[發(fā)明專利]基于MEMS的三軸一體化電化學(xué)地震檢波器有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201910405291.5 | 申請(qǐng)日： | 2019-05-15 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN110068858B | 公開(kāi)（公告）日： | 2020-12-18 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 陳德勇;齊文杰;王軍波;許超;鄭希宸;劉博文;陳健 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 中國(guó)科學(xué)院電子學(xué)研究所 |
| 主分類號(hào)： | G01V1/18 | 分類號(hào)： | G01V1/18 |
| 代理公司： | 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021 | 代理人： | 任巖 |
| 地址： | 100190 *** | 國(guó)省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 基于 mems 一體化 電化學(xué) 地震 檢波器 | ||
1.一種基于MEMS的三軸一體化電化學(xué)地震檢波器，其特征在于，包括：
外殼(1)，為正六面體；
橡膠膜(2)，分別覆蓋在所述外殼(1)的各個(gè)表面，且分別與所述各個(gè)表面形成容納空間，所述橡膠膜(2)為中間向外突出的圓形結(jié)構(gòu)；
第一流道(5)、第二流道(6)、第三流道(7)，為互相垂直且垂直貫穿所述外殼(1)表面的流道，其中，所述第一流道(5)、第二流道(6)和第三流道(7)之間相互連通；
敏感電極(3)，分別至少部分置于所述第一流道(5)、第二流道(6)和第三流道(7)內(nèi)；
電解質(zhì)溶液(4)，分別充滿于所述第一流道(5)、第二流道(6)和第三流道(7)與各所述容納空間形成的密封腔內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于MEMS的三軸一體化電化學(xué)地震檢波器，其特征在于，所述外殼(1)的材料為有機(jī)玻璃。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于MEMS的三軸一體化電化學(xué)地震檢波器，其特征在于，所述橡膠膜(2)的材料為丁基橡膠。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于MEMS的三軸一體化電化學(xué)地震檢波器，其特征在于，所述敏感電極(3)分別在所述第一流道(5)、第二流道(6)和第三流道(7)內(nèi)各對(duì)稱放置兩個(gè)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的基于MEMS的三軸一體化電化學(xué)地震檢波器，其特征在于，所述敏感電極(3)包括：
襯底層(10)；
上絕緣層(9)和下絕緣層(11)，分別位于所述襯底層(10)上下兩端；
陽(yáng)極(8)，位于所述上絕緣層(9)上端；
陰極(12)，位于所述下絕緣層(11)下端。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基于MEMS的三軸一體化電化學(xué)地震檢波器，其特征在于，各所述敏感電極(3)靠近所述橡膠膜(2)一側(cè)的均為陽(yáng)極或均為陰極。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基于MEMS的三軸一體化電化學(xué)地震檢波器，其特征在于，所述敏感電極(3)的陽(yáng)極施加電壓范圍為0V至1V之間。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于MEMS的三軸一體化電化學(xué)地震檢波器，其特征在于，所述電解質(zhì)溶液(4)的溶質(zhì)為碘與碘化鉀，溶劑為丙三醇、離子液體或水。
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