[發明專利]自動解鍵合機

在審

• 申請號: 201910399229.X
• 申請日: 2019-05-14
• 公開（公告）號: CN110040684A
• 公開（公告）日: 2019-07-23
• 發明（設計）人: 王云翔;冒薇;段仲偉;馬冬月;許愛玲;李曉帥;祝翠梅;姚園
• 申請（專利權）人: 蘇州美圖半導體技術有限公司
• 主分類號: B81C99/00
• 分類號: B81C99/00
• 代理公司: 南京思拓知識產權代理事務所(普通合伙) 32288
• 代理人: 苗建

本發明涉及一種自動解鍵合機，其襯底吸附加熱裝置包括上連接板、設置于所述上連接板下側面的上真空吸盤以及設置于所述上連接板上側面的焊接波紋管，向焊接波紋管內充氣后，通過焊接波紋管的伸長能驅動上真空吸盤向靠近正下方的襯底吸附固定頂片裝置運動，上真空吸盤與襯底吸附固定頂片裝置上的鍵合襯底組接觸后，通過上真空吸盤能對鍵合襯底組加熱直至使得鍵合襯底組解鍵合，解鍵合后得到的下襯底能吸附在襯底吸附固定頂片裝置上，解鍵合后得到的上襯底能吸附在上真空吸盤上。本發明結構緊湊，能有效確保解鍵合過程中上真空吸盤與下真空吸盤間的平行，提高解鍵合的成功率，安全可靠。

技術領域

本發明涉及一種解鍵合機，尤其是一種自動解鍵合機，屬于微納米的技術領域。

背景技術

在MEMS領域，解鍵合是一種常用的加工方法，通常是將已經用膠粘在一起的襯底通過熱滑移的方式，將兩片襯底重新分離。解鍵合工藝過程中要始終保證上下吸盤平行，否則會導致襯底碎裂或不能完成襯底分離，目前的解鍵合機難以滿足解鍵合工藝的需要。

發明內容

本發明的目的是克服現有技術中存在的不足，提供一種自動解鍵合機，其結構緊湊，能有效確保解鍵合過程中上真空吸盤與下真空吸盤間的平行，提高解鍵合的成功率，安全可靠。

按照本發明提供的技術方案，所述自動解鍵合機，包括機殼，在所述機殼內設置能吸附鍵合襯底組的襯底吸附固定頂片裝置以及能對鍵合襯底組進行加熱的襯底吸附加熱裝置，所述襯底吸附加熱裝置位于機殼內的上部，襯底吸附固定頂片裝置通過機械手安裝于機殼內的下部，襯底吸附固定頂片裝置通過機械手在機殼內能運動至襯底吸附加熱裝置的正下方；

所述襯底吸附加熱裝置包括上連接板、設置于所述上連接板下側面的上真空吸盤以及設置于所述上連接板上側面的焊接波紋管，向焊接波紋管內充氣后，通過焊接波紋管的伸長能驅動上真空吸盤向靠近正下方的襯底吸附固定頂片裝置運動，上真空吸盤與襯底吸附固定頂片裝置上的鍵合襯底組接觸后，通過上真空吸盤能對鍵合襯底組加熱直至使得鍵合襯底組解鍵合，解鍵合后得到的下襯底能吸附在襯底吸附固定頂片裝置上，解鍵合后得到的上襯底能吸附在上真空吸盤上。

還包括能對焊接波紋管運動進行導向的波紋管導向柱，波紋管導向柱的一端與機殼內的頂端連接，波紋管導向柱的另一端穿過上連接板，波紋管導向柱位于上連接板下方的端部設置導向柱限位端板，波紋管導向柱上套設有導向柱彈簧，所述導向柱彈簧位于導向柱限位端板與上連接板之間。

在所述上連接板上設置若干推拉氣缸，所述推拉氣缸的活塞桿上設置鎖緊塊，通過推拉氣缸以及鎖緊塊能對相對應的波紋管導向柱鎖死。

所述襯底吸附固定頂片裝置包括用于與機械手連接的支撐法蘭、位于所述支撐法蘭正上方的下連接板以及能將下襯底頂起的襯底頂升機構，所述下連接板通過若干連接板支撐柱支撐在支撐法蘭上；在下連接板上設置下真空吸盤，在下真空吸盤上設置若干貫通所述下真空吸盤的下真空吸附孔。

所述襯底頂升機構包括設置于支撐法蘭上的頂針升降氣缸以及若干能從下真空吸盤穿出的彈性頂針，所述彈性頂針通過頂針固定塊與頂針升降氣缸的活塞桿適配連接；通過彈性頂針能將下襯底從下真空吸盤上頂起。

所述機殼包括兩對稱分布的立板以及與所述立板固定連接的頂板，襯底吸附加熱裝置安裝于頂板的內側面上，在頂板上設置能對焊接波紋管進行充氣的波紋管充放氣接口。

所述機殼支撐于架體上，在架體的側面板上設置內嵌拉手，在架體的底端設置若干均勻分布的支撐腳座。

在架體的正面設置顯示屏，所述顯示屏的顯示屏殼體通過鉸鏈與架體連接。