[發明專利]一種窄線寬準分子激光系統和線寬壓縮并整形的方法在審
| 申請號： | 201910449730.2 | 申請日： | 2019-05-28 |
| 公開（公告）號： | CN110137785A | 公開（公告）日： | 2019-08-16 |
| 發明（設計）人： | 袁志軍;周軍;楊軍紅;江銳;張海波;沙鵬飛;韓曉泉;陳剛 | 申請（專利權）人： | 北京科益虹源光電技術有限公司;南京中科神光科技有限公司 |
| 主分類號： | H01S3/00 | 分類號： | H01S3/00;H01S3/10;G02B27/09 |
| 代理公司： | 深圳市科進知識產權代理事務所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 曹衛良 |
| 地址： | 100000 北京市大興區經濟*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 準分子激光 線寬 窄線寬 整形 光柵 波前畸變 變焦 擴束 壓縮 準分子激光器 輸出耦合鏡 波前信息 分子激光 固定驅動 激光作用 精確補償 連續可調 模塊組成 實時調節 輸出激光 系統結構 驅動 激光腔 控制線 完成時 對準 施加 | ||
1.一種窄線寬準分子激光系統，包括輸出耦合鏡和激光腔，其特征在于，還包括：
柔性變焦模塊，準分子激光束在激光腔內受到激勵，經所述柔性變焦模塊整形后形成非平行射出的第一光束；
擴束模塊，對所述第一光束進行擴束，以形成第二光束；
與所述擴束模塊組成littrow結構的光柵，對所述第二光束進行衍射，以形成與所述第二光束反向重合的衍射光束；其中，所述衍射光束依次經過擴束模塊、柔性變焦模塊、激光腔和輸出耦合鏡后輸出。
2.如權利要求1所述窄線寬準分子激光系統，其特征在于，所述柔性變焦模塊包括一個凸透鏡和一個凹透鏡，所述凸透鏡和/或所述凹透鏡為柔性變焦透鏡。
3.如權利要求2所述窄線寬準分子激光系統，其特征在于，所述柔性變焦透鏡的焦距通過壓力或電磁驅動改變。
4.如權利要求2所述窄線寬準分子激光系統，其特征在于，所述凸透鏡為柱面凸透鏡，所述凹透鏡為柱面凹透鏡。
5.如權利要求1所述窄線寬準分子激光系統，其特征在于，所述擴束模塊由多個棱鏡組成。
6.如權利要求5所述窄線寬準分子激光系統，其特征在于，所述棱鏡的數量為2～4個。
7.如權利要求1所述窄線寬準分子激光系統，其特征在于，所述光柵為中階梯光柵。
8.一種準分子激光線寬壓縮并整形的方法，該方法用于權利要求1～7中任一項所述窄線寬準分子激光系統，其特征在于，所述方法包括：
根據準分子激光的波前信息實時調節施加于所述柔性變焦模塊上的驅動值；
根據所述驅動值對準分子激光進行整形和線寬壓縮；
當所述準分子激光的波前畸變補償完成時，停止調節操作并固定驅動值，以得到窄線寬準分子激光。
9.如權利要求8所述準分子激光線寬壓縮并整形的方法，其特征在于，所述波前信息包括光譜譜形和線寬值；和/或
所述驅動值為壓力驅動值或電磁驅動值。
10.如權利要求8所述準分子激光線寬壓縮并整形的方法，其特征在于，所述“根據所述驅動值對準分子激光進行整形和線寬壓縮”包括：
根據所述驅動值對所述準分子激光進行整形得到非平行射出的第一光束；
將所述第一光束進行擴束，并將擴束后得到的第二光束進行衍射得到衍射光束，其中，所述衍射光束與所述第二光束反向重合，所述衍射光束沿原光路返回至所述激光腔，形成窄線寬準分子激光。
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