[發明專利]一種可組裝式氣墊導軌

在審

• 申請號: 201910385697.1
• 申請日: 2019-05-09
• 公開（公告）號: CN110030270A
• 公開（公告）日: 2019-07-19
• 發明（設計）人: 陳萬群;楊凱
• 申請（專利權）人: 南京艾提瑞精密機械有限公司
• 主分類號: F16C32/06
• 分類號: F16C32/06
• 代理公司: 北京君華知識產權代理事務所(普通合伙) 11515
• 代理人: 朱慶華

本發明涉及一種可組裝式氣墊導軌，包括導軌、設置在導軌上的溜板和實現氣體節流的氣浮墊，溜板與導軌之間通過氣浮墊連接，氣浮墊設置在導軌的上端面和兩側端面；氣浮墊上開設有出氣孔和進氣孔，氣浮墊開有出氣孔的一面靠近導軌的外表面，氣浮墊開有進氣孔的一面靠近溜板。由于氣浮墊實現氣體節流，在其與導軌接觸的一面底部形成空氣薄層，使溜板與導軌之間形成不產生接觸摩擦，由于無需在溜板上設置節流孔，可使得溜板尺寸減小、剛性提高，使裝置整體具有更高的靈活性。

技術領域

本發明涉及超精密加工技術領域，尤其涉及一種可組裝式氣墊導軌。

背景技術

現如今，微電子學、航天技術、信息技術、激光及生物工程等科學蓬勃向上發展，對加工機器和檢測儀器等的精度要求越來越高，從毫米到微米再到亞微米，對于精度等級現階段已經發展到納米水平，并進一步向著亞納米水平發展，使得超精密加工及超精密檢測技術誕生。

在微細加工技術領域，不管是用于精密加工的機械，還是測量儀器，都對其機械部分提出了高精度、高速度、高運動分辨率、熱穩定性、低震動、爬行小、污染少甚至無污染以及降低設備成本等方面的苛刻要求。

現有的氣浮導軌多是將節流孔設置在溜板上，這樣給制造加工造成不便，增加了制造成本。加工出帶有節流孔的溜板都是擁有固定的形狀，只能適用固定形狀的導軌，無法再與其他形狀的導軌配合使用，降低了資源的可配置性。

發明內容

為解決現有的技術問題，本發明提供了一種可組裝式氣墊導軌，通過使用氣浮墊組裝成不同形式的導軌，以減小溜板的尺寸、提高溜板剛性，氣浮墊可實現模塊化設計，組裝方式更加靈活，也提高資源的綜合利用。

本發明的具體內容如下：一種可組裝式氣墊導軌，包括導軌、設置在導軌上的溜板和實現氣體節流的氣浮墊，溜板與導軌之間通過氣浮墊連接，氣浮墊設置在導軌的上端面和兩側端面；氣浮墊上開設有出氣孔和進氣孔，氣浮墊開有出氣孔的一面靠近導軌的外表面，氣浮墊開有進氣孔的一面靠近溜板。

由于氣浮墊實現氣體節流，在其與導軌接觸的一面底部形成空氣薄層，使溜板與導軌之間形成不產生接觸摩擦，由于無需在溜板上設置節流孔，可使得溜板尺寸減小、鋼性提高，使裝置整體具有更高的靈活性。另外，將氣浮墊設置在導軌的上端面和兩側端面，保證溜板與導軌之間至少上部和側部之間無摩擦，從而實現無摩擦的導軌使用效果。

進一步的，所述溜板為開放式結構。具體的，本申請的溜板的結構并不是完全閉合的，實際應用中溜板的結構可結合導軌的形狀進行設置，可將溜板的結構設置為某一面具有開口的結構。

進一步的，所述氣浮墊節流包括但不限于小孔節流、環面節流、多孔質節流、狹縫節流和表面節流。根據需要選擇合適的氣浮墊的種類。

進一步的，所述溜板內側上表面與導軌的上表面平行設置，溜板內側面分別與導軌的外側表面平行。溜板由于需要在導軌上移動，因此設置溜板的內表面與導軌對應平行；實際應用中，溜板與導軌的對應面均設置為互相平行。

進一步的，所述氣浮墊均勻分布在導軌外表面上，并使用塞尺調整氣浮墊表面與導軌外表面之間的距離。為保證氣浮墊與導軌之間的距離的一致，使用塞尺可測量調整氣浮墊開有出氣孔的一面與導軌外表面的間隙。

進一步的，所述氣浮墊通過溜板和螺釘進行預緊，所述螺釘貫穿溜板。氣浮墊通過溜板和螺釘進行預緊，使得各氣浮墊與導軌的表面之間的距離相同，保證裝置的穩定性。

進一步的，所述溜板的下表面與導軌的上表面之間設有四個氣浮墊，溜板的側面與導軌側面之間各設有兩個氣浮墊。

進一步的，所述溜板底部為開放式結構，所述導軌形狀包括但不限于T型和燕尾型。設置溜板的底部為開放式的結構，方便安裝。

本發明的有益效果：采用這樣的結構后，氣浮墊可以以不同的布局方式安置導軌上，從而組裝成不同布局形式的氣墊導軌，應用在不同的領域。