[發(fā)明專利]一種缺陷檢測系統(tǒng)、檢測方法及電子束掃描機臺有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201910386157.5 | 申請日： | 2019-05-09 |
| 公開（公告）號： | CN110095491B | 公開（公告）日： | 2021-08-20 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 胡向華;歐陽余慶;何廣智;顧曉芳;倪棋梁 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號： | G01N23/2251 | 分類號： | G01N23/2251;G01B15/00;G01B15/02 |
| 代理公司： | 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅 |
| 地址： | 201315*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 缺陷 檢測 系統(tǒng) 方法 電子束 掃描 機臺 | ||
1.一種缺陷檢測系統(tǒng)，其特征在于，包括：
光源部件，用于發(fā)射光線；
檢測部件，包括沿第一方向設(shè)置的光斑選擇板，所述光斑選擇板上設(shè)有通孔，所述通孔的寬度沿所述第一方向逐漸遞增或逐漸遞減，所述光斑選擇板能夠沿所述第一方向移動，所述光線與所述第一方向垂直且所述光線的至少一部分能夠穿過所述通孔；
驅(qū)動部件，與所述檢測部件相連，用于驅(qū)動所述檢測部件沿第二方向移動，所述第二方向與所述第一方向垂直；
接收部件，用于接收穿過所述通孔的光線并將接收的所述光線轉(zhuǎn)化為光斑數(shù)字圖像；以及
處理器，用于接收所述光斑數(shù)字圖像，并根據(jù)所述光斑數(shù)字圖像確定與所述光斑數(shù)字圖像對應(yīng)的高度尺寸，進而確定樣品表面缺陷的高度或深度。
2.如權(quán)利要求1所述的缺陷檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述光源部件為激光發(fā)射器，所述接收部件為激光接收器。
3.如權(quán)利要求1所述的缺陷檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述處理器根據(jù)所述光斑數(shù)字圖像從預(yù)設(shè)數(shù)據(jù)庫中確定與所述光斑數(shù)字圖像對應(yīng)的高度尺寸，其中，所述預(yù)設(shè)數(shù)據(jù)庫預(yù)先存儲有不同光斑數(shù)字圖像與高度尺寸的對應(yīng)關(guān)系。
4.如權(quán)利要求1所述的缺陷檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述檢測部件還包括第一彈簧，所述第一彈簧的一端與所述光斑選擇板相連，另一端與所述驅(qū)動部件相連，所述第一彈簧能夠帶動所述光斑選擇板沿所述第一方向移動。
5.如權(quán)利要求1所述的缺陷檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述檢測部件還包括與所述光斑選擇板相連的探針，所述探針沿所述第一方向設(shè)置。
6.如權(quán)利要求5所述的缺陷檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述檢測部件還包括第二彈簧，所述第二彈簧的一端與所述光斑選擇板相連，另一端與所述探針相連。
7.如權(quán)利要求1所述的缺陷檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述通孔沿所述第一方向的截面形狀為梯形或三角形。
8.一種缺陷檢測方法，其特征在于，所述檢測方法包括如下步驟：
驅(qū)動部件驅(qū)動檢測部件移動至待測樣品的非缺陷區(qū)；
光源部件發(fā)射的光線中的至少一部分穿過所述檢測部件上的通孔；
接收部件接收穿過所述通孔的光線并將所述光線轉(zhuǎn)化為第一光斑數(shù)字圖像；
驅(qū)動部件驅(qū)動所述檢測部件移動至待測樣品的缺陷區(qū)；
光源部件發(fā)射的光線中的至少一部分穿過所述檢測部件上的通孔；
接收部件接收穿過所述通孔的光線并將所述光線轉(zhuǎn)化為第二光斑數(shù)字圖像；
處理器分別接收所述第一光斑數(shù)字圖像和所述第二光斑數(shù)字圖像并根據(jù)所述第一光斑數(shù)字圖像確定第一高度尺寸，根據(jù)所述第二光斑數(shù)字圖像確定第二高度尺寸，以及對所述第一高度尺寸和所述第二高度尺寸進行差值運算，以確定所述缺陷區(qū)的高度或深度；
所述檢測部件包括沿第一方向設(shè)置的光斑選擇板，所述光斑選擇板上設(shè)有通孔，所述通孔的寬度沿所述第一方向逐漸遞增或逐漸遞減，所述光斑選擇板能夠沿所述第一方向移動，所述光線與所述第一方向垂直。
9.如權(quán)利要求8所述的缺陷檢測方法，其特征在于，所述處理器根據(jù)所述第一光斑數(shù)字圖像從預(yù)設(shè)數(shù)據(jù)庫中確定與所述第一光斑數(shù)字圖像對應(yīng)的第一高度尺寸，以及根據(jù)所述第二光斑數(shù)字圖像從預(yù)設(shè)數(shù)據(jù)庫中確定與所述第二光斑數(shù)字圖像對應(yīng)的第二高度尺寸，其中所述預(yù)設(shè)數(shù)據(jù)庫預(yù)先存儲有不同光斑數(shù)字圖像與高度尺寸的對應(yīng)關(guān)系。
10.一種電子束掃描機臺，其特征在于，包括權(quán)利要求1至7中任一項所述的缺陷檢測系統(tǒng)。
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