[發明專利]轉置方法及轉置裝置

有效

• 申請號: 201910405780.0
• 申請日: 2019-05-16
• 公開（公告）號: CN110137318B
• 公開（公告）日: 2020-08-25
• 發明（設計）人: 牛慈伶
• 申請（專利權）人: 友達光電股份有限公司
• 主分類號: H01L33/00
• 分類號: H01L33/00;H01L21/67;H01L21/683
• 代理公司: 北京市立康律師事務所 11805
• 代理人: 梁揮;孟超

本發明公開一種轉置方法及轉置裝置，該轉置方法包括下列步驟：提供具有多個凹槽的提取元件；提供第一磁力，能吸引多個微元件向提取元件的多個凹槽移動；在提供第一磁力的情況下，令提取元件接觸多個微元件，以使多個微元件嵌入提取元件的多個凹槽；令多個微元件從提取元件的多個凹槽轉移至接收元件。本發明的轉置方法及轉置裝置，工藝良率高。

技術領域

本發明涉及一種轉置方法及轉置裝置。

背景技術

巨量轉移微元件的技術已使用在新興電子裝置的工藝中。以發光二極管顯示裝置的工藝為例，發光二極管顯示裝置的工藝包括下列步驟：提供具有多個轉置凸塊的彈性轉置頭；提供一個發光二極管陣列；使彈性轉置頭的轉置凸塊與發光二極管陣列的多個發光二極管接觸，進而提取之；利用彈性轉置頭將多個發光二極管轉移到接收元件上，進而完成發光二極管顯示裝置。然而，當擴大轉置工藝的規模時，目前使用具有多個轉置凸塊的彈性轉置頭進行轉置的方法面臨工藝良率不高、精度不高且量產不易的問題。

發明內容

本發明的目的在于提供一種轉置方法及轉置裝置，其工藝良率高。

為實現上述目的，本發明提供一種轉置方法，包括下列步驟：提供具有多個凹槽的提取元件；提供第一磁力，用以吸引多個微元件向提取元件的多個凹槽移動；在提供第一磁力的情況下，令提取元件接觸多個微元件，以使多個微元件嵌入提取元件的多個凹槽；令多個微元件從提取元件的多個凹槽轉移至接收元件。

其中，更包括：令該提取元件設置于一提取滾軸上，其中該提取滾軸用以帶動該提取元件的所述凹槽相對于所述微元件運動。

其中，更包括：令該接收元件設置于一接收滾軸上，其中該接收滾軸用以帶動該接收元件相對于嵌入所述凹槽的所述微元件運動。

其中，嵌入所述凹槽的所述微元件的至少一者的一部分位于所述凹槽外，而該轉置方法更包括：在所述微元件轉移至該接收元件前，移除所述微元件的該至少一者。

其中，令所述微元件從該提取元件的所述凹槽轉移至該接收元件的步驟包括：提供一第二磁力，以使所述微元件脫離該提取元件的所述凹槽。

其中，該第一磁力的方向與該第二磁力的方向相反，且該第二磁力的大小大于該第一磁力的大小。

其中，所述凹槽包括多個第一凹槽以及多個第二凹槽，所述第一凹槽以一第一間距排列，所述第二凹槽以一第二間距排列，而該第一間距不同于該第二間距。

其中，所述凹槽包括一第一凹槽及一第二凹槽，該第一凹槽的形狀不同于該第二凹槽的形狀，所述微元件包括一第一微元件及一第二微元件，該第一微元件的形狀不同于該第二微元件的形狀，該第一微元件的形狀對應于該第一凹槽的形狀，而該第二微元件的形狀對應于該第二凹槽的形狀。

其中，所述微元件的每一個具有一磁性材料。

本發明還提供一種轉置裝置，用以轉置多個微元件，該轉置裝置包括提取元件、第一磁性元件以及控制元件。提取元件具有多個凹槽。至少部分的提取元件設置于第一磁性元件與多個微元件之間。第一磁性元件用以提供第一磁力，用以吸引多個微元件向提取元件的多個凹槽移動。在第一磁性元件提供第一磁力的情況下，控制元件令提取元件接觸多個微元件，以使多個微元件嵌入提取元件的多個凹槽。

其中，更包括：一提取滾軸，其中該提取元件設置于該提取滾軸上，而該控制元件令該提取滾軸帶動該提取元件的所述凹槽相對于所述微元件運動。

其中，更包括：一接收滾軸；以及一接收元件，設置于該接收滾軸上，其中該控制元件令該接收滾軸帶動該接收元件相對于嵌入所述凹槽的所述微元件運動。

其中，嵌入所述凹槽的所述微元件的至少一者的一部分位于所述凹槽外，而該轉置裝置更包括：一移除元件，其中該控制元件令該移除元件移除所述微元件的該至少一者。