[發明專利]數據處理裝置、數據處理方法、記錄介質及數據處理系統

有效

• 申請號: 201910405887.5
• 申請日: 2019-05-16
• 公開（公告）號: CN110505159B
• 公開（公告）日: 2023-05-16
• 發明（設計）人: 春日崇志;藤原廣鏡
• 申請（專利權）人: 佳能株式會社
• 主分類號: H04L47/2425
• 分類號: H04L47/2425;H04L47/24;H04L67/12
• 代理公司: 北京怡豐知識產權代理有限公司 11293
• 代理人: 遲軍;馬麗萍

1.一種數據處理裝置，其能夠通信地與光刻裝置連接，經由網絡發送來自所述光刻裝置的數據，所述數據處理裝置的特征在于，具備：

判斷部，其判斷所述光刻裝置的運轉狀態并獲取所述運轉狀態；

獲取部，其獲取所述網絡的通信速度；

決定部，其基于由所述判斷部獲取到的運轉狀態、由所述獲取部獲取到的所述通信速度以及所述數據的優先度來決定要發送的數據，

所述數據的優先度是按從所述光刻裝置接收所述數據的各個目的以及所述光刻裝置的各個運轉狀態而預先設定的。

2.根據權利要求1所述的數據處理裝置，其特征在于，

所述光刻裝置的運轉狀態包含正在實施設置動作的狀態、正在實施維護動作的狀態、正在實施設備的制造的狀態。

3.根據權利要求1所述的數據處理裝置，其特征在于，

所述數據的優先度是按從所述光刻裝置接收的所述數據的各個種類而預先設定的。

4.根據權利要求1所述的數據處理裝置，其特征在于，

所述判斷部判斷所述光刻裝置的錯誤狀態并獲取所述錯誤狀態，

所述決定部基于由所述判斷部獲取到的所述錯誤狀態來決定所述要發送的數據。

5.根據權利要求4所述的數據處理裝置，其特征在于，

所述光刻裝置的錯誤狀態包含所述光刻裝置的工藝精度產生了偏差的狀態、所述光刻裝置的光學系統正在劣化的狀態以及所述光刻裝置的消耗部件正在消耗的狀態。

6.根據權利要求1所述的數據處理裝置，其特征在于，

所述決定部基于所述網絡的通信速度越低越設定為高優先度的信息來決定所述要發送的數據。

7.根據權利要求1所述的數據處理裝置，其特征在于，

還具備保存部，所述保存部保存所述光刻裝置的運轉狀態、所述光刻裝置的錯誤狀態、所述網絡的通信速度、或與所述接收的目的相對應而與所述優先度相關的信息。

8.根據權利要求7所述的數據處理裝置，其特征在于，

所述決定部基于所述光刻裝置的運轉狀態或所述光刻裝置的錯誤狀態、所述接收的目的、與所述優先度相關的信息，生成包含與所述接收的目的相對應的所需的數據和與所述所需的數據相對應的所述優先度的信息。

9.一種數據處理方法，經由網絡發送來自光刻裝置的數據，所述數據處理方法的特征在于，具有：

第一工序，判斷所述光刻裝置的運轉狀態并獲取所述運轉狀態；

第二工序，獲取所述網絡的通信速度；以及

第三工序，基于在所述第一工序中獲取到的運轉狀態、在所述第二工序中獲取到的所述通信速度以及所述數據的優先度來決定要發送的數據，

所述數據的優先度是按從所述光刻裝置接收所述數據的各個目的以及所述光刻裝置的各個運轉狀態而預先設定的。

10.一種計算機可讀取的記錄介質，存儲有使計算機執行經由網絡發送來自光刻裝置的數據的數據處理方法的程序，所述計算機可讀取的存儲介質的特征在于，

所述數據處理方法具有：

第一工序，判斷所述光刻裝置的運轉狀態并獲取所述運轉狀態；

第二工序，獲取所述網絡的通信速度；以及

第三工序，基于在所述第一工序中獲取到的運轉狀態、在所述第二工序中獲取到的所述通信速度以及所述數據的優先度來決定要發送的數據，

所述數據的優先度是按從所述光刻裝置接收所述數據的各個目的以及所述光刻裝置的各個運轉狀態而預先設定的。

11.一種數據處理系統，具備光刻裝置和能夠通信地與所述光刻裝置連接的數據處理裝置，經由網絡發送來自所述光刻裝置的數據，所述數據處理系統的特征在于，

所述數據處理裝置具備：

判斷部，其判斷所述光刻裝置的運轉狀態并獲取所述運轉狀態；

獲取部，其獲取所述網絡的通信速度；以及

決定部，其基于由所述判斷部獲取到的運轉狀態、由所述獲取部獲取到的所述通信速度以及所述數據的優先度來決定要發送的數據，

所述數據的優先度是按從所述光刻裝置接收所述數據的各個目的以及所述光刻裝置的各個運轉狀態而預先設定的。