[發(fā)明專利]彩色化顯示Micro-LED器件的制備方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201910374429.X | 申請(qǐng)日: | 2019-05-07 |
| 公開(公告)號(hào): | CN110224001A | 公開(公告)日: | 2019-09-10 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 王新中;趙志力;王愷;孫小衛(wèi);陳明祥 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 深圳信息職業(yè)技術(shù)學(xué)院;南方科技大學(xué) |
| 主分類號(hào): | H01L27/15 | 分類號(hào): | H01L27/15;H01L33/00 |
| 代理公司: | 深圳中一聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44414 | 代理人: | 黃志云 |
| 地址: | 518000 廣東省深*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 藍(lán)光 通孔 制備 量子點(diǎn)發(fā)光材料 噴墨打印 彩色化顯示 區(qū)域?qū)?yīng) 紅光 基板 模具 發(fā)光區(qū)域 藍(lán)光區(qū)域 逐漸增加 光量子 量子點(diǎn) 綠光 預(yù)設(shè) 垂直 | ||
本發(fā)明提供了一種彩色化顯示Micro?LED器件的制備方法,包括以下步驟:提供基板,在所述基板上制備藍(lán)光Micro?LED陣列,所述藍(lán)光Micro?LED陣列包括多個(gè)藍(lán)光Micro?LED單元;在所述藍(lán)光Micro?LED陣列上設(shè)置模具,且所述模具在所述藍(lán)光Micro?LED單元上方設(shè)置通孔,且沿著垂直遠(yuǎn)離所述藍(lán)光Micro?LED陣列的方向,所述通孔的尺寸逐漸增加;根據(jù)預(yù)設(shè)發(fā)光區(qū)域,在紅光區(qū)域?qū)?yīng)的所述通孔中噴墨打印紅色量子點(diǎn)發(fā)光材料制備紅光量子點(diǎn)單元,在綠光區(qū)域?qū)?yīng)的所述通孔中噴墨打印綠色量子點(diǎn)發(fā)光材料制備綠光量子點(diǎn)單元,藍(lán)光區(qū)域?qū)?yīng)的所述通孔不噴墨打印量子點(diǎn)發(fā)光材料。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明屬于顯示技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種彩色化顯示Micro-LED器件的制備方法。
背景技術(shù)
發(fā)光二極管(LED)具有體積小、成本低、高光效及節(jié)能環(huán)保等優(yōu)點(diǎn),被廣泛應(yīng)用在可見光通信、汽車大燈和背光顯示等應(yīng)用。Micro-LED是新一代顯示技術(shù),Micro-LED具有微米級(jí)尺寸,通常小于100微米。因此,Micro-LED具有不同于大尺寸LED的許多特性,如高電流密度、高輸出光功率密度和高光電調(diào)制帶寬等優(yōu)點(diǎn)。通過陣列Micro-LED,能夠?qū)崿F(xiàn)高亮度和高性能的液晶顯示。Micro-LED應(yīng)用于背光顯示,需要能實(shí)現(xiàn)全彩顯示。其實(shí)現(xiàn)方法主要有以下兩種:第一種方法是在面板上組合紅、綠和藍(lán)(RGB)三色LED單元,雖然這種方法可以獲得較高的顯色指數(shù),但這種方法的外延制造比較困難,并且驅(qū)動(dòng)電路較為復(fù)雜,紅、綠、藍(lán)三色LED工作電壓不同,衰減速率也不同,很難保證光色的一致,因此會(huì)影響整個(gè)光學(xué)系統(tǒng)的可靠性。第二種方法通過某種單色LED激發(fā)光轉(zhuǎn)換材料,來生成紅綠藍(lán)三色光,從而能克服第一種方法的缺點(diǎn)。但傳統(tǒng)的光轉(zhuǎn)換材料是熒光粉,因?yàn)闊晒夥鄣陌敕鍖捿^寬,紅綠熒光粉的光效較低,因此其色域范圍和顯示指數(shù)達(dá)不到顯示要求。此外,熒光粉粒徑較大,在工藝上很難實(shí)現(xiàn)在微米級(jí)別的熒光粉噴涂,限制了Micro-LED的發(fā)展。高分辨率是LED顯示的發(fā)展趨勢。然而,目前高分辨率條件下,Micro-LED之間的間距非常小,在微米級(jí)別,這就會(huì)導(dǎo)致相互之間的顏色串?dāng)_。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種彩色化顯示Micro-LED器件的制備方法,旨在解決現(xiàn)有Micro-LED器件存在串色導(dǎo)致色效差的問題。
為實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明目的,本發(fā)明采用的技術(shù)方案如下:
本發(fā)明提供一種彩色化顯示Micro-LED器件的制備方法,包括以下步驟:
提供基板,在所述基板上制備藍(lán)光Micro-LED陣列,所述藍(lán)光Micro-LED陣列包括多個(gè)藍(lán)光Micro-LED單元;
在所述藍(lán)光Micro-LED陣列上設(shè)置模具,且所述模具在所述藍(lán)光Micro-LED單元上方設(shè)置通孔,且沿著垂直遠(yuǎn)離所述藍(lán)光Micro-LED陣列的方向,所述通孔的尺寸逐漸增加;
根據(jù)預(yù)設(shè)發(fā)光區(qū)域,在紅光區(qū)域?qū)?yīng)的所述通孔中噴墨打印紅色量子點(diǎn)發(fā)光材料制備紅光量子點(diǎn)單元,在綠光區(qū)域?qū)?yīng)的所述通孔中噴墨打印綠色量子點(diǎn)發(fā)光材料制備綠光量子點(diǎn)單元,藍(lán)光區(qū)域?qū)?yīng)的所述通孔不噴墨打印量子點(diǎn)發(fā)光材料,且所述紅光量子點(diǎn)單元、所述綠光量子點(diǎn)單元的厚度均不高于所述通孔的高度,制備彩色化Micro-LED。
本發(fā)明提供的彩色化顯示Micro-LED器件的制備方法,在藍(lán)光Micro-LED陣列的表面設(shè)置模具,且所述模具在所述藍(lán)光Micro-LED陣列上方設(shè)置通孔,進(jìn)而在通孔中選擇性沉積紅光和綠光量子點(diǎn)發(fā)光材料,從而實(shí)現(xiàn)Micro-LED器件的彩色化顯示。所述模具的設(shè)置,可以一定程度吸收發(fā)光單元側(cè)邊方向出射的光,實(shí)現(xiàn)對(duì)不同發(fā)光單元進(jìn)行隔離,從而減輕相鄰發(fā)光單元發(fā)光串色的問題。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L27-00 由在一個(gè)共用襯底內(nèi)或其上形成的多個(gè)半導(dǎo)體或其他固態(tài)組件組成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共絕緣襯底上形成的無源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有專門適用于整流、振蕩、放大或切換的半導(dǎo)體組件并且至少有一個(gè)電位躍變勢壘或者表面勢壘的;包括至少有一個(gè)躍變勢壘或者表面勢壘的無源集成電路單元的
H01L27-14 . 包括有對(duì)紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射或者微粒子輻射并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的,或適用于通過這樣的輻射控制電能的半導(dǎo)體組件的
H01L27-15 .包括專門適用于光發(fā)射并且包括至少有一個(gè)電位躍變勢壘或者表面勢壘的半導(dǎo)體組件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料結(jié)點(diǎn)的熱電元件的;包括有熱磁組件的
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