[發明專利]一種用于離子束加工的多品種大口徑光學元件復合裝置

有效

• 申請號: 201910444411.2
• 申請日: 2019-05-27
• 公開（公告）號: CN110216548B
• 公開（公告）日: 2021-06-01
• 發明（設計）人: 聶鳳明;王大森;張廣平;郭海林;裴寧;李曉靜;張旭;周靜;李維杰
• 申請（專利權）人: 中國兵器科學研究院寧波分院
• 主分類號: B24B13/00
• 分類號: B24B13/00;B24B13/005;B24B1/00;B24B41/00
• 代理公司: 寧波誠源專利事務所有限公司 33102
• 代理人: 袁忠衛

一種用于離子束加工的多品種大口徑光學元件復合裝置，包括基體、用于輸送光學元件的輸送夾緊裝置以及提升定位裝置，其中提升定位裝置可上下移動地設置在基體上，基體的底部左右兩側設有滑軌，輸送夾緊裝置可前后滑動地設置在滑軌上，滑軌上設有用于定位輸送夾緊裝置的定位塊，基體上設有定位套，輸送夾緊裝置的上端設有對應的定位銷，當輸送夾緊裝置沿滑軌移動到定位塊時，輸送夾緊裝置正好位于提升定位裝置的正下方，輸送夾緊裝置通過提升定位裝置的提升向上移動與基體定位。本發明結構簡單合理緊湊，不僅可實現多品種光學元件的裝夾，且定位精確，同時方便與外部運輸裝置對接。

技術領域

本發明涉及一種用于真空環境光學元件復合裝置，尤其是一種用于離子束加工的多品種大口徑光學元件復合裝置。

背景技術

隨著科學技術的迅速發展，強激光光學系統和高清晰度光學系統，如戰術激光武器光學系統、遠距離紫外與紅外成像探測系統、深空光電探測系統、輕質穩像觀瞄系統、激光雷達系統等，對具有亞納米級表面粗糙度和納米級面型精度光學元件的需求日益迫切，需要依靠超精密光學元件及其制造技術來實現。先進光電系統發展的要求日益提升，“超精密”所對應的精度和表面質量也在日益精細化。以表面粗糙度和面型精度為例，超光滑的尺度已經發展到表面粗糙度達到1nm以下，面型精度優于10nm。加工超高精度光學元件，需要利用拋光壓力接近于零的非接觸式超精密拋光工藝技術，避免光學元件表面及亞表面微觀損傷缺陷的產生。離子束拋光技術是原子量級上的無應力、非接觸式超精密光學加工工藝技術，具有加工精度高、無損傷、可抑制中高頻小波紋度、加工面潔凈無污染的特點，特別適合高精度平面、深度非球面鏡面、異形鏡面、自由表面鏡面以及激光晶體等特殊光學元件與材料的超精密加工，兩者配合加工精度能達到亞納米量級，具有傳統工藝無法比擬的優越性，同時還能提高工作效率，使制造質量得到保證。

為保證離子束拋光工藝有效實施，離子束拋光時需要依靠真空和高潔凈度環境下工件精確輸送、夾緊、提升、定位復合裝置，通過此裝置控制離子束源對被加工光學零件的位置精度。因此，需要研發出一種用于真空環境的精確輸送、夾緊、提升、定位復合裝置來實現光學元件的精確定位。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是提供一種用于的離子束加工的多品種大口徑光學元件高精度高緊湊度的復合裝置，具有結構合理緊湊、定位精度高的特點。

本發明解決上述技術問題所采用的技術方案為：一種用于離子束加工的多品種大口徑光學元件復合裝置，其特征在于：包括基體、用于輸送光學元件的輸送夾緊裝置以及提升定位裝置，其中提升定位裝置可上下移動地設置在基體上，基體的底部左右兩側設有滑軌，輸送夾緊裝置可前后滑動地設置在滑軌上，滑軌上設有用于定位輸送夾緊裝置的定位塊，基體上設有定位套，輸送夾緊裝置的上端設有對應的定位銷，當輸送夾緊裝置沿滑軌移動到定位塊時，輸送夾緊裝置正好位于提升定位裝置的正下方，輸送夾緊裝置通過提升定位裝置的提升向上移動與基體定位。

作為改進，所述基體是由四根立柱、固定板以及左右滑軌裝配組成，固定板水平固定在四根立柱上，提升定位裝置可上下移動地設置在固定板的中部位置，輸送夾緊裝置安裝在滑軌上位于固定板的下方。

再改進，所述提升定位裝置包括左右二塊豎固定板、一固定連接板、一絲杠、四根導向桿、一活動連接板和一提升板，其中二塊豎固定板固定在基體的固定板的中部左右兩側，固定連接板水平固定架設在豎固定板上，活動連接板位于固定連接板的上方，提升板位于基體的固定板的下方，基體的固定板上開設有四個用于安裝導向套的通孔，導向套通過螺釘安裝在固定板上，導向桿穿置在導向套中與導向套滑動連接，導向桿的上端與活動連接板固定連接，導向桿的下端穿過基體與提升板固定連接，絲杠的上端穿過固定連接板與與活動連接板固定連接，絲杠的的下端穿過基體與提升板固定連接，絲杠上設有驅動絲杠上下移動進而帶動活動連接板、提升板上下移動的驅動機構。