[發(fā)明專利]陣列微針式柔性肌電電極及其制備方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201910431566.2 | 申請日： | 2019-05-22 |
| 公開（公告）號： | CN110141233A | 公開（公告）日： | 2019-08-20 |
| 發(fā)明（設計）人： | 祁一洲;葉柳順;陳穎 | 申請（專利權）人： | 浙江荷清柔性電子技術有限公司 |
| 主分類號： | A61B5/0492 | 分類號： | A61B5/0492 |
| 代理公司： | 上海波拓知識產(chǎn)權代理有限公司 31264 | 代理人： | 李萌 |
| 地址： | 310000 浙江省杭州市經(jīng)濟技術開發(fā)*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 微針 肌電電極 柔性基底 制備 蜿蜒狀延伸 微針陣列 延伸性 布設 表皮 延展 | ||
1.一種陣列微針式柔性肌電電極，其特征在于：包括柔性基底、微針及導線，所述微針陣列布設于所述柔性基底上，所述導線設置于所述柔性基底上，每一所述微針均與一所述導線相連，所述導線呈蜿蜒狀延伸。
2.如權利要求1所述的陣列微針式柔性肌電電極，其特征在于：所述導線包括基線層、導線本體及保護層，所述基線層設置于所述柔性基底上，所述導線本體設置于所述基線層上，所述保護層覆蓋于所述導線本體上。
3.如權利要求2所述的陣列微針式柔性肌電電極，其特征在于：所述微針包括微針本體及導電層，所述微針本體設置于所述柔性基底上，所述導電層覆蓋于所述微針本體上，所述微針本體與所述基線層一體成型。
4.如權利要求3所述的陣列微針式柔性肌電電極，其特征在于：所述導電層與所述導線本體相連，且所述導電層與所述導線本體一體成型。
5.如權利要求4所述的陣列微針式柔性肌電電極，其特征在于：所述導電層及所述導線本體均包括第一金屬層及第二金屬層，所述第一金屬層形成于所述基線層上，所述第二金屬層形成于所述第一金屬層上，所述保護層覆蓋于所述第二金屬層上。
6.如權利要求2所述的陣列微針式柔性肌電電極，其特征在于：所述基線層、所述導線本體及所述保護層的形狀相同。
7.一種陣列微針式柔性肌電電極的制作方法，其特征在于：該方法包括如下步驟：
提供電極胚板，在所述電極胚板上形成有陣列設置的微針本體；
在所述微針本體上形成導電層，并在所述電極胚板的板面上形成導線本體，使每一所述微針本體上的導電層均與一所述導線本體相連；
在所述導線本體上形成保護層；
提供一柔性基底，將形成有保護層的電極胚板固定至所述柔性基底上；
去除所述微針本體上導電層的區(qū)域外及所述導線本體上保護層的區(qū)域外的所述電極胚板。
8.如權利要求7所述的陣列微針式柔性肌電電極的制作方法，其特征在于：該方法還包括，制作電極胚板，并在所述電極胚板上一體形成陣列設置的微針本體。
9.如權利要求7所述的陣列微針式柔性肌電電極的制作方法，其特征在于：在所述微針本體上形成導電層，并在所述電極胚板的板面上形成導線本體的步驟中，其還包括：
在所述電極胚板上形成導電胚層，去掉所述微針本體的區(qū)域外及所述導線本體的區(qū)域外的導電胚層。
10.如權利要求7所述的陣列微針式柔性肌電電極的制作方法，其特征在于：所述導線本體在所述電極胚板的板面上呈蜿蜒狀延伸。
11.如權利要求7所述的陣列微針式柔性肌電電極的制作方法，其特征在于：在所述導線本體上形成保護層后，該方法還包括：
在所述導電層上及所述保護層上覆蓋掩膜犧牲層；
以及在去除所述微針本體上導電層的區(qū)域外及所述導線本體上保護層的區(qū)域外的所述電極胚板后，去掉所述掩膜犧牲層。
12.如權利要求11所述的陣列微針式柔性肌電電極的制作方法，其特征在于：所述掩膜犧牲層為鈦金屬層。
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