[發明專利]直立式精密金屬掩模板激光清洗系統

在審

• 申請號: 201910409601.0
• 申請日: 2019-05-16
• 公開（公告）號: CN110076142A
• 公開（公告）日: 2019-08-02
• 發明（設計）人: 賴耀升;金渶桓;江建志;周俊強
• 申請（專利權）人: 恩利克（浙江）智能裝備有限公司
• 主分類號: B08B7/00
• 分類號: B08B7/00;B08B3/02;B08B5/02;B08B13/00;F26B21/00
• 代理公司: 杭州永航聯科專利代理有限公司 33304
• 代理人: 江程鵬

1.一種直立式精密金屬掩模板激光清洗系統，其特征在于：包括依次連接且豎直設置的進料單元、清潔單元、清洗單元、干燥單元及檢測出料單元；進料單元包括第一底座、第一頂蓋、連接第一底座及第一頂蓋的同一側邊的第一正面擋板、與第一正面擋板相對設置且連接于第一底座與第一頂蓋之間的第一背面擋板、分別設置于第一正面擋板或第一背面擋板兩側的兩個第一側面擋板、設置于第一頂蓋底面上的第一移動組件、設置于第一底座上且與第一移動組件相對設置的第一導向組件，第一側面擋板中部對應第一移動組件開設有第一開口；清潔單元包括第二底座、第二頂蓋、連接第二底座及第二頂蓋的同一側邊的第二正面擋板、與第二正面擋板相對設置且連接于第二底座與第二頂蓋之間的第二背面擋板、分別設置于第二正面擋板或第二背面擋板兩側的兩個第二側面擋板、設置于第二頂蓋底面上的第一移動組件、設置于第二底座上且與第一移動組件相對設置的第一導向組件、設置于第二頂蓋上的激光供應組件、設置于第二正面擋板的內側的激光剝離組件、設置于第二頂蓋上的兩個吹風組件及設置于第二底座上的出風組件，第二側面擋板中部對應第一移動組件開設有第二開口；清洗單元包括第三底座、第三頂蓋、連接第三底座及第三頂蓋的同一側邊的第三正面擋板、與第三正面擋板相對設置且連接于第三底座與第三頂蓋之間的第三背面擋板、分別設置于第三正面擋板或第三背面擋板兩側的兩個第三側面擋板、設置于第三頂蓋底面上的第一移動組件、設置于第三底座上且與第一移動組件相對設置的第一導向組件、設置于第三頂蓋上的兩個沖洗組件，第三側面擋板中部對應第一移動組件開設有第三開口；干燥單元包括第四底座、第四頂蓋、連接第四底座及第四頂蓋的同一側邊的第四正面擋板、與第四正面擋板相對設置且連接于第四底座與第四頂蓋之間的第四背面擋板、分別設置于第四正面擋板或第四背面擋板兩側的兩個第四側面擋板、設置于第四頂蓋底面上的第一移動組件、設置于第四底座上且與第一移動組件相對設置的第一導向組件、兩個分別設置于第一移動組件兩側的干燥模組，第四側面擋板中部對應第一移動組件開設有第四開口；檢測出料單元包括第五底座、第五頂蓋、連接第五底座及第五頂蓋的同一側邊的第五正面擋板、與第五正面擋板相對設置且連接于第五底座與第五頂蓋之間的第五背面擋板、分別設置于第五正面擋板或第五背面擋板兩側的兩個第五側面擋板、設置于第五頂蓋底面上的第一移動組件、設置于第五底座上且與第一移動組件相對設置的第一導向組件、設置于第一移動組件的至少一側的活動檢測組件，第五側面擋板中部對應第一移動組件開設有第五開口。

2.如權利要求1所述的直立式精密金屬掩模板激光清洗系統，其特征在于：所述第一移動組件朝向清潔單元的第一開口處設置有第一活動門組件；清潔單元的兩個第二開口處均設置有第二活動門組件；清洗單元的兩個第三開口處均設置有第三活動門組件；干燥單元的兩個第四開口處均設置有第四活動門組件；檢測出料單元朝向干燥單元的第五開口處設置有第五活動門組件；第一至第五活動門組件均包括活動門及用于驅動活動門移動的活動門驅動器。

3.如權利要求1所述的直立式精密金屬掩模板激光清洗系統，其特征在于：所述第一移動組件包括第一移動導軌、位于第一移動導軌一端的第一移動驅動單元、滑動設置于第一移動導軌上且由第一移動驅動單元驅動的第一移動電磁組件、固定設置于第一至第五頂蓋中的任意一個的底面且位于第一移動導軌一端的一側的第一固定電磁組件。

4.如權利要求1所述的直立式精密金屬掩模板激光清洗系統，其特征在于：所述第一導向組件包括底部滾輪安裝架、若干豎直轉動地設置于底部滾輪安裝架上的底部滾輪、設置于底部滾輪安裝架兩側的側面滾輪安裝架、若干水平轉動地設置于側面滾輪安裝架上的側面滾輪，側面滾輪的底部的高度大于底部滾輪的頂部的高度。