[發明專利]一種負載牽引測量系統及測量方法

有效

• 申請號: 201910439443.3
• 申請日: 2019-05-24
• 公開（公告）號: CN110174634B
• 公開（公告）日: 2021-09-07
• 發明（設計）人: 王一幫;霍曄;欒鵬;吳愛華;梁法國;張立飛;李彥麗;張曉云
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第十三研究所
• 主分類號: G01R35/00
• 分類號: G01R35/00
• 代理公司: 石家莊國為知識產權事務所 13120
• 代理人: 王政

本發明公開了一種負載牽引測量系統及測量方法，測量系統包括矢量網絡分析儀、源端阻抗調配器、負載端阻抗調配器、源端雙定向耦合器和負載端雙定向耦合器；源端阻抗調配器的第一端用于連接源端信號源，源端阻抗調配器的第二端連接源端雙定向耦合器的第一端，源端雙定向耦合器的第二端連接第一探針；負載端阻抗調配器的第一端用于連接負載端信號源，負載端阻抗調配器的第二端連接負載端雙定向耦合器的第一端，負載端雙定向耦合器的第二端連接第二探針；源端雙定向耦合器的第三端和第四端、負載端雙定向耦合器的第三端和第四端分別連接矢量網絡分析儀的四個內部接收機的端口。本發明不受阻抗調配器機械重復性的影響，提高測試準確度。

技術領域

本發明涉及半導體測量技術領域，尤其涉及一種負載牽引測量系統及測量方法。

背景技術

負載牽引是微波設計領域一種流行的方法，能夠用于測量器件在實際工作狀態下的性能。負載牽引測量系統在功率晶體管的設計過程中起到了重要的作用，大大提高了設計效率。

目前的負載牽引測量系統由于其測量模型的原因，即需要在自校準過程中用矢量網絡分析儀對各頻點處得源、負載阻抗狀態進行預表征，然后存入軟件內部，待實際測試過程中再將阻抗調配器配置到相同的阻抗狀態下，并將已存數據調出來。因此，負載牽引測量系統的機械重復性對測試精度影響很大，導致負載牽引測量系統對待測器件參數的測量不準確。

發明內容

本發明實施例提供了一種負載牽引測量系統及測量方法，旨在解決目前負載牽引測量系統對待測器件參數的測量不準確的問題。

本發明實施例的第一方面提供了一種負載牽引測量系統，其特征在于，包括：

矢量網絡分析儀、源端阻抗調配器、負載端阻抗調配器、源端雙定向耦合器和負載端雙定向耦合器；

所述源端阻抗調配器的第一端用于連接源端信號源，所述源端阻抗調配器的第二端連接所述源端雙定向耦合器的第一端，所述源端雙定向耦合器的第二端直接連接同軸或波導待測器件，或連接第一探針，所述第一探針用于連接待測器件；

所述負載端阻抗調配器的第一端用于連接負載端信號源，所述負載端阻抗調配器的第二端連接所述負載端雙定向耦合器的第一端，所述負載端雙定向耦合器的第二端直接連接同軸或波導待測器件，或連接第二探針，所述第二探針用于連接待測器件；

所述源端雙定向耦合器的第三端和第四端、所述負載端雙定向耦合器的第三端和第四端分別連接所述矢量網絡分析儀的四個內部接收機的端口。

在本申請的實施例中，還包括源端連接電路、第二源端衰減器和第三源端衰減器；

所述源端阻抗調配器通過所述源端連接電路連接所述源端信號源，其中，源端的阻抗調配器的第一端連接所述源端連接電路的第二端，所述源端連接電路的第一端用于連接源端信號源；

其中，所述源端連接電路包括：第一源端隔離器、第一源端衰減器、源端放大器和第二源端隔離器；

所述第一源端隔離器的第一端為所述源端連接電路的第一端，用于連接源端信號源；所述第一源端隔離器的第二端連接所述第一源端衰減器的第一端，所述第一源端衰減器的第二端連接所述源端放大器的第一端；所述源端放大器的第二端連接所述第二源端隔離器的第一端，所述第二源端隔離器的第二端為所述源端連接電路的第二端；所述第二源端衰減器的第一端連接所述源端雙定向耦合器的第三端，所述第二源端衰減器的第二端連接矢量網絡分析儀的內部的第一接收機的端口，所述第三源端衰減器的第一端連接所述源端雙定向耦合器的第四端，所述第三源端衰減器的第二端連接矢量網絡分析儀的內部的第二接收機的端口。

在本申請的實施例中，還包括負載端連接電路、第二負載端衰減器和第三負載端衰減器；