[發明專利]一種硅片中重金屬的處理分析方法及處理裝置

在審

• 申請號: 201910477207.0
• 申請日: 2019-06-03
• 公開（公告）號: CN110186994A
• 公開（公告）日: 2019-08-30
• 發明（設計）人: 宮尾秀一;張婉婉
• 申請（專利權）人: 西安奕斯偉硅片技術有限公司
• 主分類號: G01N27/62
• 分類號: G01N27/62;G01N1/28;G01N1/34;G01N1/44
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;胡影

1.一種硅片中重金屬的處理分析方法，其特征在于，包括以下步驟：

在結晶方位上對待處理硅片進行切割，得到包括檢測區域的樣品硅片；

對所述樣品硅片的表面進行清洗；

將清洗后的所述樣品硅片置于硝酸和氫氟酸的混合蒸汽中進行溶解，得到樣品硅片處理液。

2.根據權利要求1所述的處理分析方法，其特征在于，將所述樣品硅片的表面進行清洗，包括：

將所述樣品硅片置于硝酸和氫氟酸的混合蒸汽中對所述樣品硅片的表面進行清洗。

3.根據權利要求1所述的處理分析方法，其特征在于，還包括以下步驟：

向所述樣品硅片處理液中加入氫氟酸溶液并蒸發干燥，得到第一處理樣品；

將所述第一處理樣品加入硝酸水溶液中得到測量溶液；

檢測所述測量溶液中的重金屬。

4.一種硅片的處理裝置，其特征在于，包括：

容器，所述容器內限定有用于容納包括硝酸溶液和氫氟酸溶液的混合溶液的第一腔室和與所述第一腔室連通的第二腔室；

加熱機構，用于加熱所述第一腔室中的所述混合溶液，以使所述混合溶液蒸發形成硝酸和氫氟酸的混合蒸汽且所述混合蒸汽能夠進入所述第二腔室；

樣品盒，所述樣品盒置于所述第二腔室中以用于盛裝樣品硅片，所述混合蒸汽能夠進入所述樣品盒中以使所述樣品硅片在所述混合蒸汽中溶解。

5.根據權利要求4所述的處理裝置，其特征在于，所述容器為外側包覆有聚四氟乙烯的金屬材質或陶瓷材質容器，所述加熱機構包括罩形加熱器，所述罩形加熱器套設在所述容器的外側。

6.根據權利要求4所述的處理裝置，其特征在于，所述容器為柱狀，所述第一腔室位于所述容器的底部，所述第二腔室位于所述容器的頂部，所述容器內設有柱狀的導氣管，所述導氣管的一端與所述第一腔室的開口連通，所述導氣管的另一端伸入所述第二腔室且與所述第二腔室連通，所述導氣管的軸線與所述容器的軸線共線。

7.根據權利要求6所述的處理裝置，其特征在于，所述容器上分別設有與所述第二腔室連通的進氣口和出氣口，所述進氣口與所述出氣口關于所述容器的軸線對稱，所述第二腔室中鄰近所述進氣口和所述出氣口的位置分別設有一個帶有通孔的多孔板，兩個所述多孔板關于所述容器的軸線對稱，所述樣品盒的數量為多個且分別置于相應的所述多孔板上。

8.根據權利要求7所述的處理裝置，其特征在于，還包括：

兩個溫度計，兩個所述溫度計均設置于所述第二腔室中，其中一個所述溫度計位于所述導氣管的上方，另一個所述溫度計位于鄰近所述出氣口的所述多孔板的上方。

9.根據權利要求7所述的處理裝置，其特征在于，還包括：

惰性氣體供應裝置，所述惰性氣體供應裝置與所述進氣口連通，以向所述第二腔室中通入惰性氣體。

10.根據權利要求9所述的處理裝置，其特征在于，所述惰性氣體供應裝置與所述進氣口之間設有連接管以連通所述惰性氣體供應裝置與所述進氣口，所述連接管上分別設有流量計和過濾器。