[發明專利]一種實用的擴散爐推舟防偏移保護裝置在審
| 申請號: | 201910371321.5 | 申請日: | 2019-05-06 |
| 公開(公告)號: | CN110006256A | 公開(公告)日: | 2019-07-12 |
| 發明(設計)人: | 雷小龍;李寶飛;呂飛;胡云川;李富林 | 申請(專利權)人: | 通威太陽能(成都)有限公司 |
| 主分類號: | F27B17/00 | 分類號: | F27B17/00;F27D3/00;F27D3/04;F27D3/12;F27D19/00;H01L31/18 |
| 代理公司: | 成都弘毅天承知識產權代理有限公司 51230 | 代理人: | 鄧蕓 |
| 地址: | 610299 四川省成都市雙流*** | 國省代碼: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 激光測距傳感器 石英舟 保護裝置 防偏移 擴散爐 推舟 太陽能電池 位置偏差 硅片 槳頭 支架 檢測 制造 | ||
1.一種實用的擴散爐推舟防偏移保護裝置,其特征在于:包括石英舟(1)、激光測距傳感器一(2)、激光測距傳感器二(3)以及SIC槳(4),所述石英舟(1)放置于SIC槳(4)上,所述激光測距傳感器一(2)和激光測距傳感器二(3)均固定于SIC槳(4)的槳頭支架(41)上。
2.如權利要求1所述的實用的擴散爐推舟防偏移保護裝置,其特征在于:還包括L型支架(5),所述L型支架(5)固定于槳頭支架(41)上,所述激光測距傳感器一(2)和激光測距傳感器二(3)成上下排列固定于L型支架(5)上。
3.如權利要求1所述的實用的擴散爐推舟防偏移保護裝置,其特征在于:所述石英舟(1)包括端板(11),所述激光測距傳感器一(2)設定檢測值為端板(11)前5mm,所述激光測距傳感器二(3)設定檢測值為端板(11)后5mm。
4.如權利要求1所述的實用的擴散爐推舟防偏移保護裝置,其特征在于:還包括導軌(6),所述槳頭支架(41)與導軌(6)滑動連接。
5.如權利要求4所述的實用的擴散爐推舟防偏移保護裝置,其特征在于:所述導軌(6)有兩條,所述兩條導軌(6)平行設置。
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