[發明專利]傾斜旋轉曝光方式的3D微光刻-打印系統

在審

• 申請號: 201910397404.1
• 申請日: 2019-05-14
• 公開（公告）號: CN111812946A
• 公開（公告）日: 2020-10-23
• 發明（設計）人: 金種殷;金廷權
• 申請（專利權）人: 三一技術有限公司;堪薩斯州立大學研究基金會
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京奧文知識產權代理事務所(普通合伙) 11534
• 代理人: 張文;苗麗娟

1.一種傾斜旋轉曝光方式的3D微光刻-打印系統，在通過向基板上層壓掩模的曝光對象物照射曝光用紫外線成型圖案的傾斜旋轉曝光方式的3D微光刻-打印系統中，包括：

主體，包括臺子、在上述臺子上沿左右方向形成的導向框架；

傾斜工作臺，包括以可在上述臺子上前后移動的方式結合的一對第一移動框架、連接上述一對第一移動框架上端并以前后移動從而可變更角度的方式結合的傾斜框架、在上述傾斜框架上面以可左右水平旋轉的方式結合的旋轉板、具備于上述旋轉板的上面并供曝光對象物固定的安設塊；及

曝光單元，包括以可沿上述導向框架左右水平方向移動的方式結合的第二移動框架、在上述第二移動框架前面以中心軸線為準左右水平自轉或以虛擬的軸線為準左右水平空轉的方式結合并在下面具備用于形成圖案的多個曝光用UV LED燈的曝光模塊。

2.根據權利要求1所述的傾斜旋轉曝光方式的3D微光刻-打印系統，其特征在于：還包括對準單元，包括以連接于上述第二移動框架的一側并與第二移動框架一起沿上述導向框架左右向平方向移動的方式結合的第三移動框架、結合于上述第三移動框架的前面并可用肉眼確認層壓于基板上的掩模的對準與否的顯微鏡。

3.根據權利要求2所述的傾斜旋轉曝光方式的3D微光刻-打印系統，其特征在于：還包括掩模裝載單元，包括在上述傾斜框架的下部以可前后移動的方式結合的移動板、以相對于上述移動板可左右調節位置的方式結合的第一移動塊、以相對于上述第一移動塊可前后調節位置的方式結合的第二移動塊、以相對于上述第二移動塊可上下調節高度的方式結合的升降塊、在上述升降塊上迂回上述旋轉板連接于旋轉板的上部并還具備安設掩模的拆裝部的裝載框架。

4.根據權利要求1所述的傾斜旋轉曝光方式的3D微光刻-打印系統，其特征在于：還包括各個別控制上述曝光單元的UV LED燈，組合不同燈的閃滅與否、不同燈的顏色、不同燈的亮度中的一種以上，從而可實現不同燈的個別控制的控制手段。