[發明專利]大面積多噴頭噴涂設備

在審

• 申請號: 201910403042.2
• 申請日: 2019-05-15
• 公開（公告）號: CN110038754A
• 公開（公告）日: 2019-07-23
• 發明（設計）人: 王云翔;冒薇;段仲偉;馬冬月;許愛玲;李曉帥;祝翠梅;姚園
• 申請（專利權）人: 蘇州美圖半導體技術有限公司
• 主分類號: B05B13/02
• 分類號: B05B13/02;B05B13/04;B05B15/68
• 代理公司: 南京思拓知識產權代理事務所(普通合伙) 32288
• 代理人: 苗建

1.一種大面積多噴頭噴涂設備，包括噴涂腔室（1）以及設置于所述噴涂腔室（1）內的工作面板（15）；其特征是：還包括位于工作面板（15）上的真空吸盤（23）、設置于所述噴頭腔室（1）內的噴頭固定板（20）以及若干設置于所述噴頭固定板（20）上的噴頭，噴頭在噴頭固定板（20）上呈直線排列，噴頭固定板（20）位于工作面板（15）上方，噴頭固定板（20）與用于驅動所述噴頭固定板（20）運動的運動驅動機構連接；

通過運動驅動機構使得噴頭固定板（20）上的噴頭位于真空吸盤（23）上樣品（31）的噴涂范圍時，噴頭固定板（20）上的噴頭按進入樣品（31）噴涂范圍的順序依次打開；通過運動驅動機構驅動噴頭對樣品（31）進行運動噴射時，每個噴頭對樣品（31）噴射的運動路徑包括若干與噴頭間排列長度方向垂直的第一噴射路徑以及若干與噴頭間排列長度方向一致的第二噴射路徑，第一噴射路徑與第二噴射路徑依次連接；噴頭移出樣品（31）的噴射范圍時，噴頭固定板（21）上的噴頭脫離樣品（31）噴射范圍的順序依次關閉。

2.根據權利要求1所述的大面積多噴頭噴涂設備，其特征是：所述運動驅動機構包括設置于工作面板（15）上的X軸機械手（17）、Y軸機械手（16）、Z軸機械手（19）以及線性導軌滑塊（22），線性導軌滑塊（22）與Y軸機械手（16）相互平行，X軸機械手（17）的兩端分別與線性導軌滑塊（22）以及Y軸機械手（16）連接，Z軸機械手（19）與X軸機械手（17）連接，噴頭固定板（20）與Z軸機械手（19）固定，噴頭在噴頭固定板（20）上排列的長度方向與Y軸機械手（16）、線性導軌滑塊（22）相互平行；噴頭固定板（20）能在Z軸機械手（19）上升降，Z軸機械手（19）能在X軸機械手（17）上沿X軸機械手（17）的長度方向運動，X軸機械手（17）能在Y軸機械手（16）、線性導軌滑塊（22）上沿Y軸機械手（16）的長度方向運動；噴頭噴射的第一噴射路徑的方向與X軸機械手（17）的長度方向相一致，噴頭噴射的第二噴射路徑的方向與Y軸機械手（16）的長度方向相一致。

3.根據權利要求2所述的大面積多噴頭噴涂設備，其特征是：在所述噴頭固定板（20）的兩側設置拉臂（18），所述拉臂（18）的兩端分別與噴頭固定板（20）以及Z軸機械手（19）連接，且拉臂（18）與Z軸機械手（19）的結合部位于拉臂（18）與噴頭固定板（20）的結合部上方。

4.根據權利要求1所述的大面積多噴頭噴涂設備，其特征是：在所述工作面板（15）上設置與真空吸盤（23）適配連接的加熱吸盤（24）以及所述加熱吸盤（24）位于加熱器（25）上，所述加熱器（25）支撐于隔熱板（26）上，所述隔熱板（26）通過墊塊底座（27）支撐于工作面板（15）上，所述真空吸盤（23）與加熱吸盤（24）間采用可拆卸連接。

5.根據權利要求4所述的大面積多噴頭噴涂設備，其特征是：在加熱吸盤（24）上設置若干用于壓緊真空吸盤（23）的擋塊（28），在真空吸盤（23）上設置對稱分布的吸盤把手（29），在真空吸盤（23）的中心區設置真空吸盤吸附孔（30）。

6.根據權利要求1所述的大面積多噴頭噴涂設備，其特征是：在所述噴涂腔室（1）的背部設置排風口，在噴涂腔室（1）的正面設置可開關的腔室門板（13）。

7.根據權利要求1所述的大面積多噴頭噴涂設備，其特征是：還包括能對噴涂腔室（1）進行支撐的支撐柜，在所述支撐柜的底部設置若干均勻分布的支撐腳（4），在支撐柜的側面設置可拆卸的維護門板（3）。

8.根據權利要求7所述的大面積多噴頭噴涂設備，其特征是：在支撐柜的正面設置可開關的柜門（5），在柜門（5）上設置柜門拉手（9）；在支撐柜的上部還設置用于顯示真空吸盤（23）內真空度的真空表（10）以及用于調節噴頭吹掃壓力的電氣比例閥（8）。