[發(fā)明專利]一種定向凝固生長(zhǎng)晶體硅的鑄錠爐及應(yīng)用

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910379853.3
• 申請(qǐng)日: 2019-05-08
• 公開（公告）號(hào): CN111910247A
• 公開（公告）日: 2020-11-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳仙輝;鄒貴付;何亮;毛偉;雷琦
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 賽維LDK太陽(yáng)能高科技（新余）有限公司
• 主分類號(hào): C30B29/06
• 分類號(hào): C30B29/06;C30B11/00;C30B28/06
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫;熊永強(qiáng)

1.一種定向凝固生長(zhǎng)晶體硅的鑄錠爐，其特征在于，包括：

爐體，所述爐體包括相互配合的上爐體和下爐體，所述下爐體底部設(shè)置一軸孔；

支撐臺(tái)，所述支撐臺(tái)包括旋轉(zhuǎn)軸和固定在所述旋轉(zhuǎn)軸一端的熱交換臺(tái)，所述熱交換臺(tái)上設(shè)有坩堝；所述旋轉(zhuǎn)軸的另一端穿過所述軸孔，且與設(shè)置在所述下爐體外部的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置連接，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置用于驅(qū)動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)以帶動(dòng)所述坩堝旋轉(zhuǎn)；所述旋轉(zhuǎn)軸內(nèi)還設(shè)有冷卻液循環(huán)管道，所述冷卻液循環(huán)管道用于通入冷卻液并供所述冷卻液循環(huán)流動(dòng)，以實(shí)現(xiàn)所述旋轉(zhuǎn)軸的循環(huán)冷卻；

護(hù)板，所述護(hù)板設(shè)置在所述坩堝的外側(cè)壁上；

隔熱籠，以及設(shè)置在所述隔熱籠內(nèi)的加熱器。

2.如權(quán)利要求1所述的鑄錠爐，其特征在于，所述下爐體外部還設(shè)有冷卻液供液系統(tǒng)，所述冷卻液供液系統(tǒng)與所述冷卻液循環(huán)管道連通。

3.如權(quán)利要求1所述的鑄錠爐，其特征在于，還包括密封裝置，所述密封裝置用于密封所述旋轉(zhuǎn)軸與所述軸孔內(nèi)壁之間的縫隙。

4.如權(quán)利要求3所述的鑄錠爐，其特征在于，所述密封裝置包括磁流體密封裝置，所述磁流體密封裝置套設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)軸上，且固定在所述下爐體底部。

5.如權(quán)利要求1所述的鑄錠爐，其特征在于，所述護(hù)板包括側(cè)部護(hù)板和底部護(hù)板，所述底部護(hù)板設(shè)于所述坩堝底部和所述熱交換臺(tái)之間，所述底部護(hù)板表面設(shè)有防滑紋路。

6.如權(quán)利要求1所述的鑄錠爐，其特征在于，還包括多個(gè)散熱塊，所述散熱塊設(shè)置在靠近所述熱交換臺(tái)的一側(cè)，每個(gè)所述散熱塊通過一支撐桿固定在所述下爐體底部。

7.如權(quán)利要求1所述的鑄錠爐，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)軸靠近所述熱交換臺(tái)的一端設(shè)置有一連接板，所述連接板上設(shè)有多個(gè)連接桿，所述連接桿與所述熱交換臺(tái)固定連接。

8.如權(quán)利要求1-7任意一項(xiàng)所述的鑄錠爐，其特征在于，所述加熱器包括頂部加熱器和側(cè)部加熱器，所述頂部加熱器設(shè)置在所述坩堝的頂部，所述側(cè)部加熱器設(shè)置在所述坩堝的側(cè)壁外側(cè)，當(dāng)所述坩堝旋轉(zhuǎn)時(shí)，所述側(cè)部加熱器與所述坩堝不接觸；所述側(cè)部加熱器的截面形狀包括圓形、正方形或多邊形。

9.如權(quán)利要求1-7任意一項(xiàng)所述的鑄錠爐，其特征在于，所述隔熱籠由頂部隔熱板、側(cè)部隔熱板和底部隔熱板構(gòu)成一密封的熱場(chǎng)腔室，所述頂部隔熱板、所述側(cè)部隔熱板和/或所述底部隔熱板包括至少一層保溫層。

10.如權(quán)利要求1-9任意一項(xiàng)所述的鑄錠爐在單晶硅、多晶硅或類單晶硅制備方面的應(yīng)用。