[發明專利]一種具有雙重功能的多層復合薄膜門窗玻璃及其制備方法

有效

• 申請號: 201910409627.5
• 申請日: 2019-05-16
• 公開（公告）號: CN109972112B
• 公開（公告）日: 2021-03-26
• 發明（設計）人: 史新偉;馬群超;陳燕歌;周本強;婁方圓;郭旭洲;李敬;周強
• 申請（專利權）人: 鄭州大學
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/08;C23C14/18
• 代理公司: 北京慕達星云知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11465
• 代理人: 崔自京

1.一種具有雙重功能的多層復合薄膜門窗玻璃，其特征在于，該多層復合薄膜門窗玻璃包括襯底玻璃、低輻射功能薄膜層和自清潔功能薄膜層，襯底玻璃之上依次覆蓋有氮化鈦層、銀層、氧化亞銅層、二氧化鈦層，氮化鈦層、銀層構成低輻射功能薄膜層，氧化亞銅層、二氧化鈦層構成自清潔功能薄膜層；制備方法包括以下步驟：

1）襯底玻璃預處理：襯底玻璃依次在加有洗潔精的去離子水、去離子水、無水乙醇、去離子水、丙酮、無水乙醇中超聲清洗10-20min，用電吹風吹干，備用；

2）低輻射功能薄膜層的制備：使用反應磁控濺射技術，依次在襯底玻璃濺射沉積氮化鈦層、銀層，氮化鈦層沉積條件為：真空室壓強為1Pa，濺射功率為180-250W，濺射溫度為200-400℃，Ar氣流量為10-20sccm，N₂氣流量為1-4sccm，濺射沉積時間為1-4min，襯底旋轉速率為15-25r/min；銀層沉積條件為：真空室壓強為1Pa，濺射功率為30-50W，濺射溫度為200-400℃，Ar氣流量為18-25sccm，濺射沉積時間為0.2-1min，襯底旋轉速率為15-25r/min；

3）自清潔功能薄膜層的制備：在銀層上使用射頻磁控濺射技術沉積氧化亞銅層，沉積條件為：真空室壓強為1Pa，射頻功率為60-80W，濺射溫度為200-400℃，Ar氣流量為40-52sccm，濺射沉積時間為50-70min，襯底旋轉速率為15-25r/min；在氧化亞銅層上使用反應磁控濺射技術沉積二氧化鈦層，沉積條件為：真空室壓強為1Pa，濺射功率為180-250W，濺射溫度為200-400℃，Ar氣流量為20-30sccm，O₂流量為4-8sccm，濺射沉積時間為8-12min，襯底旋轉速率為15-25r/min；

4）鍍膜結束后，冷卻至室溫，取出，即得多層復合薄膜門窗玻璃。

2.根據權利要求1所述的具有雙重功能的多層復合薄膜門窗玻璃，其特征在于，所述的氮化鈦層厚度為30-60nm，銀層厚度為5-15nm；氧化亞銅厚度為50-80nm，二氧化鈦層厚度為40-70nm。

3.根據權利要求1所述的具有雙重功能的多層復合薄膜門窗玻璃，其特征在于，所述的低輻射功能薄膜層和自清潔功能薄膜層組合形成的膜層在近紫外、近紅外光區的反射率分別為90~95%、60~68%，在可見光區的透射率為38~45%。