[發明專利]雙光路激光裝置、電池片加工設備及其控制方法

在審

• 申請號: 201910415056.6
• 申請日: 2019-05-17
• 公開（公告）號: CN110052702A
• 公開（公告）日: 2019-07-26
• 發明（設計）人: 羅搏飛;冼志軍;周志豪
• 申請（專利權）人: 常州捷佳創智能裝備有限公司
• 主分類號: B23K26/00
• 分類號: B23K26/00;B23K26/067;B23K26/70
• 代理公司: 深圳市康弘知識產權代理有限公司 44247
• 代理人: 尹彥;胡朝陽

1.一種雙光路激光裝置，包括激光器（1），其特征在于，所述激光器發射的激光束經過轉軸振鏡（8）擇一反射到A光路或B光路中，并通過兩條光路輪流射向兩個加工平臺；所述A光路和B光路結構相同、皆包括第一反射鏡（2）、第二反射鏡（3）、擴束和整形器（4）、掃描振鏡（5）和場鏡（9）；所述激光束經第一和第二反射鏡的反射、再經過擴束和整形器、掃描振鏡和場鏡射向加工平臺；工控機控制所述激光器、轉軸振鏡和掃描振鏡工作。

2.一種電池片加工設備，其特征在于，包括權利要求1所述的雙光路激光裝置，在雙光路激光裝置的下方分別設有A平臺（6）和B平臺（7），以及用未加工的晶圓替換A平臺上已加工的晶圓的A流道，用未加工的晶圓替換B平臺上已加工的晶圓的B流道；所述雙光路激光裝置輪流加工位于A平臺和B平臺上的晶圓。

3.如權利要求2所述的電池片加工設備，其特征在于，所述A平臺（6）和B平臺（7）下方分別設有定位相機模塊（10），所述定位相機模塊將晶圓位置信息發給所述工控機。

4.如權利要求3所述的電池片加工設備，其特征在于，所述激光加工臺采用透明材料。

5.如權利要求2所述的電池片加工設備，其特征在于，所述A流道和B流道采用相同結構，皆包括依次銜接的上料側傳輸帶（21）、加工位傳輸帶（22）和下料側傳輸帶（23），所述晶圓可置于三段傳輸帶上表面進行傳輸；加工位傳輸帶安裝在頂升裝置（24）上；加工位傳輸帶在頂升裝置的驅動下可上升至與上料側傳輸帶和下料側傳輸帶保持平齊、或下降沒入所述A平臺（6）或B平臺（7）中。

6.如權利要求5所述的電池片加工設備，其特征在于，所述A平臺（6）和B平臺（7）采用相同結構，皆包括避讓所述加工位傳輸帶的避讓槽，平臺上還分布多個真空吸孔，所述真空吸孔連接真空發生裝置，當加工位傳輸帶沉入所述避讓槽中時，所述晶圓被擱置在平臺上，所述真空吸孔可以吸住所述晶圓。

7.如權利要求6所述的電池片加工設備，其特征在于，所述上料側傳輸帶（21）、加工位傳輸帶（22）和下料側傳輸帶（23）這三段傳輸帶都是由兩條平行的皮帶（20）構成，所述晶圓放在皮帶上進行傳輸；相應的所述避讓槽亦包括兩條平行的長槽，以避讓所述皮帶（20）。

8.如權利要求6所述的電池片加工設備，其特征在于，所述真空發生裝置、上料側傳輸帶（21）、加工位傳輸帶（22）和下料側傳輸帶（23）由可變程序控制器控制，可變程序控制器與所述工控機進行信號交互。

9.一種權利要求2至8任一項所述電池片加工設備的控制方法，其特征在于，通過A流道用未加工的晶圓替換A平臺上已加工的晶圓，通過B流道用未加工的晶圓替換B平臺上已加工的晶圓；用雙光路激光裝置輪流加工位于A平臺和B平臺上的晶圓。

10.如權利要求9所述的電池片加工設備的控制方法，其特征在于，包括以下具體步驟：

第一步、A流道中的升降裝置帶動加工位傳輸帶上升，上料側傳輸帶、加工位傳輸帶和下料側傳輸帶轉動，用未加工的晶圓替換A平臺上的已加工的晶圓，而后三條傳輸帶皆停止轉動，升降裝置帶動加工位傳輸帶下沉將未加工的晶圓擱置在A平臺上，真空吸孔吸住晶圓，A平臺下方的定位相機模塊拍攝晶圓位置；同時，轉軸振鏡偏轉將激光束切換至B光路，掃描振鏡根據晶圓位置引導激光束加工B平臺上的晶圓；

第二步、B流道中的升降裝置帶動加工位傳輸帶上升，上料側傳輸帶、加工位傳輸帶和下料側傳輸帶轉動，用未加工的晶圓替換B平臺上的已加工的晶圓，而后三條傳輸帶皆停止轉動，升降裝置帶動加工位傳輸帶下沉將未加工的晶圓擱置在B平臺上，真空吸孔吸住晶圓，B平臺下方的定位相機模塊拍攝晶圓位置；同時，轉軸振鏡偏轉將激光束切換至A光路，掃描振鏡根據晶圓位置引導激光束加工A平臺上的晶圓。