)管芯作為目標(biāo)管芯的具體步驟包括：

于所述晶圓的邊緣選擇多個(gè)管芯分別作為目標(biāo)管芯，且多個(gè)所述目標(biāo)管芯分布于所述晶圓一徑向方向的相對(duì)兩側(cè)，并分別獲取每一所述目標(biāo)管芯的目標(biāo)坐標(biāo)以及所述目標(biāo)管芯周圍的多個(gè)相鄰管芯的基本信息。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶圓測(cè)試方法，其特征在于，于所述晶圓的邊緣選擇多個(gè)管芯分別作為目標(biāo)管芯的具體步驟包括：

多個(gè)所述目標(biāo)管芯關(guān)于所述晶圓的中心對(duì)稱分布，且位于每一所述目標(biāo)管芯相對(duì)兩側(cè)的相鄰管芯的管芯類型互不相同。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶圓測(cè)試方法，其特征在于，于所述晶圓的邊緣選擇多個(gè)管芯分別作為目標(biāo)管芯的具體步驟包括：

多個(gè)所述目標(biāo)管芯關(guān)于所述晶圓的中心非對(duì)稱分布。

7.一種晶圓測(cè)試裝置，其特征在于，包括：

選擇模塊，用于從所述晶圓的邊緣選擇至少一個(gè)管芯作為目標(biāo)管芯，所述晶圓中具有多個(gè)管芯，所述目標(biāo)管芯位于所述晶圓的邊緣；

存儲(chǔ)模塊，連接所述選擇模塊，用于獲取所述目標(biāo)管芯的目標(biāo)坐標(biāo)以及所述目標(biāo)管芯周圍的多個(gè)相鄰管芯的基本信息；

測(cè)試模塊，連接所述存儲(chǔ)模塊，所述測(cè)試模塊包括探針，用于將探針移動(dòng)至所述目標(biāo)坐標(biāo)處，并以當(dāng)前探針?biāo)鶎?duì)應(yīng)位置處的管芯作為測(cè)試管芯；所述測(cè)試模塊還用于控制所述探針對(duì)所述測(cè)試管芯周圍的多個(gè)相鄰管芯進(jìn)行測(cè)試，獲取多個(gè)測(cè)試信息；

比較模塊，連接所述測(cè)試模塊、所述存儲(chǔ)模塊，用于判斷多個(gè)所述基本信息與多個(gè)所述測(cè)試信息是否一一匹配，若否，則確認(rèn)測(cè)試機(jī)臺(tái)發(fā)生對(duì)焦偏移。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的晶圓測(cè)試裝置，其特征在于，所述基本信息包括每一相鄰管芯相對(duì)于所述目標(biāo)管芯的位置信息及其所對(duì)應(yīng)的管芯類型。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的晶圓測(cè)試裝置，其特征在于，所述存儲(chǔ)模塊用于獲取分別位于所述目標(biāo)管芯上側(cè)、下側(cè)、左側(cè)和右側(cè)的相鄰管芯的基本信息。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的晶圓測(cè)試裝置，其特征在于，所述選擇模塊用于從所述晶圓的邊緣選擇多個(gè)管芯分別作為目標(biāo)管芯，且多個(gè)所述目標(biāo)管芯分布于所述晶圓一徑向方向的相對(duì)兩側(cè)，并分別獲取每一所述目標(biāo)管芯的目標(biāo)坐標(biāo)以及所述目標(biāo)管芯周圍多個(gè)相鄰管芯的基本信息。