[發(fā)明專利]一種液體濃度控制裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910432902.5
• 申請日: 2019-05-23
• 公開（公告）號: CN110112085A
• 公開（公告）日: 2019-08-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李丹;高英哲;張文福
• 申請（專利權(quán)）人: 德淮半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 上海智晟知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 31313
• 代理人: 張東梅

1.一種液體濃度控制裝置，包括：

第一液體補(bǔ)充單元；

第二液體補(bǔ)充單元；

混合槽進(jìn)液閥，所述第一液體補(bǔ)充單元、第二液體補(bǔ)充單元連通至所述混合槽進(jìn)液閥的第一端；

混合槽，所述混合槽連通至所述混合槽進(jìn)液閥的第二段；

混合槽排液閥，所述混合槽排液閥的第一端連通至所述混合槽；

排液槽，所述排液槽連通至所述混合槽排液閥的第二端；以及

反向閥，所述反向閥第一端連通至所述混合槽進(jìn)液閥的第一端，所述反向閥的第二端連通至所述排液槽。

2.如權(quán)利要求1所述的液體濃度控制裝置，其特征在于，所述第一液體補(bǔ)充單元用于補(bǔ)充去離子水；所述第二液體補(bǔ)充單元用于補(bǔ)充稀釋氫氟酸DHF。

3.如權(quán)利要求1所述的液體濃度控制裝置，其特征在于，所述第一液體補(bǔ)充單元進(jìn)一步包括：

流量計(jì)，所述流量計(jì)的第一端連通至第一液體供給端，用于檢測并反饋所述第一液體補(bǔ)充單元的液體流量數(shù)據(jù)；

空氣調(diào)節(jié)閥，所述空氣調(diào)節(jié)閥的第一端連接至所述流量計(jì)的第二端，所述空氣調(diào)節(jié)閥基于壓縮空氣壓力對第一液體補(bǔ)充單元的液體流量進(jìn)行控制；以及

第一液體補(bǔ)充閥，所述第一液體補(bǔ)充閥的第一端連通至所述空氣調(diào)節(jié)閥的第二端，所述第一液體補(bǔ)充閥的第二端連接至所述混合槽進(jìn)液閥以及所述反向閥；所第一液體補(bǔ)充閥用于控制第一液體補(bǔ)充的開啟或關(guān)閉。

4.如權(quán)利要求3所述的液體濃度控制裝置，其特征在于，所述第一液體補(bǔ)充單元補(bǔ)充的液體為去離子水DIW。

5.如權(quán)利要求1所述的液體濃度控制裝置，其特征在于，所述第二液體補(bǔ)充單元進(jìn)一步包括：

第二液體進(jìn)液閥，所述第二液體進(jìn)液閥第一端連通至第二液體供給端；

壓力調(diào)節(jié)閥，所述壓力調(diào)節(jié)閥用于控制進(jìn)入氣體的壓力范圍，所述壓力調(diào)節(jié)閥的第一端連通至氣源；

氮?dú)忾y，所述氮?dú)忾y用于控制所述氣源的開啟和關(guān)閉，所述氮?dú)忾y第一端連通至所述壓力調(diào)節(jié)閥；

化學(xué)品供應(yīng)盒CSB，所述CSB連通至所述第二液體進(jìn)液閥的第二端和所述氮?dú)忾y的第二端；

第二液體出液一閥，所述第二液體出液一閥的第一端連接至所述CSB；

流量計(jì)，所述流量計(jì)的第一端連通至第二液體出液一閥，用于檢測并反饋所述第二液體補(bǔ)充單元的液體流量數(shù)據(jù)；以及

第二液體出液二閥，所述第二液體出液二閥的第一端連通至所述流量計(jì)的第二端，所述第二液體出液二閥的第二端連通至所述混合槽進(jìn)液閥以及所述反向閥。

6.如權(quán)利要求5所述的液體濃度控制裝置，其特征在于，所述第二液體補(bǔ)充單元補(bǔ)充的液體為氫氟酸HF；所述氣源為氮?dú)釴2。

7.如權(quán)利要求1所述的液體濃度控制裝置，其特征在于，還包括第二液體排液閥，所述第二液體排液閥用于直接從第二液體補(bǔ)充單元的CSB排除第二液體至所述排液槽。

8.如權(quán)利要求1所述的液體濃度控制裝置，其特征在于，所述混合槽進(jìn)液閥和所述反向閥互為相反開關(guān)控制，且受同一個控制信號控制，當(dāng)所述控制信號控制所述混合槽進(jìn)液閥開啟時，所述反向閥關(guān)閉；當(dāng)所述控制信號控制所述混合槽進(jìn)液閥關(guān)閉時，所述反向閥開啟。

9.如權(quán)利要求8所述的液體濃度控制裝置，其特征在于，所述混合槽進(jìn)液閥和所述反向閥為氣閥，所述同一個控制信號來自同一給氣電磁閥。

10.如權(quán)利要求8所述的液體濃度控制裝置，其特征在于，在進(jìn)行補(bǔ)液時，將所述混合槽進(jìn)液閥和所述反向閥設(shè)定延遲ΔT后開啟/關(guān)閉，從而實(shí)現(xiàn)所述混合槽進(jìn)液閥未開啟前，先將不穩(wěn)定的液體流量通過所述反向閥直接排到所述排液槽中。