[發(fā)明專利]NiO氧化物半導(dǎo)體二甲苯傳感器及其制備方法與應(yīng)用在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201910477594.8 | 申請日： | 2019-06-03 |
| 公開（公告）號： | CN110082398A | 公開（公告）日： | 2019-08-02 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 王慶吉;李朝陽;趙昱博;劉澤軒 | 申請（專利權(quán)）人： | 海南大學(xué) |
| 主分類號： | G01N27/12 | 分類號： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227 | 代理人： | 藏斌;趙青朵 |
| 地址： | 570228 海南*** | 國省代碼： | 海南;46 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 敏感材料 二甲苯 傳感器 氧化物半導(dǎo)體 半導(dǎo)體氧化物 氣體傳感器 花狀 制備 應(yīng)用 低檢測下限 對二甲苯 鎳鎘合金 外表面套 檢測 鉑絲 涂覆 分隔 平行 污染物 | ||
1.一種NiO氧化物半導(dǎo)體二甲苯傳感器，包括：外表面套設(shè)有兩個平行且彼此分隔的環(huán)形Au電極的Al2O3陶瓷管，連接在每個所述環(huán)形Au電極上的鉑絲，涂覆在所述Al2O3陶瓷管外表面和環(huán)形Au電極上的半導(dǎo)體氧化物敏感材料，和置于所述Al2O3陶瓷管內(nèi)的鎳鎘合金線圈，其特征在于，所述半導(dǎo)體氧化物敏感材料為多孔花狀的NiO。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的NiO氧化物半導(dǎo)體二甲苯傳感器，其特征在于，所述多孔花狀的NiO按照以下步驟制備得到：
(1)首先利用磁力攪拌將2mmol NiCl2·6H2O分散在20mL無水乙醇的燒杯中；
(2)然后將10mL氨水加入燒杯中；
(3)接著將5mL濃度為1mol/L的NaOH水溶液逐滴加入燒杯中；
(4)之后將2g NaCl溶解在上述溶液中；
(5)5分鐘后，將混合溶液轉(zhuǎn)移到45mL聚四氟乙烯襯里的高壓釜中并在180℃下加熱12小時；
(6)當(dāng)溶劑熱過程完成時，將高壓釜自然冷卻至室溫；
(7)將所得產(chǎn)物離心并用蒸餾水和無水乙醇洗滌數(shù)次，然后在80℃下干燥10小時；
(8)將干燥后的粉末置于馬弗爐中，在400℃下燒結(jié)2小時，最終獲得多孔花狀的NiO。
3.一種權(quán)利要求1或2所述NiO氧化物半導(dǎo)體二甲苯傳感器的制備方法，包括以下步驟：
(1)將多孔花狀的NiO與去離子水混合成糊狀，之后將其涂覆在外表面套設(shè)有兩個平行且彼此分隔的環(huán)形Au電極的Al2O3陶瓷管的外表面，形成敏感材料薄膜，所述敏感材料薄膜完全覆蓋住環(huán)形Au電極；
(2)把外表面形成有敏感材料薄膜的Al2O3陶瓷管先至于烘箱中并在70℃下烘烤15分鐘，之后再放入馬弗爐中于400℃下煅燒2小時；然后將鎳鎘合金線圈穿過Al2O3陶瓷管內(nèi)部作為加熱絲；最后對得到的器件進行焊接和封裝，得到NiO氧化物半導(dǎo)體二甲苯傳感器。
4.權(quán)利要求1～2任一項所述的NiO氧化物半導(dǎo)體二甲苯傳感器在檢測大氣環(huán)境中二甲苯濃度上的應(yīng)用。
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