[發明專利]晶圓甩干機以及用于晶圓甩干機的限位機構

有效

• 申請號: 201910477310.5
• 申請日: 2019-06-03
• 公開（公告）號: CN110335834B
• 公開（公告）日: 2021-05-25
• 發明（設計）人: 張雷
• 申請（專利權）人: 廈門通富微電子有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 深圳市威世博知識產權代理事務所(普通合伙) 44280
• 代理人: 李慶波

1.一種晶圓甩干機，其特征在于，包括：

甩干機腔體，設有甩干腔，所述甩干腔用于容置料盒，所述料盒裝有晶圓且與所述甩干機腔體同步旋轉，同時所述料盒設有一暴露所述晶圓至少部分的開口；

限位機構，位于所述甩干腔內且偏離所述甩干機腔體的旋轉軸設置，所述限位機構與所述甩干機腔體同步旋轉，包括互斥的第一活動件以及第二活動件，在所述甩干機腔體開始旋轉時，在各自向心力的作用下，所述第一活動件背向所述旋轉軸方向移動，所述第二活動件朝向所述旋轉軸方向移動，以使所述第二活動件抵頂所述料盒內的所述晶圓自所述開口暴露的至少部分，進而使所述晶圓定位在所述料盒中；

其中，所述限位機構還包括：

旋轉支點，設置于所述甩干腔內；

連桿，連接所述旋轉支點并可圍繞所述旋轉支點轉動，其中，所述連桿轉動的軸心平行于所述甩干機腔體的所述旋轉軸；

第一質量體以及第二質量體，所述第一質量體、所述第二質量體分別與所述連桿的兩端連接；

其中，以所述旋轉支點為界，所述連桿自所述旋轉支點到連接所述第一質量體的部分以及所述第一質量體為所述第一活動件，所述連桿自所述旋轉支點到連接所述第二質量體的部分以及所述第二質量體為所述第二活動件，所述第一活動件的質量大于所述第二活動件的質量；

所述第一質量體與所述連桿可拆卸連接，和/或，所述第二質量體與所述連桿可拆卸連接。

2.根據權利要求1所述的晶圓甩干機，其特征在于，

所述第一質量體到所述旋轉支點的距離等于所述第二質量體到所述旋轉支點的距離，所述第一質量體的質量大于所述第二質量體的質量；或，

所述第一質量體到所述旋轉支點的距離大于所述第二質量體到所述旋轉支點的距離，所述第一質量體的質量等于所述第二質量體的質量。

3.根據權利要求1所述的晶圓甩干機，其特征在于，

所述第一質量體以及所述第二質量體與所述連桿活動連接。

4.根據權利要求1所述的晶圓甩干機，其特征在于，

所述限位機構還包括固定設置在所述甩干腔內的固定支架以及與所述固定支架活動連接的轉軸，其中，所述連桿與所述轉軸固定連接。

5.根據權利要求4所述的晶圓甩干機，其特征在于，

所述固定支架、所述轉軸、所述連桿以及所述第二質量體的材料為工程塑料；

所述第一質量體包括金屬塊以及包覆所述金屬塊的保護層，所述保護層的材料為工程塑料。

6.根據權利要求1所述的晶圓甩干機，其特征在于，

不同的所述晶圓對應同一個所述限位機構；

當所述甩干機腔體開始旋轉而使所述第二活動件朝向所述旋轉軸方向移動時，所述第二活動件同時與對應的多個所述晶圓自所述開口暴露的至少部分抵頂，進而使多個所述晶圓均定位在所述料盒中。

7.根據權利要求1所述的晶圓甩干機，其特征在于，

不同的所述晶圓對應不同的所述限位機構；

當所述甩干機腔體開始旋轉而使多個所述第二活動件朝向所述旋轉軸方向移動時，所述第二活動件與對應的所述晶圓自所述開口暴露的至少部分抵頂，進而使對應的所述晶圓定位在所述料盒中。

8.一種用于晶圓甩干機的限位機構，所述晶圓甩干機包括甩干機腔體，所述甩干機腔體設有甩干腔，所述甩干腔用于容置料盒，所述料盒裝有晶圓且與所述甩干機腔體同步旋轉，同時所述料盒設有一暴露所述晶圓至少部分的開口，其特征在于，所述限位機構位于所述甩干腔內且偏離所述甩干機腔體的旋轉軸設置，所述限位機構與所述甩干機腔體同步旋轉，包括互斥的第一活動件以及第二活動件，在所述甩干機腔體開始旋轉時，在各自向心力的作用下，所述第一活動件背向所述旋轉軸方向移動，所述第二活動件朝向所述旋轉軸方向移動，以使所述第二活動件抵頂所述料盒內的所述晶圓自所述開口暴露的至少部分，進而使所述晶圓定位在所述料盒中；

其中，所述限位機構還包括：

旋轉支點，設置于所述甩干腔內；

連桿，連接所述旋轉支點并可圍繞所述旋轉支點轉動，其中，所述連桿轉動的軸心平行于所述甩干機腔體的所述旋轉軸；

第一質量體以及第二質量體，所述第一質量體、所述第二質量體分別與所述連桿的兩端連接；

其中，以所述旋轉支點為界，所述連桿自所述旋轉支點到連接所述第一質量體的部分以及所述第一質量體為所述第一活動件，所述連桿自所述旋轉支點到連接所述第二質量體的部分以及所述第二質量體為所述第二活動件，所述第一活動件的質量大于所述第二活動件的質量；

所述第一質量體與所述連桿可拆卸連接，和/或，所述第二質量體與所述連桿可拆卸連接。