[發明專利]一種具有除濕功能的清晰度高的芯片檢測設備

在審

• 申請號: 201910375724.7
• 申請日: 2019-05-07
• 公開（公告）號: CN110180811A
• 公開（公告）日: 2019-08-30
• 發明（設計）人: 王海山
• 申請（專利權）人: 王海山
• 主分類號: B08B1/04
• 分類號: B08B1/04;B08B13/00;B01D53/26
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明涉及一種具有除濕功能的清晰度高的芯片檢測設備，包括操作箱、攝像頭和載物臺，還包括清潔機構和除濕機構，所述清潔機構包括移動桿、清潔塊、轉動軸、第一電機、兩個移動組件和兩個支撐組件，所述除濕機構包括干燥箱、抽氣泵、濕度傳感器、兩個輸氣管和兩個隔離網，所述移動組件包括導軌、連接板、第二電機和至少兩個移動輪，所述支撐組件包括連接套管、彈簧、升降桿和限位塊，該具有除濕功能的清晰度高的芯片檢測設備中，通過清潔機構可以對攝像頭進行清潔，則提高了攝像頭拍攝的清晰度，提高了檢測設備的性能，通過除濕機構可以降低操作箱內部的濕度，則降低了檢測設備對芯片電氣性能的影響，提高了檢測設備的實用性。

技術領域

本發明涉及芯片檢測設備領域，特別涉及一種具有除濕功能的清晰度高的芯片檢測設備。

背景技術

芯片檢測設備主要針對晶圓上的芯片完成切割后的外觀檢測，比如尺寸、破損、裂粒、氣孔、裂痕、鎳層不良等等，所以也叫做晶圓切割檢測設備，是靠機器視覺來實現檢測的，芯片檢測設備是通過攝像頭對晶圓拍攝，在將照片傳送到軟件，通過特點的算法分析產品的外觀，并自動分揀良品及次品。

現有技術的檢測設備在長時間的使用之后，攝像頭上容易積累污漬，污漬將會對攝像頭的拍攝造成遮擋，降低了攝像頭拍攝芯片的清晰度，不僅如此，通過檢測設備檢測芯片的過程中，如果芯片所處的環境濕度較高，將會影響芯片的電氣性能，降低了檢測設備的實用性。

發明內容

本發明要解決的技術問題是：為了克服現有技術的不足，提供一種具有除濕功能的清晰度高的芯片檢測設備。

本發明解決其技術問題所采用的技術方案是：一種具有除濕功能的清晰度高的芯片檢測設備，包括包括操作箱、攝像頭和載物臺，所述攝像頭和載物臺分別設置在操作箱的正對的兩側的內壁上，所述攝像頭與載物臺正對設置，還包括清潔機構和除濕機構，所述清潔機構設置在操作箱的內部，所述除濕機構設置在操作箱的一側；

所述清潔機構包括移動桿、清潔塊、轉動軸、第一電機、兩個移動組件和兩個支撐組件，兩個移動組件分別設置在攝像頭的兩側，兩個移動組件分別設置在操作箱的正對的兩側的內壁上，所述移動桿與載物臺平行，所述移動桿的兩端分別與兩個移動組件連接，所述轉動軸與移動桿平行，所述轉動軸設置在移動桿的靠近攝像頭的一側，所述轉動軸的兩端均設有軸承，所述軸承的內圈與轉動軸的一端的外周固定連接，所述軸承的外圈通過支撐組件與移動桿連接，所述第一電機設置在其中一個支撐組件上，所述第一電機與轉動軸傳動連接，所述清潔塊的形狀為圓柱形，所述清潔塊與轉動軸同軸設置，所述清潔塊套設在轉動軸上，所述清潔塊的半徑小于轉動軸與攝像頭之間的最小距離；

所述除濕機構包括干燥箱、抽氣泵、濕度傳感器、兩個輸氣管和兩個隔離網，所述干燥箱設置在操作箱的一側，兩個輸氣管的一端分別與干燥箱的正對的兩端連通，兩個輸氣管的另一端分別與操作箱的正對的兩側連通，所述抽氣泵設置在干燥箱的內壁上，所述抽氣泵與其中一個輸氣管連接，兩個隔離網相互平行，兩個隔離網均設置在干燥箱的內部，所述隔離網與干燥箱的內壁密封連接，兩個隔離網均設置在兩個輸氣管與干燥箱的連接點之間，所述濕度傳感器設置在操作箱的內部。

作為優選，為了提高檢測設備的自動化程度，所述操作箱上設有控制面板，所述控制面板的內部設有處理器，所述控制面板上設有顯示屏和至少兩個控制按鍵，所述顯示屏、濕度傳感器和各控制按鍵均與處理器電連接。

作為優選，為了給移動桿提供動力，所述移動組件包括導軌、連接板、第二電機和至少兩個移動輪，所述導軌與載物臺平行，所述導軌與移動桿垂直，所述連接板與移動桿垂直，所述連接板設置在導軌的靠近移動桿的一側，所述移動桿的兩端分別與兩個連接板固定連接，各移動輪均鉸接在連接板的遠離移動桿的一側，各移動輪的圓心所在的直線與導軌平行，所述第二電機與連接板固定連接，所述第二電機與其中一個移動輪傳動連接，所述移動輪與導軌的靠近攝像頭的一側抵靠。