[發明專利]一種MEMS加速度傳感器件的開封方法

在審

• 申請號: 201910476795.6
• 申請日: 2019-06-03
• 公開（公告）號: CN110371923A
• 公開（公告）日: 2019-10-25
• 發明（設計）人: 陳波;張虹;王坦;劉路揚;石雪梅;顧穎;呂兵;鄺栗山
• 申請（專利權）人: 航天科工防御技術研究試驗中心
• 主分類號: B81C99/00
• 分類號: B81C99/00;G01P21/00
• 代理公司: 北京風雅頌專利代理有限公司 11403
• 代理人: 張擁

1.一種MEMS加速度傳感器件的開封方法，所述開封方法用于對MEMS加速度傳感器件內部微機械單元二次封裝進行開封，其特征在于，MEMS加速度傳感器件內部微機械單元二次封裝的封裝結構包括凸臺和硅帽，所述凸臺和硅帽通過粘合劑形成內部腔體，MEMS加速度傳感器件內部微機械單元封裝在所述內部腔體內，包括如下步驟：

(1)將待二次開封的MEMS加速度傳感器件進行加熱使粘合劑失效，自然冷卻；

(2)將膠涂覆在第一金屬片上，將MEMS加速度傳感器件放在涂膠的第一金屬片上，使MEMS加速度傳感器件底部的凸臺與涂膠的第一金屬片粘合；

(3)將與第一金屬片粘合的MEMS加速度傳感器件進行加熱使膠完全固化，自然冷卻；

(4)將膠涂覆在第二金屬片上，將涂膠的第二金屬片放在自然冷卻后的MEMS加速度傳感器件的頂部，使頂部的硅帽與涂膠的第二金屬片粘合；

(5)將與第二金屬片粘合的MEMS加速度傳感器件進行加熱使膠完全固化，自然冷卻；

(6)分別夾住第一金屬片和第二金屬片，分離凸臺和硅帽，得到開封的MEMS加速度傳感器件內部微機械單元。

2.根據權利要求1所述的MEMS加速度傳感器件的開封方法，其特征在于，在步驟(1)中，加熱的溫度為450-550℃，加熱時間為0.5-1.5小時。

3.根據權利要求1所述的MEMS加速度傳感器件的開封方法，其特征在于，在步驟(3)中，加熱的溫度為100-200℃，加熱時間為0.2-0.5小時。

4.根據權利要求1所述的MEMS加速度傳感器件的開封方法，其特征在于，在步驟(5)中，加熱的溫度為100-200℃，加熱時間為0.5-1.5小時。

5.根據權利要求1所述的MEMS加速度傳感器件的開封方法，其特征在于，所述膠為AB膠，所述第一金屬片/第二金屬片均為鐵片。

6.根據權利要求1所述的MEMS加速度傳感器件的開封方法，其特征在于，所述膠在第一金屬片上的涂覆厚度為0.1-0.3mm，所述膠在第二金屬片的涂覆厚度為0.1-0.3mm。

7.根據權利要求1所述的MEMS加速度傳感器件的開封方法，其特征在于，在步驟(2)中，將MEMS加速度傳感器件輕放在涂膠的第一金屬片上，輕輕壓合，使MEMS加速度傳感器件底部的凸臺與涂膠的第一金屬片粘合，操作時避免MEMS加速度傳感器件滑動。

8.根據權利要求1所述的MEMS加速度傳感器件的開封方法，其特征在于，在步驟(4)中，將涂膠的第二金屬片放在自然冷卻后的MEMS加速度傳感器件的頂部，使頂部的硅帽與涂膠的第二金屬片粘合，操作時避免MEMS加速度傳感器件滑動。

9.根據權利要求1所述的MEMS加速度傳感器件的開封方法，其特征在于，在步驟(6)中，分別夾住第一金屬片和第二金屬片，輕輕上下分離凸臺和硅帽，得到開封的MEMS加速度傳感器件內部微機械單元。

10.根據權利要求1所述的MEMS加速度傳感器件內部微機械單元二次封裝開封方法，其特征在于，包括以下步驟：

(a)將待二次開封的MEMS加速度傳感器件置于石英舟上，整體放入高溫試驗箱中，打開高溫試驗箱的電源，設置溫度450-550℃，使用計時器計時，加熱0.5-1.5小時使粘合劑失效，戴隔熱手套取出石英舟，置于耐高溫石板上，自然冷卻；

(b)將AB膠按比例調勻，調勻后的AB膠涂覆在第一鐵片上，用鑷子夾取MEMS加速度傳感器件，輕放在涂AB膠的第一鐵片上，輕輕壓合，使MEMS加速度傳感器件底部的凸臺與涂AB膠的第一鐵片粘合，操作時避免MEMS加速度傳感器件滑動；

(c)將與第一鐵片粘合的MEMS加速度傳感器件放入石英舟，整體放入高溫試驗箱中，打開高溫試驗箱的電源，設置溫度100-200℃，使用計時器計時，加熱0.2-0.5小時使AB膠固化，戴隔熱手套取出石英舟，置于耐高溫石板上，自然冷卻；

(d)將調勻后的AB膠涂覆在第二鐵片上，將涂AB膠的第二鐵片放在自然冷卻后的MEMS加速度傳感器件的頂部，使頂部的硅帽與涂膠的第二金屬片粘合，操作時避免MEMS加速度傳感器件滑動；

(e)將與第二鐵片粘合的MEMS加速度傳感器件放入石英舟，整體放入高溫試驗箱中，打開高溫試驗箱的電源，設置溫度100-200℃，使用計時器計時，加熱0.5-1.5小時使AB膠固化，戴隔熱手套取出石英舟，置于耐高溫石板上，自然冷卻；

(f)從高溫試驗箱中取出固化好的MEMS加速度傳感器件，自然冷卻，用兩個鑷子分別夾住第一鐵片和第二鐵片，輕輕上下分離凸臺和硅帽，得到開封的MEMS加速度傳感器件內部微機械單元。