[發明專利]一種空氣橋集成電感及其制作方法有效
| 申請號： | 201910374018.0 | 申請日： | 2019-05-07 |
| 公開（公告）號： | CN110277376B | 公開（公告）日： | 2020-12-11 |
| 發明（設計）人： | 林豪;林易展;陳智廣;陳建星;林張鴻;林偉銘 | 申請（專利權）人： | 福建省福聯集成電路有限公司 |
| 主分類號： | H01L23/64 | 分類號： | H01L23/64 |
| 代理公司： | 福州市景弘專利代理事務所(普通合伙) 35219 | 代理人： | 林祥翔;徐劍兵 |
| 地址： | 351117 福建省莆*** | 國省代碼： | 福建;35 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 空氣 集成 電感 及其 制作方法 | ||
1.一種空氣橋集成電感的制作方法，其特征在于，包括如下步驟：
在襯底上進行制作第一電感金屬層；
在第一電感金屬層上制作第一層光阻，對待制作空氣橋的橋墩位置進行蝕刻，形成凹槽；
在第一層光阻和凹槽上制作金屬連接層；
在金屬連接層上制作第二層光阻；
在第二層光阻上曝光顯影，去除凹槽部分的金屬連接層，形成空氣橋路徑；
在形成空氣橋路徑的第二層光阻上制作第二電感金屬層，第二電感金屬層在凹槽位置與第一電感金屬層連接；
去除第一層光阻、金屬連接層和第二層光阻。
2.根據權利要求1所述的空氣橋集成電感的制作方法，其特征在于，所述第一電感金屬層包括兩條以上的平行層板結構。
3.根據權利要求2所述的空氣橋集成電感的制作方法，其特征在于，所述空氣橋在襯底上的投影與相連的平行層板構成Z字結構。
4.根據權利要求2所述的空氣橋集成電感的制作方法，其特征在于，所述空氣橋路徑在襯底上的投影相互平行。
5.根據權利要求1所述的空氣橋集成電感的制作方法，其特征在于，所述空氣橋為半圓弧形狀。
6.根據權利要求1所述的空氣橋集成電感的制作方法，其特征在于，所述空氣橋的兩端分別連接不同的層板。
7.根據權利要求1所述的空氣橋集成電感的制作方法，其特征在于，所述第一電感金屬層以蒸鍍或電鍍沉積的方式形成。
8.根據權利要求1所述的空氣橋集成電感的制作方法，其特征在于，所述第二電感金屬層以蒸鍍或電鍍沉積的方式形成。
9.根據權利要求1所述的空氣橋集成電感的制作方法，其特征在于，所述金屬連接層采用濺鍍工藝進行制作。
10.空氣橋集成電感，其特征在于：所述空氣橋集成電感為權利要求1到9任意一項所述方法制得。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于福建省福聯集成電路有限公司，未經福建省福聯集成電路有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201910374018.0/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：半導體裝置
- 下一篇：膜基底結構、膜上芯片封裝件和封裝模塊
