[發(fā)明專利]一種整流二極管管芯的生產(chǎn)工藝在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201910404923.6 | 申請(qǐng)日: | 2019-05-15 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN110112077A | 公開(kāi)(公告)日: | 2019-08-09 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 高定健 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 揚(yáng)州虹揚(yáng)科技發(fā)展有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/56 | 分類號(hào): | H01L21/56;H01L21/67;H01L21/329 |
| 代理公司: | 北京輕創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11212 | 代理人: | 盛曉磊 |
| 地址: | 225000 江蘇省*** | 國(guó)省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 管芯 烘烤處理 拋光處理 鍍金屬層 整流二極管管芯 生產(chǎn)工藝 預(yù)處理 脫水處理 絕緣膠 半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域 氮?dú)?/a> 管芯表面 可焊性 拋光 鍍層 對(duì)管 | ||
1.一種整流二極管管芯的生產(chǎn)工藝,其特征在于,包括如下步驟:
步驟S1、對(duì)管芯進(jìn)行預(yù)處理;
步驟S2、對(duì)經(jīng)所述預(yù)處理后的管芯進(jìn)行脫水處理;
步驟S3、對(duì)經(jīng)所述脫水處理后的管芯進(jìn)行第一次烘烤處理;
步驟S4、在經(jīng)所述第一次烘烤處理后的管芯的四周進(jìn)行上絕緣膠處理;
步驟S5、對(duì)經(jīng)所述上絕緣膠處理后的管芯進(jìn)行第二次烘烤處理;
步驟S6、對(duì)經(jīng)所述第二次烘烤處理后的管芯進(jìn)行拋光處理;
步驟S7、在拋光處理后的管芯表面鍍金屬層;
步驟S8、對(duì)經(jīng)所述鍍金屬層后的管芯進(jìn)行氮?dú)夂婵咎幚怼?/p>
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的整流二極管管芯的生產(chǎn)工藝,其特征在于,所述步驟S8中,烘烤過(guò)程中維持氮?dú)夥諊婵緶囟葹?50℃,烘烤時(shí)間為2h。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的整流二極管管芯的生產(chǎn)工藝,其特征在于,所述步驟S1中,所述預(yù)處理具體包括以下步驟:
步驟S11、對(duì)所述管芯進(jìn)行第一次酸洗處理;
步驟S12、對(duì)所述第一次酸洗處理后的管芯進(jìn)行第二次酸洗處理;
步驟S13、對(duì)所述第二次酸洗處理后的管芯進(jìn)行堿洗。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的整流二極管管芯的生產(chǎn)工藝,其特征在于,所述步驟S11中還包括對(duì)第一次酸洗后的管芯進(jìn)行第一次純水沖洗的步驟;
所述步驟S12中還包括對(duì)第二次酸洗后的管芯進(jìn)行第二次純水沖洗的步驟;
所述步驟S13中還包括對(duì)堿洗后的管芯進(jìn)行第三次純水沖洗的步驟。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的整流二極管管芯的生產(chǎn)工藝,其特征在于,所述步驟S1中的預(yù)處理還包括:
S14、超聲清洗步驟。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的整流二極管管芯的生產(chǎn)工藝,其特征在于,所述步驟S7中,所述金屬層為鍍鎳層或鍍錫層,所述金屬層厚度為3-10μm。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的整流二極管管芯的生產(chǎn)工藝,其特征在于,所述管芯為黃銅管芯或紫銅管芯或鐵管芯。
8.如權(quán)利要求1-7中任一項(xiàng)所述的整流二極管管芯的生產(chǎn)工藝制備的整流二極管管芯。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





