[發(fā)明專利]一種凸面光柵成像光譜儀的制造方法

有效

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• 申請日: 2019-05-14
• 公開（公告）號: CN110108360B
• 公開（公告）日: 2021-03-09
• 發(fā)明（設計）人: 張軍強;楊斌;李先峰;辛久元
• 申請（專利權）人: 長光禹辰信息技術與裝備(青島)有限公司
• 主分類號: G01J3/28
• 分類號: G01J3/28;G01J3/02
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 羅滿

1.一種凸面光柵成像光譜儀的制造方法，其特征在于，包括：

在光譜儀框架(1)上加工光柵安裝面和反射鏡安裝面；

裝卡凸面光柵組件(2)，所述凸面光柵組件(2)包括凸面光柵和光柵座，獲取當前凸面光柵的光柵球面頂點(22)和光柵光軸(21)的位置；

以所述光柵光軸(21)為旋轉軸，以所述光柵球面頂點(22)為基準點，加工光柵座安裝面；

裝卡并確定反射鏡組件(3)的反射鏡光軸和反射鏡球面頂點，以所述反射鏡光軸(33)為旋轉軸，以所述反射鏡球面頂點(34)為基準點，對反射鏡組件(3)進行加工；

將光譜儀配件安裝在光譜儀框架(1)上；

在光譜儀框架(1)的出光孔上方預設位置處設置顯微鏡；

采用單色光照設望遠鏡組件(4)，并通過顯微鏡觀察單色光成像的單色譜線；

選取凸面光柵組件(2)或反射鏡組件(3)中的一者為調節(jié)基準并固定，另一者沿其安裝面移動和/或繞所述調節(jié)基準的安裝面的法線轉動，直至顯微鏡中能夠觀察到清晰的單色譜線，固定凸面光柵組件(2)和反射鏡組件(3)；

將探測器組件(7)安裝在光譜儀框架(1)上；

完成凸面光柵成像光譜儀的制造。

2.根據權利要求1所述的制造方法，其特征在于，若所述反射鏡組件為金屬反射鏡，則所述對反射鏡組件(3)進行加工具體為：

對所述金屬反射鏡的反射鏡光學表面(31)和安裝基準面(32)進行加工。

3.根據權利要求1所述的制造方法，其特征在于，若所述反射鏡組件為玻璃反射鏡，則所述對反射鏡組件(3)進行加工具體為：

對所述玻璃反射鏡的安裝基準面(32)進行加工。

4.根據權利要求3所述的制造方法，其特征在于，所述光譜儀配件包括望遠鏡組件(4)、狹縫組件(5)、反光鏡組件(6)，所述反光鏡組件(6)包括反光鏡安裝座和位于所述反光鏡安裝座中、用以將入射光反射向所述反射鏡組件(3)的反光鏡。

5.根據權利要求1至4任意一項所述的制造方法，其特征在于，所述將探測器組件(7)安裝在光譜儀框架(1)上具體為：

將所述探測器組件(7)預安裝在光譜儀框架(1)上；

采用不同波長的單色光照射望遠鏡組件(4)前方的靶標；

如果靶標在探測器組件(7)上成像不清晰，則調整所述探測器組件(7)的位置，再重復所述采用不同波長的單色光照射望遠鏡組件(4)前方的靶標；

如果不同波長的單色光照射靶標均在探測器組件(7)上成像清晰，則固定所述探測器組件(7)。

6.根據權利要求5所述的制造方法，其特征在于，所述靶標為平行光管靶標。

7.根據權利要求6所述的制造方法，其特征在于，所述固定所述探測器組件(7)后還包括：

對凸面光柵成像光譜儀進行成像驗證。